PN结二极管工艺流程ppt课件

1、PN结二极管的制备结二极管的制备 主要内容：主要内容：PN结二极管的制备结二极管的制备（0准备准备p-Si 1 1、制备单晶硅片、制备单晶硅片2 2、硅片表面的化学清洗、硅片表面的化学清洗PN结二极管的制备结二极管的制备(1) 氧化氧化问题：问题： 1、为什么要双面氧化？、为什么要双面氧化？ 2、氧化层的厚度需要大于设计的厚度，为什么？、氧化层的厚度需要大于设计的厚度，为什么？PN结二极管的制备结二极管的制备(2) 涂胶涂胶问题：问题：1 1、涂胶过程、涂胶过程2 2、光刻胶分类，作用，常用的光刻胶？、光刻胶分类，作用，常用的光刻胶？3 3、涂胶后，曝光前，对光刻胶加固的过程是什么工艺、涂胶后

2、，曝光前，对光刻胶加固的过程是什么工艺PN结二极管的制备结二极管的制备Mask 1黑色部分都是不透光的，中间的白色部分是做扩散的位置。Mask的剖面图PN结二极管的制备结二极管的制备（3曝光曝光问题：问题：1 1、光刻的作用？、光刻的作用？2 2、图中使用的是正胶，如果用负胶如何修改工艺？、图中使用的是正胶，如果用负胶如何修改工艺？PN结二极管的制备结二极管的制备（4显影显影问题：问题： 1、什么是显影工艺？、什么是显影工艺？ 2、显影液选择的注意事项。、显影液选择的注意事项。PN结二极管的制备结二极管的制备（5腐蚀腐蚀问题：问题：1 1、腐蚀分为哪两种形式，各有什么特点？、腐蚀分为哪两种形式

3、，各有什么特点？2 2、选用腐蚀液要注意什么？、选用腐蚀液要注意什么？PN结二极管的制备结二极管的制备（6去胶去胶1 1、通常用什么方法去胶？、通常用什么方法去胶？问题：问题：PN结二极管的制备结二极管的制备（7杂质扩散杂质扩散1 1、硅片要经过适当的清洗后、硅片要经过适当的清洗后2 2、应该扩散什么杂质、应该扩散什么杂质3 3、杂质扩散源有哪些、杂质扩散源有哪些4 4、以液态扩散源简要说一下扩散的化学原理、以液态扩散源简要说一下扩散的化学原理5 5、这只是杂质的预淀积。、这只是杂质的预淀积。问题：问题：PN结二极管的制备结二极管的制备(8)驱入驱入在未被氧化层保护的区域形成了在未被氧化层保护

4、的区域形成了n+-pn+-p结。结。 （n+n+中的中的“+”+”号表示高掺杂）号表示高掺杂）问题：问题：PN结二极管的制备结二极管的制备（9金属化金属化1 1、金属化的目的？、金属化的目的？2 2、淀积金属薄膜有几种方法？、淀积金属薄膜有几种方法？3 3、（低于或等于、（低于或等于500oC500oC退火来改善金属层退火来改善金属层 与硅之间的欧姆接触。与硅之间的欧姆接触。 问题：问题：PN结二极管的制备结二极管的制备(10)涂胶涂胶目的：通过光刻去除扩散结区域之外的多余的金属薄膜。目的：通过光刻去除扩散结区域之外的多余的金属薄膜。PN结二极管的制备结二极管的制备Mask 2Mask黑色部分都是不透光的，四周的白色部分是刻蚀金属的位置。Mask的剖面图问题：可不可以用问题：可不可以用Mask1？PN结二极管的制备结二极管的制备(11)曝光曝光mask2板板问题：问题：如果采用负胶，如何修改掩膜板如果采用负胶，如何修改掩膜板Mask2Mask2？PN结二极管的制备结二极管的制备(12)显影显影问题：显影液的选择问题：显影液的选择PN结二极管的制备结二极管的制备(13)腐蚀腐蚀1 1、此次腐蚀的目的？、此次腐蚀的目的？2 2、腐蚀液的