电子能谱分析课件

1、第八章第八章 电子能谱电子能谱电子能谱分析属于固体表面分析技术，原理上都可看作是由一次电子能谱分析属于固体表面分析技术，原理上都可看作是由一次束（电子束、束（电子束、X X射线、光）辐照固体样品产生二次束（电子、离子、射线、光）辐照固体样品产生二次束（电子、离子、X X射线），分析带有样品信息的二次束。可以实现对样品的分析。射线），分析带有样品信息的二次束。可以实现对样品的分析。根据激发源的不同，电子能谱又分为根据激发源的不同，电子能谱又分为: :X X射线光电子能谱射线光电子能谱( (简称简称 XPS) XPS)(X-Ray Photoelectron Spectrometer)紫外光电子能

2、谱紫外光电子能谱( (简称简称 UPS) UPS)(Ultraviolet Photoelectron Spectrometer)俄歇电子能谱俄歇电子能谱( (简称简称 AES) AES)(Auger Electron Spectrometer) )8.1 8.1 电子能谱的基本原理电子能谱的基本原理能量关系可表示：能量关系可表示： rkbEEEhv原子的反冲能量原子的反冲能量EMmra122*忽略忽略 (0.1eV (0.1eV）得）得rEbkEEhv电子结合能电子结合能电子动能电子动能基本原理就是光电效应基本原理就是光电效应。对固体样品，必须对固体样品，必须考虑晶体势场和表考虑晶体势场和表

3、面势场对光电子的面势场对光电子的束缚作用，通常选束缚作用，通常选取取费米费米( (Fermi)能级能级为为 的参考点。的参考点。bE0k0k时固体能带中充时固体能带中充满电子的最高能级满电子的最高能级对孤立原子或分子，对孤立原子或分子， 就是把电子从所在轨道就是把电子从所在轨道移到真空需的能量，是以真空能级为能量零点的。移到真空需的能量，是以真空能级为能量零点的。bEbEbkEEhv功函数功函数bkEEhv功函数功函数为防止样品上正电荷积累，固体样品必须保持为防止样品上正电荷积累，固体样品必须保持和谱仪的良好电接触，两者费米能级一致。和谱仪的良好电接触，两者费米能级一致。实际测到的电子动能为：

4、实际测到的电子动能为：spbsspkkEhvEE)(spkbEhvE仪器功函数仪器功函数如果测出电子的动能，便可得到如果测出电子的动能，便可得到固体样品中电子的结合能。各种固体样品中电子的结合能。各种原子分子的电子结合能是一定的原子分子的电子结合能是一定的。由此得样品中元素的组成。由此得样品中元素的组成。特征特征：XPSXPS采用能量为采用能量为 的射线源，能激发内层电的射线源，能激发内层电子。各种元素内层电子的结合能是有特征性的子。各种元素内层电子的结合能是有特征性的，因此可因此可以用来鉴别固体样品中氢、氦之外的所有化学元素。以用来鉴别固体样品中氢、氦之外的所有化学元素。eV15001000

5、UPSUPS采用紫外光作激发光源。与采用紫外光作激发光源。与X X射线相比能量较低，只射线相比能量较低，只能使原子的价电子能使原子的价电子电离，用于研究价电子和振动的精细电离，用于研究价电子和振动的精细结构。结构。AESAES大都用电子作激发源，因为电子激发得到的俄歇电大都用电子作激发源，因为电子激发得到的俄歇电子谱强度较大。是使核外电子激发成为自由电子。俄歇子谱强度较大。是使核外电子激发成为自由电子。俄歇电子能谱适用于轻元素的分析。电子能谱适用于轻元素的分析。光电子或俄歇电子，在逸出的路径上自由程很短，实际光电子或俄歇电子，在逸出的路径上自由程很短，实际能探测的信息深度只有表面几个至十几个原

6、子层，光电能探测的信息深度只有表面几个至十几个原子层，光电子能谱通常用来作为表面分析的方法。子能谱通常用来作为表面分析的方法。8.2 8.2 紫外光电子能谱紫外光电子能谱(UPS)(UPS) 紫外光电子谱是利用能量在紫外光电子谱是利用能量在 的真空紫外的真空紫外光子照射被测样品，测量由此引起的光电子能量分布光子照射被测样品，测量由此引起的光电子能量分布的一种谱学方法。入射紫外光的能量将用于电子的电的一种谱学方法。入射紫外光的能量将用于电子的电离能离能I In n、光电子的动能、光电子的动能E Ek k、分子的振动能、分子的振动能E Ev v和转动能和转动能E Er r。eV4116?nrvkI

