试验八椭偏仪试验

1、实验八SGC-2型自动椭圆偏振测厚仪在半导体平面工艺中，SiO2薄膜是不可缺少的重要材料。它既可以被作为杂 质掩蔽、表面钝化和器件的电隔离材料，也可以用作电容器的介质和MOS管的绝缘栅介质等。无论SiO2膜用作哪一种用途的材料，都必须准确的测定和控制 它的厚度。另外，折射率也是表征 SiO2膜性质的重要参数之一，因此我们必须 掌握SiO2膜厚及其折射率的测量方法。通常测定薄模厚度的方法有比色法、 干涉法、椭偏法等。比色法可以方便的 估计出氧化硅膜的厚度，但误差较大。干涉法具有设备简单、测量方便的特点， 结果也比较准确。椭偏法测量膜厚是非破坏性测量，测量精度高，应用范围广。 它是使一束自然光经起

2、偏器变成线偏振光。再经1/4波长片，使它变成椭圆偏振光入射在待测的膜面上。反射时，光的偏振状态将发生变化。通过检测这种变化，便 可以推算出待测膜面的某些光学参数。我们这个实验是用椭偏法来测量 SiO2膜厚 度。一、目的要求1、了解用椭圆偏振法测量薄膜参数的基本原理和方法；2、 掌握椭圆偏振仪的使用方法，并用椭偏仪测量Si衬底上的SiO2薄膜的 折射率和厚度。、实验仪器SGC-2型自动椭圆偏振测厚仪，计算机 三、实验原理由激光器发出一定波长（入=6328?的激光束，经过起偏器后变为线偏振光， 并确定其偏振方向。再经过 1/4波长片，由于双折射现象，使其分解成互相垂 直的P波和S波，成为椭圆偏振光

3、，椭圆的形状由起偏器的方位角决定。椭片 此图1膜一空气）的来回反射与折射，总的反射光束一般仍为椭圆偏振光， 但椭圆的形 状和方位改变了。一般用 和来描述反射时偏振状态的变化，其定义为：於(1)中tg的物理意义是P波和S波的振幅之比在反射前后的变化，称为椭偏法的 振幅参量。的物理意义是P波和S波的相位差在反射前后的变化，称为椭偏法 的相位参量。Rp和Rs分别为P波初量和S波分量的总反射系数。在波长、入射角、衬底等参数一定时，和是膜厚d和折射率n的函数。对一定厚度的某种膜，旋转起偏器总可以找到某一方位角，使反射光变为线偏振光。这时再 转动检偏器，当检偏器的方位角与样品上的反射光的偏振方向垂直时，光

4、束不 能通过，出现消光现象。消光时，和分别由起偏器的方位角 P和检偏器的 方位角A决定。把P值和A 值分别换算成和后，再利用公式和图表就 可得到透明膜的折射率 n和膜厚度d。具体公式推导如下。图2中，在硅表面 镀有均匀的各向同性的透明薄膜。(7)(3)式中©，©1, ©2满足下列关系sin = n( sin =叫 為考虑到(2)及式，1 cos也为复数，则有 n COE0)= 一 卅 sin2 *(4)由硅片及其上面透明薄膜组成的系统作为一个整体具有一定的振幅反射率。 们以 K p和R s分别表示这个系统对沪-如P波和S波的振幅反射率，则其中(Ap) 1和(As

5、) 1分别表示入射波中表示反射波中P波和S波的振幅。根据光的干涉理论，可得(5)我(6)P波和S波的振幅，(Ap ) p和(A s ) s分别其中I表示空气与薄膜的分界面，II表示薄膜与衬底的分界面。自光源S发 出一束单色光，©表示单色光的入射角，©1表示薄膜的折射角，©2表示衬底的 折射角。no为空气折射率，ni为薄膜的折射率，n2为硅的复数折射率。n2 = n-iK， K称为消光系数，n2 =3.95-i 0.018。定义入射光，反射光，法线所构成的平面入 射面，将光的振动面与入射面平行的光波称 P波，振动面垂直入射面的光波称 S 波。根据费涅耳公式，在I界面

