方正微电子环氧工程施工方案

1、深圳方正微电子有限公司6英寸、0.35微米锗硅集成电路芯片生产线项目土建工程施 工 方 案 编制单位：深圳市莲花住宅配套工程有限公司 编 制： 审 核： 编制日期： 2005年09月13日 深圳方正微电子有限公司6英寸、0.35微米锗硅集成电路芯片生产线项目土建工程施 工 方 案编号：LH-FA-0913第一章 工程概况1、工程名称：深圳方正微电子有限公司6英寸、0.35微米锗硅集成电路芯片生产线项目土建工程 2、工程地点：深圳市宝龙工业区 3、建设单位：深圳方正微电子有限公司4、设计单位：深圳市莲花住宅配套工程有限公司第二章 施工部署一、施工准备：本工程设立项目经理部，对工程施工全过程进行全

2、方位的管理和控制。设项目经理一名，负责施工生产安排、施工技术、施工质量、施工安全和工程资料等方面的管理工作，确保工程在有组织、有计划的基础上，顺利完工。二、技术准备：1、技术负责人在施工前应熟悉图纸、了解设计内容，组织技术交底工作，施工前应进行材料的抽测送检工作。2、组织学习有关验收规范及质量验收标准。3、编制材料、成品、半成品的进场计划单。4、与施工班组签定工作责任制，以确保工程质量及工期，做到安全、文明施工。三、物质条件的准备：1、 施工机具该工程面积较大，施工所需主要设置已落实好，能满足施工的需要。2、材料供应该工程主要材料环氧树脂自流平必须提供有效的出厂合格证，否则，甲方有权拒绝使用，

3、并及早作好材料进场的准备工作，以便进行材料抽检工作。四、劳动力组织：共组织3个施工班组，共52人，视现场具体工作面提供情况依次投入。以上劳动力安排尚可视现场实际需要作适当调整、补充，以满足施工的实际需要为准。五、现场准备：1、按总包或甲方指定接驳点接好施工用电、用水。2、按总包单位或甲方指定的材料堆放地点，将材料堆放处清理干净，以便材料堆放。3、按照施工机具需用量计划，组织施工机具进场，并进行保养和调试等工作，对所有施工机具都必须在开工之前，进行检查和调试运转。4、按照施工组织设计的安排，落实雨季施工的临时设施和技术措施。六、施工原则：1、以施工总工期为控制目标，以阶段控制计划为依据的原则，统

4、筹安排各分项工程的施工，确保工期的实现。2、充分调动施工人员的积极性，合理组织，精心施工。第三章 总包单位施工配合事宜1、总包单位负责统筹安排、管理施工配合协调事宜。2、负责提供现有施工用水、电等施工条件。3、提供材料、设备、工具堆放场地。4、提供施工图纸及相应的设计修改文件。5、协助分包单位作好材料送检工作。6、环氧地面施工应为整个工程最后一道工序，避免交叉施工。7、及时为分包单位办理各类工程签证。8、组织对工程的竣工验收，为乙方办理竣工结算。第四章 基面要求1、基层表面必须密实，无疏松、起砂、脱层现象，强度最终达到C20以上，表面承受压力达60Mpa以上。2、 基层表面平整度达到2米直尺检

5、验不大于3mm。3、 根据现场基面情况，结合我司多年施工经验，我司对基面修补方法为：所有对拉螺杆洞处理由土建单位，首先用聚合物砂浆封堵，再用环氧砂浆填平。对柱、墙面、凹坑部位，用打磨机除去浮浆，用环氧树脂配成腻子胶泥封堵，达到环氧防腐施工要求，再用手磨机打平拉毛。4、 环氧地面对防潮的要求，原设计已经在600mm厚大底板以下增加了一层防水防潮层。可以达到环氧地面的防潮要求。5、 所有穿过防腐层的管、线、槽应预先置好，不得在施工好的防腐层打凿施工。6、足够照明、夜间施工有良好的光线。第五章 施工方案第一节 环氧自流平地面施工一、施工流程：基面修补、打磨、吸尘处理环氧树脂底层施工打磨、吸尘处理环氧

