扩散工艺说明(尚德)

1、SF工艺说明产品名称单晶硅电池片编号SF5.405.010GGS产品图号SF5.405.010版号01工位名称扩 散工位编号KS需要人数第1张共7张流向ZBKS1. 目 的确保单晶硅磷扩散工艺处于稳定受控状态2. 适用范围适用于单晶硅磷扩散工序3. 责 任本工艺说明由技术部负责4. 内 容4.1 工艺流程4.1 按照设备点检表点检设备是否完好，符合运行条件。4.2 升温4.2.1 按照扩散设备操作规程进行升温。对于不常用的炉管，需先进行一次饱和。4.3 装片、检验（见附页一）4.3.1 打开传递窗，将片盒从传递窗拿出放到净化工作台里；4.3.2 用舟叉将空石英舟端至净化工作台；4.3.3 用石

2、英真空吸笔将片盒内的硅片移至石英舟槽内，每槽2片；4.3.4 在装片过程中，需检验硅片表面是否干净。若硅片两面都不干净，做返工片处理；若一面干净，一面不干净，则将干净面作为扩散面；4.3.5 检查硅片是否有裂纹，若有裂纹作碎片处理。4.4 上桨（见附页二）4.4.1 用舟叉将石英舟平稳端出净化台，石英舟微微向上倾斜，约15°，端至碳化硅桨上，一边靠近匀流板约13cm。4.5 扩散4.5.1 按照扩散设备操作规程，开启设备，具备生产条件；4.5.2 点击触摸屏上的“工艺运行”按钮，输入正确的工艺号,参照扩散工序工艺参数表，检查各工艺参数是否符合要求，点击“确认”按钮，运行扩散工艺。更改

3、标记数量更改单号签 名日 期签 名日 期第1页拟 制审 核共7页标准化批 准 旧底图总号 底 图 总 号日 期 签 名SF工艺说明产品名称单晶硅电池片编号SF5.405.010GGS产品图号SF5.405.010版号01工位名称扩 散工位编号KS需要人数第2张共7张流向ZBKS4.6 方块电阻测量（见附页三）4.6.1 扩散工艺运行完毕后，用舟叉将石英舟端至卸片台，按照从炉口到炉尾的方向依次均匀的取五片，放入片盒中，注意区分扩散面和非扩散面，扩散面一定要朝片盒的大面放置。4.6.2 按照四探针测试仪操作规程测量方块电阻，测量硅片中心点和四个角的方块电阻值，测量四角方块电阻时注意探针距硅片边缘的

4、距离要大于1cm，测完后关闭四探针主机电源，并且正确填写方块电阻记录表。4.6.3 方块电阻值要求在40±5范围内，不均匀度不超过10，如超出该范围，应立即通知工艺人员。不均匀度的定义为：计算五片硅片的方块电阻平均值，在这五个数值中取最大值和最小值，（R最大-R最小）/（R最大+R最小）×100%即为不均匀度。4.7 卸片、检验（见附页四）4.7.1 若方块电阻无异常，则将石英舟上扩散后的硅片装至黑色承载盒中，确保所有硅片扩散面向上。4.7.2 通过传递窗流入下道工序。4.8 工艺参数4.8.1 扩散工艺参数 在各炉管中，均定义为01号工艺。时间（分钟）温度（）大N2（L/

5、min）小N2（L/min）O2（L/min）源温（）进炉6840890253020稳定9840890253020通源203084089025301.62.01.82.220吹氮10840890253020出炉10840890253020注：因各炉管之间的差异，所以各工艺参数之间也存在差异，上表给出的是正常的工艺参数的 范围。更改标记数量更改单号签 名日 期签 名日 期第2页拟 制审 核共7页标准化批 准 旧底图总号 底 图 总 号日 期 签 名SF工艺说明产品名称单晶硅电池片编号SF5.405.010GGS产品图号SF5.405.010版号01工位名称 扩 散 工位编号KS需要人数第3张共7

6、张流向ZBKS4.8.2 TCA清洗工艺 在各炉管中，均定义为02号工艺。时间（分钟）温度（）大N2（L/min）小N2（L/min）O2（L/min）源温（）通氧510502510.020通源4801050251.010.020吹氧1010502510.0204.9 注意事项4.9.1 各个炉管工艺参数操作者不得随意改动。4.9.2本工序必须穿戴连体洁净工作服、洁净工作鞋、洁净工作帽、乳胶手套及口罩。4.9.3 必须正确填写电池线生产日报&交接表。5.引用文件 扩散设备操作规程：SFQD-设备-02 炉管清洗工艺操作规程：SFQD-工艺-03 扩散检验工艺规程：SFQD-工艺-13

7、四探针测试仪操作规程：SFQD-设备-12更改标记数量更改单号签 名日 期签 名日 期第3页拟 制审 核共7页标准化批 准旧底图总号底 图 总 号日 期 签 名SF工艺说明产品名称单晶硅电池片编号SF5.405.010GGS产品图号SF5.405.010版号01工位名称扩散 工位编号KS需要人数第4张共7张流向ZBKS附页一：装片、检验更改标记数量更改单号签 名日 期签 名日 期第4页拟 制审 核共7页标准化批 准插 片插片时必须穿好洁净工作服。净化工作台严禁裸手操作，一定要戴好乳胶手套，且不得用手直接接触硅片和石英舟。石英吸笔，从片盒中吸取硅片插到石英舟内。片 盒石英舟，每个槽插两片硅片旧底

8、图总号底 图 总 号日 期 签 名SF工艺说明产品名称单晶硅电池片编号SF5.405.010GGS产品图号SF5.405.010版号01工位名称扩散 工位编号KS需要人数第5张共7张流向ZBKS附页二：上桨更改标记数量更改单号签 名日 期签 名日 期第5页拟 制审 核共7页标准化批 准上 桨移动、放置石英舟时，一定要小心轻放！触摸屏碳化硅桨，易碎安装、拆卸时切勿碰撞！距离13cm匀流板 旧底图总号 底 图 总 号日 期 签 名SF工艺说明产品名称单晶硅电池片编号SF5.405.010GGS产品图号SF5.405.010版号01工位名称扩散 工位编号KS需要人数第6张共7张流向ZBKS附页三：方块电阻测量 更改标记数量更改单号签 名日 期签 名日 期第6页拟 制审 核共7页标准化批 准四探针测试台测 量四探针主机扩散面朝上如实填写方块电阻记录表，如有异常情况，及时通知工艺人员。 旧底图总号 底 图 总 号日 期 签 名SF工艺说明产品名称单晶硅电池片编号SF5.405.010GGS产品图号SF5.405.010版号01工位名称扩散 工位编号KS需要人数第7张共7张流向ZBKS附页四：卸片、检验5引用文件 扩散设备操作规程：SF/QD-设备-