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1、欧阳语创编_、双氧水+硫酸体系的微蚀液失 效的原因:1、时间:2021.03.01创作:欧阳语2、双氧水的稳定性(分解)原因:1)温度的影响:温度升高双氧水分解速度加快(30 度)2)铜离子浓度的升高也使双氧水分解加快:25g/L时双 氧水的分解速率加快(20g/L时开始促进双氧水分解)建议:1)控制反应的温度;2)反应时间长了要控制铜离子 的浓度;3)添加双氧水的稳定剂(含有极性氢原子功能团的 有机化合物,如:轻基9H、竣基COOH、磺酸M-SO3Hx胺 基-NH-)3、反应液中氯离子(Ch )浓度的影响:反应中氯离子对微蚀速率影响很大,随着氯离子的升 高,无论采用何种方式均只能维持低微蚀速
2、率,要有 效提高微蚀量只好采用微蚀作用时间来达到明显效 果。作用的效果为(氯离子Z温度,双氧水含量)附注:氯离子在酸性强氧化环境中会生成氯气CI2欧阳语创编Cl2 + H2O =(可逆号)Cl- + 2H+ + CIO-当酸性过强的时候,可逆反应转向生成氯气,但所添加的量,不 足以挥发出来,还是溶解在水中,但当酸性不足的时候,可逆反 应转向,以维持均衡的酸性保证氧化效果的均匀但当氯离子 过高的时候,转向生成氯气一方,因此微蚀的速度就会降下来, 同时还会挥发少量氯气。H2O2 + Cl2 =O2 +2 HCI (因为氯气的氧化性强于双氧 水)(所以在双氧水体系中,控制氯离子的含量是很重要 的)所
3、以氯离子偏高会使双氧水分解。七:异 常 处 理:1、板面发黑:降低硫酸浓度;2、微蚀深度达不到:化验分析硫酸、双氧水、铜离 子;是否硫酸、双氧水浓度过低或铜离子偏高;如果硫酸、 双氧水浓度过低可补充硫酸、双氧水达到设定值即可;如果 铜离子偏高,排去槽液三分之一补充新液即可;3、如微蚀速率过高,检查温度是否偏高;硫酸、双氧 水 浓 度 是 否 偏 咼 ;4、如微蚀速率过低,化验氯离子是否偏高,如偏高需 从新更换槽液;二、过硫酸钠体系的问题欧阳语创编1、溶液中深度影响蚀刻速率:Na2S2O8+Cu = C11SO4+Na2SC)4在硫酸浓度不高的时候,SO?/的增加有利于与反应中的 CZ+结合,反应速率加快;但当H2SO4增加到一定程度 时,反应产物中的SOS浓度增加过大,抑制了反应的进 程。2. 硫酸铜含量的影响:铜离子浓度大于25g/L时,随着铜离子的浓度增加微蚀速 率大大降低,
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