6、处，P分量和S分量的反射系数分别为(8)其中通常R p, R s是复数，定义它们的比值= fj? m-四、实验内容及步骤1. 打开主机开关，面板上的电源指示灯及开关内的指示灯同时亮起；2. 放置样品时，首先拉动样品台后方的手钮使样品夹离开固定板，将样品 放入，待测表面朝向固定板，将待测点放置在横向开槽的正中及固定块的中线上（也可直接观察光束在样品上的光点，使待测点处于光点中心处即可），然后慢 慢松开手钮，夹稳样品后即可进行测量，测量后扶住样品拉开样品夹取下样品， 再更换其他样品。注意：在拉开样品夹之前请勿拖拉样品以免破坏表面的镀膜。4. 在测量样品完成后要对样品进行周期判断。当光源波长为632

7、8A。时，SiO2膜的一个周期约为283nm左右，在膜厚大于一个周期时，需采用双角度测 量的方法，在单一角度的条件下无法判断周期，测量值对应的是第一周期内的厚 度值。5、如果已知周期时，可在建表法中以第一周期内为准查找出厚度，并横向 找出对应周期以得出镀膜的真实厚度。五、注意事项1. 不要让光源游标和接收游标同时停在 90 °位置，以免开机后激光束长时间 直接射入接收光栏对接收装置造成损坏，在非测量情况下样品台上不要放样品， 以免反射光长时间射入接收光栏对接收装置造成损坏；2. 对于以玻璃等透射率较高的物质为衬底的样品由于上、下表面的反射，反 射后可能出现两个光点，在正确校正仪器后应

8、该只有主光点能够射入接收光栏，如果不能确定主光点也可以在调节消光时，看有明暗变化的为主光点，副光点可 以不管，并尽量使副光点不射入接收光栏，以免对测量结果产生影响；3. 更换激光管时，可将管座全部拆下，再将后盖旋下，去掉电源接线，将激 光管从散热罩内取出，换好激光管再按原位置装回去，注意激光输出方向不要装 反。激光器装回原位置后，如果光束不能够射出入射一侧的光栏， 则需要按照第 5页"仪器的校正"中各步骤重新调节各部分，特别注意，激光管正负极不能接错；4. 1/4波长片一般情况下不允许转动，以免造成测量误差；5. 仪器在使用前建议用已知片进行检查（已知膜厚和折射率的镀膜片）

9、防止差 错；六、思考题1 试叙述用椭偏法测量薄膜厚度的原理。2 简述起偏器、检偏器、1/4波片的作用。附录1 仪器的结构本仪器分为光源、接收器、主机、电子及通讯四部分，外观参看图3图31）光源：采用波长为632.8nm的氦氖激光光源其特点是：光强大、光谱 纯、波长稳定性好。2）接收器：采用光电倍增管，把光讯号变为电讯号，经放大后输出至微 机，由微机选择出消光位置的角度值。3）主机部分：除以上两项外，还有起偏组件，样品台，检偏组件。4）电子及通讯部分：采集光强及对应的角度值并传输到计算机，再接收 由计算机发出的指令逐步靠近消光点。2 操作方法软件安装后，单击"开始"菜单或者桌

10、面上相应的图标都可以启动软件。（1）.初始化界面。首先显示的是初始化界面，对硬件进行必要的初始化，在此过程中，请等待 如果出现如下画面，则说明此时主机还未正常开启或未与计算机正常连接此时点 击"确定"也可以进入软件，但只可以进行建表操作；（2）.工作界面初始化完成后，会进入工作界面（如下图），Mf>ii 4tiff!-® ® =0 J 秘爭®atDrr” trz1MiH "ATMHdhT疋Mil nil NHVJJRHU佃UtaEixilfr =an吗事BfliH -胃tiw I » Fn* j ；MK册E «

11、; 1创* '呵1i俨1吐T 1llAhMD* |Ki 11厂A"iJU 厂TODiHar1I如果出现如下画面，则说明此时主机还未正常开启或未与计算机正常连接此时点击“确定”也可以进入软件，但只可以进行建表操作;(2).工作界面始化完成后，会进入工作界面(如下图)，S K-苕！IF.T>lE：i |± I卯 |昨d |ktXfiM 事*<80 厂± 1<Wfl 0|时剧起幕觀 1:1L2、软件界面Ptg）厂土厂厂+厂1 1主窗口下方为参数设置及结果显示区,光iH容称|*ImO |扎枷（JS1|TO在此处可对光源的波长、测量的入射角度、衬底

