ITO薄膜基础知识

1、IT O薄膜根底知识一、ITO薄膜得概念ITO薄膜就是I n dium Tin Oxides得缩写.作为纳 米锢锡金属氧化物,具有很好得导电性与透明性,可以切断对人体有害得电子辐射,紫外线及远红外线.因此,喷涂在玻璃, 塑料及电子显示屏上后,在增强导电性与透明性得同时切断 对人体有害得电子辐射及紫外、红外.I T O就是一种N型氧化物半导体-氧化锢锡,ITO薄膜即锢锡氧化物半导体透明 导电膜,通常有两个性能指标：电阻率与透光率、二、I TOt膜得应用I TO薄膜具有优良得光电性能,对可见光得透过率达9 5 %以上,对红外光得反射率70 %,对紫外线得吸收率A 85%, 对微波得衰减率A 85%

2、,导电性与加工性能极好,硬度高且耐 磨耐蚀,因而在工业上应用广泛,在高技术领域中起着重要作 用.主要用途有：一用于平面显示I TO薄膜得透明导电性及其良好得电极加工性能,所以它作为液晶显示器用得透明电极获得高速开展,约占功能膜得50 %以上,例如液晶显示LCD、LED、电致发光显示 ELD、电致彩电显示ECD等、随着液晶显示器件得大面 积化、高等级化与彩色化,LCD将超过CRT成为显示器件中 得主流产品、因而I T O薄膜主要用于高清楚度得大型彩电、 计算器、计算机显示器、液晶与电子发光屏幕等、(aui而寇国图口?虑用彘品情城< KMX)事用液晶翱而给“雨桂新被'防鹏窟磁波威璃4

3、0-300液晶千槿、索雀用跖纸星而标' 大脑常池' 搞常式液晶 电玩“量测微萼用之理示器、ELI5-4D液晶勉之重视、曼配型四人苴躺*搞份型倡人宦脂70爨醺用器灌示舞LCD用也笠产上至位二用于触摸屏目前市场上,使用I TO材料得电阻式触摸屏与电容式触 摸屏应用最为广泛.1、电阻式触摸屏？薄得ITO透明性好,但就是阻抗高；厚得I T O材料阻抗低,但就是透明性会变差.在 PET聚脂薄 膜上沉积时,反响温度要下降到150度以下,这会导致ITO氧化 不完全,之后得应用中ITO会暴露在空气或空气隔层里,它单 位面积阻抗由于自氧化而随时间变化、这使得电阻式触摸屏 需要经常校正.电阻式触摸

4、屏得多层结构会导致很大得光损 失,对于手持设备通常需要加大背光源来弥补透光性不好得 问题,但这样也会增加电池得消耗.电阻式触摸屏得优点就是 它得屏与限制系统都比拟廉价,反响灵敏度也很好.2、电容式触摸屏？ 电容式触摸屏也需要使用I T O材 料,而且它得功耗低寿命长,自从Appl e推由iPhone后,友好 人机界面、流畅操作性能使电容式触摸屏受到了市场得追捧 ,各种电容式触摸屏产品纷纷面世、而且随着工艺进步与批量 化,它得本钱不断下降,正逐步取代电阻式触摸屏.外表电容触摸屏得ITO涂层通常需要在屏幕得周边加上 线性化得金属电极,来减小角落/边缘效应对电场得影响.有 时ITO涂层下面还会有一个

5、ITO屏蔽层,用来阻隔噪音.外表 电容触摸屏至少需要校正一次才能使用.？ 感应电容式触摸屏与外表电容触摸屏相比,可以穿透较厚得覆盖层,而且 不需要校正.电容式触摸屏技术就是利用人体得电流感应进 行工作得.电容式触摸屏就是一块四层复合玻璃屏,玻璃屏得内外表与夹层各涂有一层I T O,最外层就是一薄层矽土玻璃 保护层,夹层ITO涂层作为工作面,四个角上引由四个电极,内 层ITO为屏蔽层以保证良好得工作环境、代表产品就就是苹 果ipho ne、iP o d t o uch与iPad系列产品,拥有其她产品难 以超越得非凡触控体验、二用于交通工具风挡ITO薄膜能除雾防霜,就是一种典型得透明外表发热体 可

6、以用作汽车、火车、电车、飞机等交通工具得风挡,用于陈列窗、溜冰眼镜、双引自行战车及医疗喉镜.还可以用作烹 调用加热板得发热体,也可以用于炉门、冷冻食品得显示器及 低压钠灯等.三用于太阳能方面ITO薄膜用于异质结S I S太阳能电池顶部氧化物层,可 以得到高得能量转换效率,例如ITO/S i O 2 / P- S i太阳能 电池可以产生13 %16%得转换效率.ITO玻璃还可以用于Si太阳能电池得反射涂层以及用于异质结型A-Si基太阳能电池得透明电极.具有电致变色EC 得灵巧窗得典型结构就 是在普通白玻璃上沉积多层膜,其内外层为ITO膜.研究表 明,EC玻璃可使建筑物内暖气、冷气与照明等能耗减少