6、树脂中涂施工（二遍）打磨、吸尘处理环氧树脂面涂施工结束养护。二、施工要点1、基面打磨、吸尘处理：对基面进行整体打磨、吸尘。一定要把基面上的浮尘等脏物去除干净，并彻底做好吸尘工作，以便环氧树脂层与基面完全结合。对较大的凹坑用环氧树脂砂浆填平。2、基层要求：环氧自流平地面施工作业面含水率9%，首层地面应做防潮处理（铺设防水层）。基层要求平整、坚实，无起皮、油污等现象。3、环氧树脂底涂施工：底层处理的好坏直接影响无机水泥基础同环氧树脂层的粘合性能，底涂的做法是环氧树脂中加入大量的有机稀释剂降低粘度，并适当延长固化时间，以便环氧树脂能充分渗入水泥基础较深层，形成一层强度很高的复合结构层。基面打磨、吸尘

7、完毕后，用滚刷将调配好的环氧底涂材料均匀滚刷1-2遍于干净的基面上。环氧底涂材料施工用刮刀或滚筒进行施工。环氧底涂材料用量为：0.2kg/m2。4、环氧树脂中涂施工（二遍）：环氧底涂施工完毕且完全固化后，用手砂轮机将其表面稍稍打毛，并吸尘清理干净。然后用调配好的中涂树脂材料调配1-3倍石英粉，用平刮刀抹刮，带齿滚筒消泡。环氧中涂材料施工用刮刀和消泡滚筒进行施工。第一遍环氧中涂施工完毕后，待其完全干固后，进行第二遍环氧中涂施工，施工方法同第一遍。环氧中涂材料用量为：1.8kg/m2，施工厚度为：1.5mm。5、环氧面涂施工：中涂施工完毕且完全固化后，稍稍打毛其表面并吸净灰尘。之后即可将调配好的环

8、氧面涂材料用专用镘刀刮抹，带齿辊筒消泡。要求平整、光洁、颜色匀均一致，不允许存在空鼓、分层现象，尤其是在门口和墙角处进行环氧施工时，一定要注意涂布均匀，不能有堆积现象。环氧面涂材料用量为：1.0kg/m2，施工厚度为：0.8mm。6、工程施工前，划定4平方米左右的配料区，先铺垫一层纸片，再在上面铺一层塑料薄膜，避免配料时污染周围基面。施工完毕后，应及时将配料区清理干净。7、工程完工后，要及时对现场进行清理，将施工所用的胶带、报纸、压条及其他废弃物处理干净，保证施工现场干净、整洁，做到工完场清。8、待环氧工程全部完成后，需对已完成的工程进行57天养护，养护期内，不允许交叉作业施工。第二节 质量管

9、理计划环氧树脂自流平洁净地面施工过程的流程图如下，每一道工序施工前应对上一道工序进行中间验收。开始对基层表面进行验收验收 通过基面打磨、吸尘处理确定作业面积、计算材料用量环氧底涂施工检验底涂层覆盖率 可否通过？ 通过环氧中涂施工环氧面涂施工 验收 通过结束第三节 环氧树脂防腐地面施工 1、施工工艺流程：基层打磨处理、吸尘防腐底涂施工铺设玻纤布打磨、吸尘防腐中涂施工铺设玻纤布打磨、吸尘防腐面涂施工 2、防腐环氧施工说明： 1）、底涂：用底油滚刷1-2遍。2）、铺设玻纤布。3）、中涂：将第一道防腐层不平处打磨并吸净粉尘，滚刷防腐中涂材料。4）、铺设玻纤布。5）、面涂：将第二道防腐层不平处打磨并吸净

10、粉尘。用镘刀铺设防腐面涂材料。要求平整、光洁、颜色均匀一致。 3、施工要点： 1）、整体打磨处理：使用专用打磨机对整体面层表面进行打磨，使之适合底涂施工之需求。打磨程度要求一致，粉尘应清除干净。 2）、底涂施工：将防腐底油均匀而薄地涂刷在基层上。3）、铺玻纤布。待底油完全固化后，用打磨机对其表面进行打毛处理，打磨要求动作轻，程度一致。4）、中涂施工：用防腐中涂材料配以专用高强粉料，调制成腻子，平刮刀抹刮。要求批挡均匀，表面平整。5）、铺玻纤布。防腐中涂施工完毕后，铺设玻纤布一道，待实干后，用角磨机对其表面进行打毛，要求动作轻，打毛程度一致，打完后吸尽粉尘。6）、面涂施工：用防腐面涂材料，用滚筒