7、EEhvE 由于光源能量较低，线宽较窄（约为由于光源能量较低，线宽较窄（约为0.01eV),0.01eV),只能使只能使原子的外层价电子、价带电子电离，并可分辨出分子的振原子的外层价电子、价带电子电离，并可分辨出分子的振动能级动能级, ,因此被广泛地用来研究气体样品的价电子和振动因此被广泛地用来研究气体样品的价电子和振动的精细结构以及固体样品表面的原子、电子结构。的精细结构以及固体样品表面的原子、电子结构。8.2.1 8.2.1 谱图特征谱图特征苯在苯在Ni(111)Ni(111)上的上的UPSUPS谱谱横坐标为分子的电离能横坐标为分子的电离能I In n 或或光电子动能光电子动能nnIhvE

8、紫外光电子谱图的形状取紫外光电子谱图的形状取决于电离后离子的状态。决于电离后离子的状态。气体分子有明显气体分子有明显的振动精细结构的振动精细结构凝聚分子的谱带明显增宽，并失去精细结构化学吸附后，化学吸附后， 带发生了位移带发生了位移8.2.2 8.2.2 振动精细结构振动精细结构 对于同一电子能级，分子还可能有许多不同的对于同一电子能级，分子还可能有许多不同的振动能级，因此实际测得的紫外光电子能谱图既振动能级，因此实际测得的紫外光电子能谱图既有结合能峰，又有振动精细结构。有结合能峰，又有振动精细结构。)0()(vv)(EvEIhvEank光光 电电 子子 动动 能能入入 射射 光光 子子 能能

9、 量量绝绝 热热 电电 离离 能能离子的振动态能量离子的振动态能量振振 动动 基基 态态振动激发态振动激发态 的谱带结构和特征直接与分子轨道的谱带结构和特征直接与分子轨道能级次序、成键性质有关。因此对分析分能级次序、成键性质有关。因此对分析分子的电子结构是非常有用的一种技术。子的电子结构是非常有用的一种技术。UPS8.3 X8.3 X射线光电子能谱（射线光电子能谱（XPSXPS）由于各种原子轨道中电子的结合能是一定的，因此由于各种原子轨道中电子的结合能是一定的，因此 XPS XPS 可用来测定固体表面的化学成分可用来测定固体表面的化学成分, ,一般又称为一般又称为化学分析光电子能谱法（化学分析

10、光电子能谱法（ Electron Spectroscopy Electron Spectroscopy for Chemical Analysisfor Chemical Analysis，简称，简称 ESCAESCA）。）。与紫外光源相比，射线的线宽在与紫外光源相比，射线的线宽在0.7eV0.7eV以上，因此以上，因此不能分辨出分子、离子的振动能级。不能分辨出分子、离子的振动能级。在实验时样品表面受辐照损伤小，能检测周期表中在实验时样品表面受辐照损伤小，能检测周期表中除除 H H 和和 He He 以外所有的元素，并具有很高的绝对灵以外所有的元素，并具有很高的绝对灵敏度。因此是目前表面分析中

11、使用最广的谱仪之一。敏度。因此是目前表面分析中使用最广的谱仪之一。XPS是进行样品表面元素组成及化学态分析的重要实验技术之一，其探测深度在10 nm以内，可检测元素周期表中除H, He以外的几乎所有元素。可做以下几个方面的分析研究：（1）对样品表面元素进行定性、定量分析；（2）可分析元素的化学状态（包括元素价态、晶格位置和化学环境等）；（3）对薄膜样品进行深度分布分析，给出元素随样品深度分布信息；（4）对元素及其化学态进行成像，给出不同化学态的不同元素在表面的分布图像。8.3.1 8.3.1 谱图特征谱图特征左图是表面被氧化且左图是表面被氧化且有部分碳污染的金属有部分碳污染的金属铝的典型的图谱

