大中华总代理商

1、 大中华总代理商 利音股份有限公司 台北县中和市中山路二段327巷11弄13号2楼 电话 : 886-2-22402166 传真 : 886-2-22406777 网址: .tw产 品 名 称ITO 卷筒薄膜溅镀系统产 品 型 号RaON1300制 造 供 应 商VTS Corporation项 目规 格 整套系统结构 应 用这套系统设计作为SiO2/ITO单面溅镀软性塑料材料, 特别是PET这类塑料基材. 整套系统结构 1. 主要制程系统2. 再卷线 (Re-winding) / 展开卷线(Un-winding)系统 3. 真空帮浦系统4. 预热单元5. 预处理单元6. 溅镀系统7. 电子控

2、制系统8. 效用项 目规 格 系统结构1. 系统空间2. 基础薄膜规格3. 卷线(winding)系统4. 真空帮浦系统5. 预热单元6. 预处理单元 (离子束单元)7. 溅镀系统8. 电子控制系统9. 系统效用与销售条件10. 真空测试11. 镀膜 1. 系统空间 尺 寸4.37(宽) x 7.05(长) x 2.60(高)公尺2. 基本薄膜规格 规 格¨ 产品 : 应用于触控式面板¨ 薄膜材料 : 光学硬化处理 PET 薄膜¨ 薄膜厚度 : 25 200um¨ 薄膜宽度 : 1,340mm¨ 镀膜宽度 : 1,300mm¨ 有效镀

3、膜宽度 : 1,250mm¨ 薄膜长度 (薄膜卷线直径) : 1,000M (Ø600mm)188um¨ 结构 : PET / SiO2 /ITO3. 卷线系统 组 成¨ 薄膜速度范围 : 0.5 10m/min (step 0.1m/min)¨ 薄膜速度稳定性 : + 0.1% (at 10m/min)之内¨ 薄膜张力范围 : 24 180N Load cell¨ 薄膜张力稳定性 : + 5N (在静止状况)之内¨ 工作速度 : > 3m/min¨ 薄膜速度方向 : 正常 / 反转卷线 (3m/m

4、in)¨ 冷却系统温度 : 温度 10 室温² 冷却时间 : 15 min. Room Temp. 10² 加热时间 : 15 min. 10 Room Temp.¨ 驱动马达 : 伺服马达系统 (UW, MR, RW)¨ 滑行, 凹陷, 皱纹, 刮伤 : 无¨ 薄膜移动 : + 0.5mm项 目规 格4. 真空帮浦系统4.1 主要帮浦系统² Cryo pump, 2,400 liter/sec : 8 ea² 机械 booster pump, 30,000 liter/min : 2 ea² Rotar

5、y pump, 4,000 liter/min : 7ea² Poly cold 100,000 liter/sec (展开卷线区, 阴极区) : 1 ea4.2 真空测量计单元² Pirani gauge : 8 ea² Baratron vacuum gauge : 4 ea² Full range gauge : 6 ea4.3 气体供应单元² MFC for 预处理 : Ar gas/range 1,000sccm : 1 ea O2 gas/range 200sccm : 1 ea² MFC for ITO 溅镀 : Ar

6、gas / range 1,000sccm : 8 ea O2 gas/range 200sccm : 8 ea² MFC for SiO2 溅镀 : Ar gas / range 1,000sccm : 3 ea O2 gas/range 200sccm : 3 ea O2 gas/range 50sccm : 3 ea5. 预热单元 组 成¨ 卤素灯 : Approx. 12mm x 1,450mm (L) . 1 sets¨ PID control unit : PLC control (temp. control) 1 sets¨ SCR uni

7、t : 1 Phase, 110 Vac, Approx, 15KW¨ 温度范围 : 最大. 2006. 预处理单元6.1 操作规格² 离子源型态 : 正极层离子加速器I 1 ea² 离子能源 : 400 2,500eV² 正极电压 : 0.7 5KV² 放出电流 : 4.2mA/sm slit² 离子电流 : 1.1 1.3A² 工作压力 : 5 x 10¯4 torr² 代表气流 : Ar :1,000sccm / O2:200sccm 1 ea6.2 水冷却² 最小水流 : 5 liter

8、/min² 最大进水温度 : Min. 15² 最大水阻 : 50 k-cm项 目规 格7. 溅镀系统7.1 操作规格 7.1.1 电源 ITO : Pulse DC 12KW 4 sets SiO2 : MF 40KW 1 set 7.1.2 靶材 ITO : In203/SnO2 (90/10wt%) SiO2 : Si target 7.1.3 电力密度 ITO : 15 W/c SiO2 : 17 W/c 7.1.4 靶材尺寸 : Approx.125mm(W) X 1,650mm(L) X 6mm (t) 7.1.5 靶材利用率 : 2530% both of S

9、i and ITO 7.1.6 阴极数量 ITO : 单磁阴极 4 sets SiO2 : 双磁阴极 1 set 7.1.7 工作压力 : 2 x 10¯3 torr 7.1.8 代表气流 ITO : Ar :1,000sccm / O2:100sccm SiO2 : Ar :1,000sccm / O2:100 + 50sccm7.2 所有操作模式² 绝缘 : > 500V 真空 (Anode Cathode-Ground)² 最大进水压力 : 3Kgf/c² 最大进水温度 : Min. 15² 水阻 : 50k-cm8. 电子控制系统

10、8.1 接口方法² 机器 PLC : Digital I/O, Analog I/O, RS232C,RS485² PLC GUI (Touch screen) : Mitsubishi controller² PLC PC : Ethernet ² PLC Remote PC : Ethernet (Option)8.2 电子控制的优点² 人工操作 / 半自动 / 全自动预转² 安全连锁² 独立计算机程序处理² 处理过程实时监控² 数据处理反馈与曲线图绘制功能² 预防操作失误² 容易

11、的电子线路联机² 卷线控制模式 (4 款模式 :Un/W and Re/W)² 薄膜张力个别控制 (Un/W and Re/W)8.3 量测单元² 原地电组测试单元 (Guide roll contact type)² 实时监控与测试数据绘制图形项 目规 格9. 系统效用与销 售条件9.1 效用 ² 主要动力 : 380V or 220V, 3 phase, 60Hz or 50Hz² 动力消耗 : approx. 400KW² 空气 : 3 4.5Kg/c, 100 liter/min² 水 : 3Kg/ c,

12、大于 400 liter/min, min.159.2 交货 : 订单签约后 5个月 (装船)9.3 保证² 档案配置后提供 12 个月保证² 在12个月结束候后可以提供维护保养合约 10. 真空测试10.1 最后压力测试² 系统的干燥、清洁、清空² < 5.0 x 10¯6 torr 在溅镀区，帮埔运转 12小时10.2 帮埔速度² 系统承载一卷PET film尺寸 : 1,300mmW x 1,000mL x 188umT)² 溅镀压力 < 5.0x10¯5 torr in less than 60min.10.3 渗透测试 : 小于 5.0x10¯8 torr liter/sec (氦渗透侦测)11. 镀膜测试11.1 ITO 材料 溅镀 PET, 188um厚度, 溅镀宽度 1,250mm, 溅镀厚度致性在 +5%; 单面磁阴极溅镀, 溅镀速度 3m/min 在最小 250A, 表面阻抗近似 400/cm²穿透度相对于未溅镀前约 -4%.11.2 SiO2 材料 溅镀 PET, 188um厚度, 溅镀宽度 1,250mm, 溅