12、的折射率、消光系数(即折射 率的虚部)、环境折射率进行设置，测试完成后在消光点一栏中还会显示测量的 消光点结果及误差。“光源”框中“名称”下拉菜单中可选“氦氖激光器”和“其它光源”，选中“氦 氖激光器”后波长栏中会自动填入 632.8nm,选中其它光源则可在“波长”项 中填入所用光源的波长；“衬底”框中“名称”下拉菜单中可选“ Si衬底”和“玻璃衬底”同时下方的 “衬底折射率”和“衬底消光系数”会自动填入相应值，选中“其它衬底”时 会弹出如下窗口，在此窗口中可填入或删除衬底名称， 填入时要在右侧“添加”框内输入相应的名称、折射率、消光系数， 点击“添加”后，在左侧“现有”框内的“名称” 中即可

13、找到已存储的样品 衬底，衬底的种类最多可 以存储20种，点击“确定” 后窗口关闭，在衬底名称 中会出现刚刚新建的衬底的名称，选中后相应的折射率及消光系数也会出现在下方的对应框内，在设置好 参数后才可以进行测量 下拉菜单:快速测量关千(直)绘圜(D)切换欖式清除曲线测量衬底- 设置(P).复位® 开始 停止检索到. 校正“控制”下的“测量衬底”、“设置”、“复位”、“开始”、“退出”都有对应的 按键，详细功能请见按键功能说明；“检索到”：弹出如右侧窗口选中起偏器检索、检偏器检索并设置好对应下方的角度值，点击“确定”仪器将立即转动到要求另外“检索到”及“校正”无快捷按键，其功能分别为:的

14、位置;“校正”：弹出如右侧窗口此处只需点击“放置1/4波片”点后此键变 为“检测1/4波片”，再点击它，仪器运行后 右侧框内会出现起检偏的误差值，点击“确 定”软件会关闭此窗口并保存此误差值 在测量时自动消除此误差；“衬底”对应下拉菜单中的“测量衬底” 点击此键弹出如右窗口，设置好各项参 数点击“测量”会得出“衬底折射率”“衬底消光系数”即衬底的复折射率点击“确定”关闭此窗口；5“设置”点击此键会弹出如下窗口， 在此窗口中对测量方式进行设置， 默认为“快速测量”设置完成后点“确定”后即可进行测量；“复位”点击此键后仪器的起、检偏器自动归零；“开始”点击此键仪器开始测量镀膜片的起、检偏的消光角度

15、值，对 应不 同的测量方式，会以不同的形式给出测出的角度值；“停止”在仪器运行中点击此键，仪器会强行中断此次测量并且不返回 任何值；“退出”点击此键可以关闭此软件;“处理”下的“绘图”、“切换模式”、“清除曲线”、“建表”、“标准”、“双角度”都有对应的按键，详细功能请见按键功能说明；“快速测量”无按键，功能分别如下：对应设置中不同的测量方式各组按键分别可用，当选择“快速”时“快速测量”可用“快速测量”功能：点击此键仪器即开 始测量角度，测量结束后给出如下图窗 口 在此窗口中点击“快速”在“结果”区 中会给出如图中的三项参数，点击“关 闭”可以关闭此窗口，结束此次测量；快速测员结果当设置中选中

16、“做图”则“绘图”、“切换模式”、“清除曲线” 项为可用，同时窗口右侧的绘图参数栏也为可用 如图“绘图”功能：与右侧窗口下方的“下条曲线”功能一致， 以膜厚的上、下限或折射率的上、下限为边界，以相应的精 度为间隔，逐一画出膜厚曲线或折射率曲线，每点击一次画 出一条曲线，等膜厚曲线以蓝色线显示，等折射率曲线以黄 色线显示；“切换模式”功能：与右侧窗口下方的“切换模式”功能一 致，每点击一次绘图模式即在膜厚与折射率两种方式间切 换，切换时原有曲线不会清除，但绘图时是从此种模式的下 限重新开始绘图；“清除曲线”功能：与右侧窗口下方的“清除曲线”功能一致，清除目前绘图窗口中所有曲线以便于重新绘图。另外

17、：在此窗口中更改任何参数测量得到的点始终在屏幕正中显示，更改膜厚及折射率参数时原有曲线不会被清除而在目前的基础上继续绘图，只有在更改横轴及纵轴放大倍数的时候才会清除原有曲线，全部重新绘制，窗口中还会实时显示绘图模式及当前绘制到的曲线的参数； 在绘图结束后将测得的结果填入“绘图 结果”中的“薄膜厚度”及“薄膜折射率”中，然后在“则结论为”下方的窗口 中点击下拉箭头会给出各周期对应的膜层厚度；使用绘图模式可较直观地了解椭偏仪的原理，具体操作时可先将膜厚的上下限 围设置大一些如0300,精度设置大一些如10,折射率同样先将上、下限分别 设在1.3和2.49，精度设在0.1，横、纵轴放大倍数均设为10