12、铝的典型的图谱是宽能量范围扫描的全谱是宽能量范围扫描的全谱低结合能端的放大谱低结合能端的放大谱O O 和和 C C 两条谱线的存在两条谱线的存在表明金属铝的表面已被部表明金属铝的表面已被部分氧化并受有机物的污染分氧化并受有机物的污染O O的的KLLKLL俄歇谱线俄歇谱线8.3.2 8.3.2 化学位移化学位移由于化学环境不同（化合物结构的变化和元素氧化状态的变化）由于化学环境不同（化合物结构的变化和元素氧化状态的变化）引起结合能的微小变化导致谱峰有规律的位移称为化学位移。由引起结合能的微小变化导致谱峰有规律的位移称为化学位移。由化学位移的大小可以确定元素所处的状态如某元素失去电子成为化学位移的

13、大小可以确定元素所处的状态如某元素失去电子成为离子后，其结合能会增加，得到电子成为负离子，其结合能会降离子后，其结合能会增加，得到电子成为负离子，其结合能会降低。故利用化学位移值可以分析元素的化合价和存在形式。低。故利用化学位移值可以分析元素的化合价和存在形式。化合物聚对苯二化合物聚对苯二甲酸乙二酯中三甲酸乙二酯中三种完全不同的碳种完全不同的碳原子和两种不同原子和两种不同氧原子氧原子1s1s谱峰的谱峰的化学位移化学位移化学位移现象起因及规律化学位移现象起因及规律内层电子一方面受到原子核强烈的库仑作用内层电子一方面受到原子核强烈的库仑作用而具有一定的结合能，另一方面又受到外层而具有一定的结合能，

14、另一方面又受到外层电子的屏蔽作用。当外层电子密度减少时，电子的屏蔽作用。当外层电子密度减少时，屏蔽作用将减弱，内层电子的结合能增加；屏蔽作用将减弱，内层电子的结合能增加；反之则结合能将减少。因此当被测原子的氧反之则结合能将减少。因此当被测原子的氧化价态增加，或与电负性大的原子结合时，化价态增加，或与电负性大的原子结合时，都导致其都导致其XPSXPS峰将向结合能的增加方向位移。峰将向结合能的增加方向位移。8.4 8.4 俄歇电子能谱俄歇电子能谱(AES)(AES) 俄歇电子能谱的基本机理是：入射电子束或俄歇电子能谱的基本机理是：入射电子束或X X射线射线使原子内层能级电子电离，外层电子产生无辐射

15、俄使原子内层能级电子电离，外层电子产生无辐射俄歇跃迁，发射俄歇电子，用电子能谱仪在真空中对歇跃迁，发射俄歇电子，用电子能谱仪在真空中对它们进行探测。俄歇过程至少有两个能级和三个电它们进行探测。俄歇过程至少有两个能级和三个电子参与，所以氢原子和氦原子不能产生俄歇电子。子参与，所以氢原子和氦原子不能产生俄歇电子。19251925年法国的物理学家俄歇（年法国的物理学家俄歇（P.Auger）在用）在用X X射线研究光电射线研究光电效应时就已发现俄歇电子，并对现象给予了正确的解释。效应时就已发现俄歇电子，并对现象给予了正确的解释。19681968年年L.A.Harris采用微分电子线路，使俄歇电子能谱开

16、始采用微分电子线路，使俄歇电子能谱开始进入实用阶段。进入实用阶段。19691969年，年，Palmberg、Bohn和和Tracey引进了筒镜能量分析器，引进了筒镜能量分析器，提高了灵敏度和分析速度，使俄歇电子能谱被广泛应用。提高了灵敏度和分析速度，使俄歇电子能谱被广泛应用。 WXY俄歇过程示意图俄歇过程示意图WXYWXY跃迁产生的俄歇电跃迁产生的俄歇电子的动能可近似地用子的动能可近似地用经验公式估算，即：经验公式估算，即： )()()(ZEZEZEEYXWWXY俄歇电子俄歇电子功功函函数数原子序数原子序数实验值在实验值在 和和 之间之间2131只要测定出俄歇电子的能量，对只要测定出俄歇电子的

17、能量，对照现有的俄歇电子能量图表，即照现有的俄歇电子能量图表，即可确定样品表面的成分。可确定样品表面的成分。化学环境的强烈影响常常导致俄歇谱有如下三化学环境的强烈影响常常导致俄歇谱有如下三种可能的变化：种可能的变化：( (称为化学效应称为化学效应) )锰和氧化锰的俄歇电子谱锰和氧化锰的俄歇电子谱1 1）俄歇跃迁不涉及价带，）俄歇跃迁不涉及价带，化学环境的不同将导致化学环境的不同将导致内层电子能级发生微小内层电子能级发生微小变化，造成俄歇电子能变化，造成俄歇电子能量微小变化，表现在俄量微小变化，表现在俄歇电子谱图上，谱线位歇电子谱图上，谱线位置有微小移动，这就是置有微小移动，这就是化学位移化学位

