X射线荧光光谱仪操作步骤

1、1. 开机顺序打开空压机电源，检查二次压力为5.0bar。1.21.3打开P10气体钢瓶主阀，设定二次压力为0.7-0.8bar。1.4如果配置了冲氦系统，打开He气钢瓶，设定二次压力为0.8bar。打开水冷机电源，并调节水流压力至4 bar （4公斤）。1.51.6按下“ POWER ON开关，使主机处于 开机”状态。1.7开计算机，运行 分析软件，用户名及密码为“ SUPERQ。1.8打开光谱仪状态图，检查仪器真空度（小于100Pa?）, P10 气体流量（1L/Min 左右）。1.9转动HT钥匙，打开高压,仪器自动设定高压为20kv/10mA，同时启动循环水。A检查水流量，内循环水（3-

2、5L/Min )，外水(1-4L/Min )。B等待仪器内部温度稳定（30度）后可正常分析。打开主电源开关（配电柜空气开关），使主机处于待机状态。2. 停机2.1逐步降低高压到20kv/10mA（或运行Sleep程序）。2.2等待3分钟后，转动钥匙关闭HT高压。2.3关闭SuperQ,使分析软件与主机脱机。2.4按下“ Standby”开关，仪器处于待机状态。2.5如晚上及周末不使用仪器，建议设定高压为20kv/10mA低功率状态,不要关机。3. X-Ray Tube 老化如主机停机超过24小时，需对X-Ray Tube进行老化处理。3.1手动老化 开机后运行TCM2403按以下顺序进行:20

3、kv/10mA30kv/10mA40kv/10mA40kv/20mA50kv/30mA60kv/40mA60kv/50mA如停机时间大于24小时小于100小时，每步停留时间为1分钟。如仃机时间大于100小时，每步停留时间为5分钟。3.2 自动老化（Breeding）A.开机后运行TCM2403，如停机时间大于 24小时小于100小时，选择“ Fas老化，如停机时间大于100小时，选择Normal 老化。B.启动XRF system setup,运行System菜单下的Tube breeding,如停机时间大于 24小时小于100小时，选择“ Fas老化，如停机时间大于100小时，选择“ Nor

4、mal老化。C.在光谱仪状态图，以手动方式进行老化。4. P10气体瓶更换为了防止气瓶内的杂质进入分析仪，建议在瓶压为10个气压时即更换新气。4.1逐步把高压降至20kv/10mA,等待3分钟后，关闭高压。4.2设定分光室介质为空气状态。4.3关闭钢瓶主阀门，取下减压阀。4.4更换新的P10气体瓶。4.5快速打开气瓶主阀并迅速关闭以冲洗接口。4.6安装减压阀，打开主阀门，检查二次压力为0.7-0.8bar。（通常为0.75bar） 4.7打开主机电源4.8在谱仪状态图中点 Start Detector Gas按钮启动P10气,4.9设定分光室介质为真空状态。4.10打开高压，开始正常分析。4.

5、11 .待恒温正常后 4.12用TCM软件检查和调整PHD5. 更换水过滤器如果水流量变得很低，将使安全回路动作，从而不能打开高压，这时需更换水2、3都不更换照用。过滤器。更换的周期取决于水的质量。建议每年更换一次，我们一般5.1设定高压为20kv/10mA，然后关高压。5.2关闭水冷机阀门。5.35.4打开水冷机阀门，检查漏水情况。5.5开高压，正常分析。6.日常检查项目取出水过滤器，清洗过滤器或更换新的过滤器，重新安装好。6.1空气压缩机压力：5.0bar。排水每月一次，并检查油位。6.2冷却水：流量，漏水?6.3 P10气体：钢瓶压力是否小于正常压力（大于10） ?二次压力：0.7-0.

6、8bar 。6.4分光室真空度：小于100Pa, 般在10Pa以下，好的在2Pa以下。6.5仪器内部温度：30度。6.6冷却阳极（anode）的水流量应为1 -4L/min.冷却阴极（cathode）的水流量应为3- 5L/min,P10气体的流量应为0.6 2L/H（1L/H最好）。6.7真空泵每月要将气镇阀打开排除泵中水份，每次约6小时。7.常见故障7.1分光室真空抽不下去最可能的原因是活塞0-ring脏 其次是流气探测器窗口破裂7.2高压（HT加不上检查X-射线指示灯是否烧断 检查内循环水水温是否在正常范围内 检查内循环水电导率是否在正常范围内 检查内循环水水流量是否在正常范围内 检查内

7、循环水水箱水位（必要时添加去离子水） 检查光学室真空度是否小于lOOPa7.3探测器气体没有流量按钮C3和黄铜样品）在“光谱仪状态”视窗单击 Start Detector Gas如果还没有流量，调节流量针阀7.4脉冲高度发生漂移在TCM4400隹护软件中，调节探测器高压（用随机的7.5探测器能量分辩率恶化更换流气探测气阳极丝（50um更换流气探测气窗膜（1um）7.6内部转盘转动超时检查或更换传动皮带 检查定位传感器7.7活塞上升或下降超时检查压缩空气压力是否正常 检查定位传感器7.8 Cap关闭或打开超时检查压缩空气压力是否正常 检查定位传感器7.9 SuperQ软件故障重新安装SuperQ

8、3.0,拷贝进备份的userdata数据库, 问题即可解决。7.10仪器恒温失控检查恒温传感器 检查加热炉丝和电源7.11内循环水没有流量或流量不足检查水泵电源 更换水泵 调节流量（此工作必须由帕纳科公司维修工程师来完成）8.定期维护8.1 分析粉末样品每半年更换一次泵油。8.2 每半年将粉尘收集盒取下，清理干净。8.3 每季度检查一次内循环水水箱水位，必要时添加去离子水。8.4 每季度检查一次水冷机水箱水位,必要时添加蒸馏水，并将PH值调至8.0 （用 NaHCO3）8.5每半年清理一次活塞O ring 。8.6每个月做一次精度实验。8.78.8每季度检查一次探测器的能量分辩率（在Res.

9、TEST中）。每季度检查一次脉冲高度（在 PHD Test中，正常应在505范围内）。8.9每个月做一次数据库压缩和Back up。8.10每个月给空压机排水一次。8.11每个月将真空泵气镇阀打开，排除水分。坦H枷 扇 Picgtarriik亘冷血I SupoQ MinagiefI巴M刊国 FP-WufcHilp禺3 H囲 PCHtip帝 诲曲JNiIdp寻 鼠hO Mg札jft制xi許讪塚 W出 含 氐（wrQ %期（*环电嗦H卅T喪r号I TiF SysleiTi S 曲JT柑I Lafatijs umpact tj 匸3知镒 Mdinieftdiioe 用 C ohibuo 3* 陪 Ceiaba Up由i:碣I ilh C