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文档简介

1、Nano Scope An alysis简易使用方法一:图像处理功能1、flatten,用于平滑图像,Inputs二 Fatten Order2ndFatten Z Threslhboldiinig DirectionNo th心卜olTingFrdi Thr-frill old furllie wl-ule irruyFlattvfl Z Thrnhold %25 0 %1- Mark Exc bded DatdJfesExecute用时选择一阶或者二阶方式,单击。若有明显比较高的凸起,flatten会有黑边,需在图像中选中那块区域以后(依次全部选中)再点。最终得到效果2、crop and

2、split,用于截取原图中的一部分,使用时选中一定区域Erase,用于擦掉扫描时意外出现的跳线,。处理时,先用中的放大功能把有跳线的区域放大,再点然后在图像中单击跳线的位置,此时会出现虚线, 线。E wecute I,就可擦掉跳图像分析功能1、section,用于分析高度,使用时在图像上拉一条线,在右边会出现section的分析曲线线拉到要测高度差的两个点上,在2、JarHonzonta DistanceVerticai Dislarce |Surface Detence10.0t4(W)-13.921 (nm)0a»8 翫00.000 (tt)XSfl差。roughness用于分析

3、粗糙度,使用时右边一 曲旳丹丐也讯SurfCv Arta 4,00厲2 IjriaELirFflriE- Ami DrFfr rmcel_06箱卜ImageRq2L0Snm=InageRa丄站nm=bnd爭典m細15.4nmpIRjium M«4nCLQOriiirn,把两条蓝上可以读出水平距离以及高度results 中的叫win rmimageRa/Rq是粗糙度,如果想看图片局部的粗糙度,则可在左边大图中直接选中一块区域Surhirr Ar-o U rtfcrrnrr单击E wecute,然后通过右边的IJ4 %2L23 nmL71 nmRa/Rq值得到粗糙度。4、用于分析台阶高度

4、,在右边曲线两边拉出两对直线,调到同平面 Resuts从曲线下方的depthVrtiL-al Dsda"!匚亡-1L& nm可以直接得到台阶的高度。step。用于计算沟槽的深度。5、3D image,用于转换得到三维图像。右边的 in puts选项中,可以修改背景颜色background color为白色或者黑色,z轴和xy轴的比例zaxis aspect ratio, 图像图像放大调节 zoom, label type可选择显示坐标轴,拉动左边图片export 。三:导出数据若想导出图像,点 ,在右边选择导出的时候要显示的项目 Keep Original PixelsNoFont Size14 Show Color BarNoShow Datd ScaleNo Show Scan Size BarNoShow Data TypeNo,(四个show的选项)把它改成yes,然

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