18、，这样可迅速缩小范围，操作中每点一下“下条曲线”绘图区就绘出0、10、20、300,当绘出的两条曲线跨过测量值（即中心点）则说明膜厚在此两种厚度之间，点“切 换模式”可在等膜厚绘制方式与等折射率绘制方式之间切换，切换时实时显示结 果框中也相应的在“当前膜厚二”与“当前折射率二”之间切换，当把膜厚与折 射率都确定在一定范围后再将膜厚与折射率的上下限设置在相应范围，精度提 高，横纵轴的放大倍数也根据情况放大进行精确查找，随着放大倍数的增加，消光点也随之变大，所以不能无限提高精度。测量过程中随时可以改变参数值，每 次更改后曲线将全部清除重新绘制；当选择“查表”时“建表”可用“建表”功能：点击此键可弹

19、出如下图窗口对应窗口中参数设置好之后点击 “建表”在右侧窗口中会给出04000左右的参 数值，右侧上方的“上翻”、“下翻”可对在“薄膜折射率范围”之内的各张表逐建表X对应窗口中参数 设置好测量结果 也会自动输入， 点击“建表”在 右侧窗口中会给 出由此测量值得条件薄膜折肘率范围|K |而环憧折射率'1材屈复折討军|点+ |i入对角度70 度常瞑阜虔间隔0. 1 tunF= |92?度X 叵 1125 度12345 -)6Ta9101192.3562,41585.305124 5092, 32&2 弓館85.-353124 BOSE . 3062.677BS, 401124 70

20、92, ZTB2.80985. 450124 8D92.2585. 4的124. 9092. 23：83.0T485.549125.OQ92. 2063.2UTS5.S9912S. 1092. IB63.34085.645125.2092.1563.47485.699125.3092.1363.6M85.749125.4092. 1063.743ss.eoo125.50-IL4出的样品厚度及 折射率，右侧上 方的“上翻”姑果折射率=1 46脛匣度=偌05 tup“下翻”可对在范围内的表格逐一查看，点击关闭可退出此次测量“标准”按键为一直可用，功能是根据输入的参数建一张标准的表格，以便对不 同的

21、参数情况下起、检偏角度变化的规律有所了解；“标准”功能：点击此键可弹出如下图窗口 在“薄膜折射率范围”之内的各张表逐一显示;对应窗口中参标帯数设置好之后点击“建表”在右侧窗口中会给出04000左右的参数值，右侧上 方的“上翻”、“下翻”可对+ I=6. 02度序号上诩 下翻帯膜厚度间隔| GT jut, (o.i-i) r- |o 度z |o 度结餐折射舍膜库度=酗145.4210.3371T9 161245.5610.336ITS 879345. TO10.339ITO 996445. 9410,34OITS 313545. 9810.341178. B3184B. 1310.342ITT.

22、 74874B. ZT10.344ITT.帕呂g46, 4110 35177, 1334&, 5510 3<7176. 9011046.6910 39176.6191146.8310 3511T6. 337124&. 9TID 354176. 0551347. 1110.396ITS. 7731447.2510.359175.4911547.4010.362175 . 2101647.5410.365174 9281747.W10.36S174 &4Ti囂ft?in勺巧117dAMloao帥4050603cSI(n103o3c4oM閒 M do.D.mD.D.D.

23、D.D.D.D.LLLLLLL 双角度测量主窗口下方为参数设置及结果显示区，当设置中选中“双角度”时“双角度”项可用“双角度”功能 ：点击弹出如下窗 口 在此窗口中设置好两次 测量的角度及光源、环境 等参数，分别在对应的框 中点击“测量”，两次测 量后点击“计算结果”后 方的框中会显示样品上 镀膜的真实厚度，如果双 角度测量的结果误差较 大，会提示出错，请重新 测量，确定后关闭此窗口 并退出此次操作。率的虚部）、环境折射率进行设置，测试完成后在消光点一栏中还会显示测量的 消光点结果及误差。“光源”框中“名称”下拉菜单中可选“氦氖激光器”和“其它光源”，选中“氦 氖激光器”后波长栏中会自动填入