18、移。锰和氧化锰的俄歇电子谱锰和氧化锰的俄歇电子谱3, 23, 23MML5 , 43 , 23MML5 , 45 , 43MML氧化锰氧化锰540540eVeV587587eVeV636636eVeV 锰锰543543eV eV 590590eV eV 637637eVeV锰锰氧化锰氧化锰2 2）当俄歇跃迁涉及）当俄歇跃迁涉及到价电子能带时，情到价电子能带时，情况就复杂了，这时俄况就复杂了，这时俄歇电子位移和原子的歇电子位移和原子的化学环境就不存在简化学环境就不存在简单的关系，不仅峰的单的关系，不仅峰的位置会变化，而且峰位置会变化，而且峰的形状也会变化。的形状也会变化。Mo2C、SiC、石墨和

19、金刚石中、石墨和金刚石中碳的碳的 KLL（KVV或）俄歇谱或）俄歇谱 由于俄歇电子位移机理比较复杂，由于俄歇电子位移机理比较复杂，涉及到三个能级，不象涉及到三个能级，不象X X射线光电子能谱射线光电子能谱那样容易识别和分析，并且通常使用的那样容易识别和分析，并且通常使用的俄歇谱仪分辨率较低，这方面的应用受俄歇谱仪分辨率较低，这方面的应用受到了很大的限制。到了很大的限制。8.5 8.5 电子能谱仪简介电子能谱仪简介 电子能谱仪主要由激发源、样品室、电子能量电子能谱仪主要由激发源、样品室、电子能量分析器、探测电子的检测器和真空系统等分析器、探测电子的检测器和真空系统等几成。几成。8.5.1 8.5

20、.1 激发源激发源电子能谱仪通常采用的激发源有三种：电子能谱仪通常采用的激发源有三种：X X射线枪射线枪、紫紫外线光源外线光源和和电子枪电子枪。商品谱仪中将这些激发源组装在。商品谱仪中将这些激发源组装在同一个样品室中，成为一个多种功能的综合能谱仪。同一个样品室中，成为一个多种功能的综合能谱仪。激发源激发源能量范围能量范围 ( eV )线宽线宽 (eV)应用范围应用范围X 射线射线(Al, Mg 等等) 1000 0.8内层和价层电子内层和价层电子紫外光紫外光(He I, II 等等) 20 40 0.01价价 电电 子子电子枪电子枪2000 5000 0.5俄歇电子俄歇电子电子能谱常用激发源电

21、子能谱常用激发源1.1.射线源射线源是是XPSXPS的激发源的激发源。 双阳极双阳极X X射线源示意图射线源示意图要获得高分辨谱图和减少要获得高分辨谱图和减少伴峰的干扰，可以采用射伴峰的干扰，可以采用射线单色器来实现。即用球线单色器来实现。即用球面弯曲的石英晶体制成，面弯曲的石英晶体制成，能够使来自能够使来自X X射线源的光射线源的光线产生衍射和线产生衍射和“聚焦聚焦”，从而去掉伴线和韧致辐射，从而去掉伴线和韧致辐射，并降低能量宽度，提高谱并降低能量宽度，提高谱仪的分辨率。仪的分辨率。2.2.紫外光源紫外光源紫外光电子能谱仪中使紫外光电子能谱仪中使用的高强度单色紫外线用的高强度单色紫外线源常用

22、稀有气体的放电源常用稀有气体的放电共振灯提供共振灯提供。UPSUPS中的中的HeIHeI气体放电灯示意图气体放电灯示意图 UPS光源的光子能量光源的光子能量气体气体I (eV )II(eV )He21.2240.81Ne16.8526.9116.6726.81Ar11.8311.62HLyman 10.203.3.电子枪电子枪电子通常由金属的热发射过程得到。电子束具有可以电子通常由金属的热发射过程得到。电子束具有可以聚焦、偏转、对原子的电离效率高、简单易得等优点，聚焦、偏转、对原子的电离效率高、简单易得等优点，在电子能谱中，电子束主要用于俄歇电子能谱仪，因在电子能谱中，电子束主要用于俄歇电子能

