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1、数据分析 结深 硼扩后电性 裂片TRR良率一一结深结深 12001.2280 N 50 耐压区 130 P 70 1263/17H 275-285 8001.2130 N 60 耐压区 80 P 851263/29H 250-260 6001.2120 N 60 耐压区 80 P 80 1263/27H 240-255 12001.770 N 70 耐压区 110 P 65 1263/29H 270-280 5501.2548 N 85 耐压区 55 P 85 1263/29H 255-265 350148 N 85 耐压区 40 P 951263/29H 240-260 电性原片厚度磷扩硼扩

2、前厚度硼扩结深P耐压区N12001.2280275-2851200/200分250-2551263/17H70130508001.2130250-260-1200/200分225-2351263/29H8580606001.2120240-2551200/200分220-2251263/27H85806012001.770270-2801250/10H240-2451255/17H65110705501.2548255-2651250/12H225-2281255/37H855585350148240-2601250/12H220-2231255/42H954085二硼扩后电性电性原片厚度磷扩

3、硼扩前厚度硼扩硼扩后电性PIVVFTRR12001.2280275-2851200/200分250-2551263/17H1400-16000.918-0.9308001.2130250-260-1200/200分225-2351263/29H900-12000.885-0.8996001.2120240-2551200/200分220-2251263/27H800-10000.882-0.89911001.770270-2801250/10H240-2451255/17H1000-12000.890-0.8995501.2548255-2651250/12H225-2281255/37H600-8000.875-0.879350148240-2601250/12H220-2231255/42H400-6000.866-0.871裂片TRR良率良品TRRTRR亮边亮角边角碎次8291.20.66.50.7880.62.60.57.492000.76.60.8850.71.62.573.2882.302.66.790

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