11、均匀滚涂。要求平整、光洁、颜色均匀一致，不允许存在空鼓、分层现象。7）、工程施工前，划定4平方米左右的配料区，先铺垫一层纸片，再在上面铺一层塑料薄膜，避免配料时污染周围基面。施工完毕后，应及时将配料区清理干净。8）、工程完工后，要及时对现场进行清理，将施工所用的胶带、报纸、压条及其他废弃物处理干净，保证施工现场干净、整洁，做到工完场清。第四节 防静电环氧自流平地面施工一、施工工艺流程：基面处理环氧导电底涂按设计铺设铜箔网环氧导电中涂环氧树脂面涂施工二、施工要点：1、基层处理：基层要求：基面必须具有足够强度，基面应平整、清洁、干燥（湿度应<6%），且无松动脆弱颗粒。平整度用2mm靠尺检查，

12、误差3mm。对于不坚实的层面和油污必须用机械方法清除，如打磨及吸尘。一定要把基面上的油污及浮尘等脏物去除干净，并彻底做好吸尘工作。以便防静电环氧自流平环氧地面与基面完全结合。2、导电底涂施工：用防静电环氧自流平导电涂料配导电细骨粒作底涂施工，要求抹平、抹光。底层处理的好坏直接影响无机水泥基础同环氧树脂层的粘合性能，底涂的做法是导电底涂中加入有机稀释剂降低粘度，并适当延长固化时间，以便环氧树脂能充分渗入水泥基础较深层，形成一层强度很高的复合结构层。基面打磨、吸尘完毕后，用滚刷将调配好的环氧导电底涂材料均匀滚刷1-2遍于干净的基面上。3、铺设电极：将铜电极固定在已打底、找平且清理干净的地板边缘，间

13、距不超过1m，并做接地处理。4、环氧中涂施工：用防静电环氧自流平环氧导电涂料配石英砂骨粒作中涂施工，要求抹平、抹光。5、面涂施工：中涂施工完毕且完全固化后，稍稍打毛其表面并吸净灰尘。之后即可用滚镘刀环氧防静电自流平面涂材料。要求平整、光洁、颜色均匀一致，不允许存在空鼓、分层现象。6、施工中一定要避免因手工作业引发的弊病，如气泡等，环氧涂布要均匀，不能有堆积现象。7、工程施工前，划定4平方米左右的配料区，先铺垫一层纸片，再在上面铺一层塑料薄膜，避免配料时污染周围基面。施工完毕后，应及时将配料区清理干净。8、工程完工后，要及时对现场进行清理，将施工所用的胶带、报纸、压条及其他废弃物处理干净，保证施

14、工现场干净、整洁，做到工完场清。 第五节 （轴柱、墙体、顶棚）环氧树脂薄涂地面施工一、 基面处理：1、 施工工艺流程基面整体打磨、吸尘整体大面基层处理2、 施工工艺要点：A、基面打磨、吸尘处理：对基面进行整体打磨、吸尘。一定要把基面上的油污及浮尘等脏物去除干净，并彻底做好吸尘工作，以便环氧树脂层与基面完全结合。B、整体大面基层处理：底层处理的好坏直接影响无机水泥基础同环氧树脂层的粘合性能，底涂的做法是环氧树脂中加入有机稀释剂降低粘度，并适当延长固化时间，以便环氧树脂能充分渗入水泥基础较深层，形成一层强度很高的复合结构层。基面打磨、吸尘完毕后，用滚刷将调配好的环氧底涂材料均匀滚刷于干净的基面上。

15、环氧底涂材料用刮刀或滚筒进行施工。待环氧底涂施工完全固化后，用环氧树脂中涂调配13倍石英粉平乔刀时整体基面抹刮。二、（轴柱、墙体、顶棚）环氧薄涂施工1、施工工艺流程：打磨、吸尘环氧树脂中涂施工环氧面涂施工环氧面涂罩光处理施工结束。2、施工工艺要点：A、环氧中涂施工：环氧底涂施工完毕且完全固化后，用手砂轮机将其表面稍稍打毛，并吸尘清理干净。然后用调配好的中涂树脂材料调配1-3倍石英粉，用平刮刀抹括，带齿滚筒消泡。环氧中涂材料施工用刮刀和消泡滚筒进行施工。B、环氧面涂施工：中涂施工完毕且完全固化后，稍稍打毛其表面并吸净灰尘。之后即可用滚筒滚环氧面涂材料。要求平整、光洁、颜色匀均一致，不允许存在空鼓