23、谱仪，因用电子枪作激发源得到的俄歇电子谱强度较大用电子枪作激发源得到的俄歇电子谱强度较大。常用于常用于AESAES的一种电子枪的一种电子枪8.5.2 8.5.2 电子能量分析器电子能量分析器磁磁场场式式分分析析器器半半球球形形分分析析器器筒筒镜镜分分析析器器静静电电式式分分析析器器电电子子能能量量分分析析器器电子能量分析器其作用是把不同能量的电子分开，电子能量分析器其作用是把不同能量的电子分开，使其按能量顺序排列成能谱。常用的电子能量分析使其按能量顺序排列成能谱。常用的电子能量分析器为静电式能量分析器和后加速显示型分析器。器为静电式能量分析器和后加速显示型分析器。半球形电子能量分析器半球形电子

24、能量分析器半球形分析器示意图半球形分析器示意图 筒镜形电子能量分析器筒镜形电子能量分析器筒镜分析器示意图筒镜分析器示意图8.5.3 8.5.3 检测器检测器检测器通常为单通道电子倍增器和多通道倍增器检测器通常为单通道电子倍增器和多通道倍增器光电子或俄歇电光电子或俄歇电子流子流A1010-9-13倍增器倍增器1A10-4 通道电子倍增器是通道电子倍增器是一种采用连续倍增电极一种采用连续倍增电极表面（管状通道内壁涂表面（管状通道内壁涂一层高阻抗材料的薄膜）一层高阻抗材料的薄膜）静电器件。内壁具有二静电器件。内壁具有二次发射性能。电子进入次发射性能。电子进入器件后在通道内连续倍器件后在通道内连续倍增

25、，增益可达增，增益可达10109 9。多通道检测器是由多多通道检测器是由多个微型单通道电子倍个微型单通道电子倍增器组合在一起而制增器组合在一起而制成的一种大面积检测成的一种大面积检测器，也称位敏检测器器，也称位敏检测器（PSDPSD）或多阵列检）或多阵列检测器测器。8.5.4 8.5.4 真空系统真空系统电子能谱仪的真空系统有两个基本功能。电子能谱仪的真空系统有两个基本功能。1 1、使样品室和分析、使样品室和分析器保持一定的真空器保持一定的真空度，以便使样品发度，以便使样品发射出来的电子的平射出来的电子的平均自由程相对于谱均自由程相对于谱仪的内部尺寸足够仪的内部尺寸足够大，减少电子在运大，减少

26、电子在运动过程中同残留气动过程中同残留气体分子发生碰撞而体分子发生碰撞而损失信号强度。损失信号强度。2 2、降低活性残余气体的分、降低活性残余气体的分压。因在记录谱图所必需的压。因在记录谱图所必需的时间内，残留气体会吸附到时间内，残留气体会吸附到样品表面上，甚至有可能和样品表面上，甚至有可能和样品发生化学反应，从而影样品发生化学反应，从而影响电子从样品表面上发射并响电子从样品表面上发射并产生外来干扰谱线。产生外来干扰谱线。298K298K吸附一层气体分子所需时吸附一层气体分子所需时间间1010-4-4PaPa时为时为1 1秒；秒；1010-7-7PaPa时为时为10001000秒秒8.5.5

27、8.5.5 样品处理样品处理气化气化冷冻冷冻气体气体液体液体固体固体采用差分抽气的方法把气体采用差分抽气的方法把气体引进样品室直接进行测定引进样品室直接进行测定块状块状：直接夹在或粘在：直接夹在或粘在样品托上；样品托上；粉末粉末：可以粘在双面胶：可以粘在双面胶带上或压入铟箔（或金带上或压入铟箔（或金属网）内，也可以压成属网）内，也可以压成片再固定在样品托上。片再固定在样品托上。（1 1）真空加热；）真空加热；（2 2）氩离子刻蚀。）氩离子刻蚀。电子能谱仪原则上可以分析固体、气体和液体样品。电子能谱仪原则上可以分析固体、气体和液体样品。校正或消除样校正或消除样品的荷电效应品的荷电效应电中和法、电