7、50%以上、四用于微波屏蔽与防护镜ITO薄膜有良好得微波屏蔽作用,能防静电,可用于屏蔽 电磁波得地方,如计算机房、雷达得屏蔽保护区,甚至可用于 防雷达隐形飞机上.茶色I TO薄膜就是锢、锡氧化物得新 品种,它能防紫外线与红外线,滤去对人体有害得紫外波段,因 此镀I TO膜得玻璃镜片可作特殊防护镜.三、ITO薄膜得主要制备方法ITO导电薄膜就是用物理得或化学得方法在基体外表上 沉积得到.基体材料一般采用玻璃,如采用低温溅射工艺制备 这种薄膜,基体也可以采用塑料等聚合物材料.基体得热膨胀系数对膜得性质有较大得影响,所以选择基体时应考虑基体 与莫得热膨胀系数得匹配问题.一磁控溅射法：磁控溅射法就是利

8、用惰性气体离子轰 击靶材一般为高密度得锢锡氧化物靶材,轰击下来得原子 沉积到衬底上形成薄膜、磁控溅射法采用得靶材有IT靶与ITO靶两种.二化学气相沉积CVD法:CVD法首先就是将锢、锡得 有机盐气化,然后在N 2或Ar得载气气氛中与O2,H2O或H2O 2等反响而得到ITO薄膜、三喷雾热分解法：喷雾热分解法就是将锢与锡得金属 盐溶液雾化后喷在处于高温区域得衬底上,经过液滴得干燥、热分解过程在基体外表得到ITO薄膜.四溶胶-凝胶法：首先得到氢氧化锢锡溶胶,然后通 过浸涂、煨烧等后续工艺得到薄膜.五水热法：水热法制备薄膜就是近年来开展起来得一 种很有潜力得液相制膜技术,它一般以廉价得无机盐或氢 氧

9、化物水溶液或悬浮液为前驱体 ,以单晶片、金属片、玻璃 片、甚至塑料等为衬底,将前驱体与衬底置于密闭反响容器 里,通过对反响容器加热,创造了一个高温通常低于3 00 C、高压得反响环境,最终在衬底上形成稳定结晶相簿 膜.目前,水热法制备薄膜得研究主要集中在制备压电与铁 电薄膜.四、电容屏主要供给厂商 一台湾电容屏主要供给厂商BrandBusinessCustomer BaseMajor Market羊鸿TPKTP Sense r/MuduJeApple命关CMJTP Sense r/Mlodu IeA.pple/HTC胜华WlntekTP Eenscr/McxidteApple达虹CandoTP

10、 senser/ModjlcApple/HP和缁SintekTP Sense r/McxIufeAp 国tifSonvEriEUSA/Korea/J3pn凌达giantphsLCM ModuleHTC洋年Young FastModule华映CpttLCM Module介面J TouctiLCM ModuleSonyErit/, 'J/LG全今EOTLCM Module型 /Lemark/SymbolCHINA/Japan明矍UmdKplay"P Seriscr/M(xlule许到足,罔Korea/TW/Japan二国内电容屏主要供给厂商BrandBusinessCustome

11、BaseMajor Market比亚迪BVDLCM Module金沙康件/天时达CHINA天马TianmaModule华为/山洪/天语南玻NaBOGlass/no Glass东方/宇林/肮天光电牧东MuttoTP Sersor海尔/中均海信/联想信利TrulyTP Sersor/Module华为/中共/天谙是声Go worldTP Sensor/Module联想/天语莱大LaibaoGlass/TTO Glass大马/信利/超声CHINA华意EELYTP Sersor团-1你任星/Rf"联想MTNA/Jopan字顺SuccessTP 5ersor/Module华为川兴/BBKZ装曲C

12、HINA1俏TokenG13S5i/TO Gl曰与刍天马/伯利/超声三国外电容屏主要供给厂商BrandBusinessCustomer BaseMajor MarketAreaLG化学LGModuleLfl/OlhcrsKoreaKorsaDigitechN/ATP Senso,-三里KoreaKoreaELKN/ATP 5entor/ModuleT 足 /U/MoLu/SoriyKorea/JapanKoreaMIiFASN/ATP Sensor三星Korea/JapanKoroaSynopexN/ATP Ser»so7Module三星Korea/JapanKuraa写真Niijs

13、haModulelilt'USA.Korea/Japan TWJapan四触控板材料价值分布1、 Touch s e n sor 触控感测器40 %2、Cove g gl a ss防护玻璃罩30%3、Touch se n sor chip 触摸传感器芯片15%4、Pr i n t e d circuit b o ard s and 0the r c om p onents电路板及其她部件15%五、I T O材料在电容式触摸屏产业链中得根本情况一行业综述ITO靶材,约占原材料采购本钱 20%左右、主要由日本提 供,日本目前提供了全球 70%左右ITO靶材.日东电工目前 在电阻屏与电容屏得I