16、、分层现象。环氧面涂材料施工用滚筒进行施工。C、面涂罩光处理：在已完全固化的面涂表面进行环氧树脂罩光漆处理，滚涂环氧树脂罩光漆1遍。施工工具利用滚筒滚涂。D、施工中一定要避免因手工作业引发的弊病如气泡等。E、工程施工前，划定4平方米左右的配料区，先铺垫一层纸片，再在上面铺一层塑料薄膜，避免配料时污染周围基面。施工完毕后，应及时将配料区清理干净。F、工程完工后，要及时对现场进行清理，将施工所用的胶带、报纸、压条及其他废弃物处理干净，保证施工现场干净、整洁，做到工完场清。第六节 面层接头施工E、工程施工前，划定4平方米左右的配料区，先铺垫一层纸片，再在上面铺一层塑料薄膜，避免配料时污染周围基面。施

17、工完毕后，应及时将配料区清理干净。第七节 基层含水率的控制措施E、工程施工前，划定4平方米左右的配料区，先铺垫一层纸片，再在上面铺一层塑料薄膜，避免配料时污染周围基面。施工完毕后，应及时将配料区清理干净。第六章 施工资源计划第一节 材料资源一、环氧树脂自流平涂料 由深圳市莲花住宅配套工程有限公司提供的环氧树脂自流平地板是采用100%无溶剂型环氧树脂涂布于地板，使之成为光滑表面，特别适用于有高清洁度、高耐磨需求场所地板。该材料具有无溶剂、无污染；平面光亮；耐磨、耐腐蚀性能佳等特性。1、产品特性：A、无溶剂、无染污、无毒； B、平整光亮、镜面效果；C、耐磨性忧、耐腐蚀性佳； D、施工快捷、方便。2

18、、技术指标：A、抗压强度：80Mpa B、附着强度：1级C、耐磨性0.02 500g/1000r.g D、耐冲击性：1.8J/cm2 3、适用范围：A、生物工程车间、实行GMP标准的制药行业；B、无尘净化室、食品厂；C、精密机械、电器厂、电子厂、微电子车间等。二、环氧树脂防腐地面材料 由深圳市莲花住宅配套工程有限公司提供的玻璃钢防腐材料，材料特性如下：1、产品特性：A、耐腐蚀、耐冲击、重负荷；B、耐化学性能优良，抗拉伸度好；C、防龟裂、防潮、防漏水。 2、技术指标：项 目单 位指 标抗弯强度Mpa200抗压强度Mpa130耐冲击性J/cm21.8耐磨性500g/1000r.g0.02吸水率%0

19、.3收缩率%0.320%NaOH30天无变化20%H2SO430天无变化20%NaCL30天无变化二甲苯、甲苯、酒精30天无变化10%氨水10天无变化3、适用范围：电镀、印染、制药、食品厂、机械石油化工等需防腐地面及耐酸、耐碱、耐油等墙壁、槽、罐等防腐工程。三、环氧防静电自流平 由深圳市莲花住宅配套工程有限公司提供的环氧自流平防静电材料，材料特性如下：1、产品特性：A、能快速泄漏电荷B、具有环氧自流平地板所有特性C、防静电效力持久D、适用于电子、微电子、通讯、油料仓库、精密仪器、航空等一切需要抗静电室内、整体地面。2、技术指标：项 目单 位指 标抗压强度MPa75耐冲击性J/CM21.8耐 磨

20、 性750g/500r.g0.03收 缩 率%0.18表面电阻105-108 3、适用范围： A、电子、微电子厂；B、通迅、油料仓库；C、精密仪器、航天等需要抗静电室内整体地面。四、环氧树脂薄涂地面材料 1、产品特性：A、本产品无缝防尘，易清洁。B、微耐酸、碱，防霉性佳。C、色彩任选，美观亮丽。D、施工快捷，成本经济。2、适用范围：本产品适用于耐磨、耐一定冲击性的电子、电器、机械厂、地下停车场、仓库、物流中心等。3、主要技术指标：项 目单 位指 标抗压强度Mpa55附着强度级Grade1耐磨性750g/500r.g0.02耐冲击性J/cm21.8 第二节 人力资源配备情况一、施工组织架构环氧队