28、中和法、内标法和内标法和外标法外标法8.6 8.6 应用举例应用举例电子能谱法的特点：电子能谱法的特点：（1 1）可以测定除氢和氦以外的所有元素；可以直接测定来）可以测定除氢和氦以外的所有元素；可以直接测定来自样品单个能级光电发射电子的能量分布，且直接得到电子自样品单个能级光电发射电子的能量分布，且直接得到电子能级结构的信息。能级结构的信息。（2 2）从能量范围看，如果把红外光谱提供的信息称之为）从能量范围看，如果把红外光谱提供的信息称之为“分子指纹分子指纹”，那么电子能谱提供的信息可称作，那么电子能谱提供的信息可称作“原子指原子指纹纹”。它提供有关化学键方面的信息，即直接测量价层电子。它提供

29、有关化学键方面的信息，即直接测量价层电子及内层电子轨道能级。及内层电子轨道能级。（3 3）是一种无损分析。）是一种无损分析。（4 4）是一种高灵敏超微量表面分析技术，分析所需试样约）是一种高灵敏超微量表面分析技术，分析所需试样约1010-8-8g g，样品分析深度约，样品分析深度约2nm2nm。8.6 8.6 应用举例应用举例 电子能谱目前主要应用于催化、金属腐蚀、粘合、电极过电子能谱目前主要应用于催化、金属腐蚀、粘合、电极过程和半导体材料与器件等这样一些极有应用价值的领域，探索固程和半导体材料与器件等这样一些极有应用价值的领域，探索固体表面的组成、形貌、结构、化学状态、电子结构和表面键合等体

30、表面的组成、形貌、结构、化学状态、电子结构和表面键合等信息。随着时间的推移，电子能谱的应用范围和程度将会越来越信息。随着时间的推移，电子能谱的应用范围和程度将会越来越广泛，越来越深入。广泛，越来越深入。 UPSUPS是研究原子和分子的价电子，而不是内层电子，与是研究原子和分子的价电子，而不是内层电子，与X X射射线光电子能谱比，从另一方面提供了一些有关物质的结构信息。线光电子能谱比，从另一方面提供了一些有关物质的结构信息。1 1）定性分析，能提供许多振动）定性分析，能提供许多振动- -转动能级结构方面的信息，可用转动能级结构方面的信息，可用于鉴定某些同分异构体，确定取代作用和配位作用的程序和性

31、质于鉴定某些同分异构体，确定取代作用和配位作用的程序和性质，检测简单混合物中各种组分等；，检测简单混合物中各种组分等； 2 2）物质结构研究，能精确测量物质的电离电位；）物质结构研究，能精确测量物质的电离电位；3 3）表面分析，也可以用于表面化学的研究，如表面吸附性质，）表面分析，也可以用于表面化学的研究，如表面吸附性质，表面催化机理及表面电子结构等。表面催化机理及表面电子结构等。XPS XPS 主要应用是测定电子的结合能来实现对表面元素的定主要应用是测定电子的结合能来实现对表面元素的定性分析。根据光电子能量，可以标识出是从哪个元素的哪性分析。根据光电子能量，可以标识出是从哪个元素的哪个轨道激

32、发出来的电子。谱图中峰的高低表示这种能量的个轨道激发出来的电子。谱图中峰的高低表示这种能量的电子数目的多少，亦即相应元素含量的多少，故可以进行电子数目的多少，亦即相应元素含量的多少，故可以进行元素的半定量分析。提供的半定量结果是表面元素的半定量分析。提供的半定量结果是表面3-5nm3-5nm的成分，的成分，而不是样品整体的成分。而不是样品整体的成分。AES AES 主要应用是进行表面元素的定性分析，利用微主要应用是进行表面元素的定性分析，利用微分谱上负峰的位置可以进行元素定性。也可以利用分谱上负峰的位置可以进行元素定性。也可以利用化学位移分析元素的价态。也不能分析化学位移分析元素的价态。也不能分析H H、HeHe，对，对样品有一定的破坏作用，但其具有表面灵敏度高样品有一定的破坏作用，但其具有表面灵敏度高（检测极限小于（检测极限小于1010-18-18g g）、分析速度快等优点。）、分析速度快等优点。8.6.1 8.6.1 表面组成的分析表面组成的分析Ag-PdAg-Pd合金退火前后的合金退火前后的AESAES谱谱a.a.退火前；退火前；b.700Kb.700K退火退火5min.5min.研究表