24、632.8nm,选中其它光源则可在“波长”项中填入所用光源的波长；“衬底”框中“名称”下拉菜单中可选“ Si衬底”和“玻璃衬底”同时下方的“衬底折射率”和“衬底消光系数”会自动填入相应值，选中“其它衬底”时会弹出如下窗口，在此窗口中可填入或删除衬底名称，填入时要在右侧“添力框内输入相应的名称、折射率、消光系数，点击“确定”后，在左侧“现有”框内的“名称”中即可找到已存储的样品衬底，衬底的种类最多可以存储20种，点击“确定”后窗口关闭，在衬底名称中会出现刚刚新建的衬底的名称,选中后相应的折射率及消光系数也会出现在下方的对应框内。3、软件界面的具体介绍： 主窗口下方为参数设置及结果显示区，Uh睪肩

25、用片舉*标&怖"3财|± r亠1 |我牡g） 厂打创时事厂I± 1AM* OR1TO1r在此处可对光源的波长、测量的入射角度、衬底的折射率、消光系数（即折 射率的虚部）、环境折射率进行设置，测试完成后在消光点一栏中还会显示测量 的消光点结果及误差。"光源"框中"名称"下拉菜单中可选"氦氖激光器"和"其它光 源"，选中"氦氖激光器"后波长栏中会自动填入 632.8nm，选中其它光源则可在" 波长"项中填入所用光源的波长；"衬底&q

26、uot;框中"名称"下拉菜单中可选"Si衬底"和" 玻璃衬底"同时下方的"衬底折射率"和"衬底消光系数"会自动填入相应值，选中" 其它衬底"时会弹出如下窗口，在此窗口中可填入或删除衬底名称，填入时要在 右侧"添加"框内输入相应的名称、折射率、消光系数，点击"添加"后，在左侧"现有"框内的"名称"中即可找到已存储的样品衬底，衬底的种类最多可以存储 20 种，点击"确定"后窗口关闭

27、，在衬底名称中会出现刚刚新建的衬底的名称，选中 后相应的折射率及消光系数也会出现在下方的对应框内，在设置好参数后才可以 进行测量。当设置中选中"做图"则"绘图"、"切换模式"、"清除曲线"项为可用，同时窗 口右侧的绘图参数栏也为可用如图"绘图"功能：与右侧窗口下方的"下条曲线"功 能一致，以膜厚的上、下限或折射率的上、下限为边界，以相应的精度为间隔， 逐一画出膜厚曲线或折射率曲线，每点击一次画出一条曲线，等膜厚曲线以蓝色 线显示，等折射率曲线以黄色线显示；"切换模式

28、"功能：与右侧窗口下方的"切换模式"功能一致，每点击一次绘图模式即在膜厚与折射率两种方式间切换，切 换时原有曲线不会清除，但绘图时是从此种模式的下限重新开始绘图；"清除曲线"功能：与右侧窗口下方的"清除曲线"功能一致，清除目前绘图窗口中所有曲 线以便于重新绘图。另外：在此窗口中更改任何参数测量得到的点始终在屏幕正中显示， 更改膜 厚及折射率参数时原有曲线不会被清除而在目前的基础上继续绘图， 只有在更改 横轴及纵轴放大倍数的时候才会清除原有曲线， 全部重新绘制，窗口中还会实时 显示绘图模式及当前绘制到的曲线的参数；在绘图结束后

29、将测得的结果填入 "绘 图结果"中的"薄膜厚度"及"薄膜折射率"中，然后在"则结论为"下方的窗口中点击下拉箭头会给出各周期对应的膜层厚度；使用绘图模式可较直观地了解椭偏仪的 原理，具体操作时可先将膜厚的上下限围设置大一些如0300,精度设置大一些如10,折射率同样先将上、下限分别设在1.3和2.49,精度设在0.1,横、纵轴放大倍数均设为10,这样可迅速缩小范围，操作中每点一下"下条曲线"绘 图区就绘出0、10、20、300,当绘出的两条曲线跨过测量值（即中心点） 则说明膜厚在此两种厚度之间，点"切换模式"可在等膜厚绘制方式与等折射率绘 制方式之间切换，切换时实时显示结果框中也相应的在"当前膜厚="与"当前折射率二"之间切换，当把膜厚与折射率都确定在一定范围后再将膜厚与折射率的 上下限设置在相应范围，精度提高，横纵轴的放大倍数也根据情况放大进行精确 查找，随着放大倍数的增加，消光点也随之变大，所以不能无限提高精度。测量 过程中随时可以改变参数值，每次更改后曲线将全部清除重新绘制；当选择"查表"时