21、伍项目部经理技术副经理生产副经理安全及后勤保障副经理打 磨清 理 组施 工前 准备 组环 氧树 脂施 工组技术组质量监督 组安 全巡 视员材 料供 应组后 勤保 障组深圳中铁二局工程有限公司第四项目经理部 二、劳动力的数量、来源：1、劳动力的数量为52人，分成三个班组，每班组15人，其中管理人员7人。2、劳动力的来源为本司专业施工班组。三、投入中小型机械设备情况：名 称数 量用 途电动打磨机5台环氧施工打磨抛丸清理机2台水泥地面打磨、清理地面铣刨机2台凹凸部平整处理手持式磨削机8台局部地面却除毛刺水磨机2台打磨吸尘器2 台吸取基层灰尘弧光灯6个施工照明滚 筒80个面层施工镘 刀35把手工抹光电

22、动搅拌器3把搅拌涂料2米长检尺2把检查平整度专用带齿滚筒2把用于消泡第七章 确保工程质量技术组织措施 一、施工过程质量控制1、建立健全的质量保证措施，组建项目经理部，全面负责现场施工技术指导和监督管理工作。2、根据规范、施工图纸及编制的施工方案，以及公司内部编制的技术交底，严格标准进行施工，确保工程质量。 3、环氧地面要求：整体面层不得有空鼓、起粉现象；面层颜色均匀一致，表面必须平整光滑。 4、成品保护 操作人员和其它人员均应严格保护已做好的地面，在未达到强度的710天内严禁有硬、尖利物件，重物通行、施工，以防止划伤表面。 二、修补方法 1、轻微损坏修补 使用材料：环氧自流平材料。 施工方法：

23、 A、在损坏四周贴上美纹纸，以使修补区域整齐美观。 B、将配制好的环氧树脂面涂材料涂刷于破损区域。 C、待环氧干固后，撕去四周美纹纸即可。 2、较重损坏修补 施工方法： A、在损坏四周贴上美纹纸，以使修补区域整齐美观。 B、将破损区域环氧全部铲除至基面，并对基面进行打磨、吸尘处理。B、将配制好的环氧树脂材料按施工工序分步涂刷于破损区域。 C、待环氧干固后，撕去四周美纹纸即可。第八章 确保工期的技术组织措施一、施工进度计划设计原则： 1、满足施工方案的工期要求，以甲方和总包单位的施工进度计划执行。 2、以工期为先决条件，对成本、资源等进行合理优化，降低工程成本。 3、根据现场条件和以往施工经验，

24、积极与总包单位协调施工各项事宜。二、工期进度控制方法：以质量、安全为根本，施工进度为核心。首先，以总进度计划为依据，按总包单位地面工程施工进度将地面总施工进度分解为多个时间段，再按各时间段分解为不同的进度分项目标，建立起一个以分解进度目标为手段、以进度控制为目的的进度控制目标体系。三、确保工期的技术组织措施：1、组织管理措施A、建立进度实施和控制的组织系统。订立进度控制工作制度，如检查时间、方法、召开协调会议的时间、参加人员等；按施工项目的组成、进展阶段、合作分工等将总进度计划分解，确定其进度目标，建立进度控制目标体系。B、搞好劳动组织，优化劳动组合，劳动力调配以施工进度为中心，保证工程施工有

25、足够劳动力，凡进入施工现场的劳动力必须全部通过公司的统一培训，选调有施工经验、能吃苦耐劳、善打硬仗的人员进场施工，为工程施工提供可靠的劳动力保证。C、在材料供应方面，按照施工进度计划要求及时进货，做到既满足施工要求，又无太多现场积压。D、在施工中以工期为目标，施工过程中实行全面计划管理和目标管理，使施工组织科学化、合理化、确保计划按期完成。E、强化施工进度计划管理，每天召开施工班组工作会，检查落实计划实施情况，发现问题及时调整，并采取切实可行的措施，确保进度计划的实现。2、技术管理措施A、采有先进施工机具以提高工效，加快工程进度，保证施工科学、有序进行。B、采取切实有效的雨季施工措施，最大限度地减少雨季对