850nm窄带低通滤光片性能指标管控

1、客户成品指标850 nin窄带低通滤光片性能指标管控类型指标材料浮法玻璃+黑玻璃中心波段848-852nm波峰透过率50-60%半波峰带宽段840-860 nm截至深度320-820 nm 在 0%-1%880-1000 mn 在 0%-1%直径 8-o.i mm厚度4.0 土 0.1mm光学面粗糙度ra的最大值允许值为3.2um表面不得 有划痕盐雾测试在浓度为4.9-5.1%, ph值为6572 (35°c)的盐雾中，承受连续喷雾8小时，膜层应无脱落， 光学性能仍符合要求。外观膜层不允许有损坏痕迹和破边现象。(196)280 upssllusuejl参考波形激埃特光电zk850窄带

2、内部管控指标1）原材料：hwb830黑玻璃,直径8.0mm公差要求-0.1mm,厚度：3.5mm公差要求+/-0.1mm表面质量：双面抛光，抛光面光洁度达到6040以上最好是4020标准，无肉眼可视砂眼，划 伤，印渍，侧面无抛光印渍，崩边小于0.1mm,倒边小于0.2mm光谱质量：300nm-800nm t<0.1%, 850nm t>70%, 880nmll00nm t>85%,重点是中心波长管 控t=50%处要求在827nm836mn之间。2）浮法玻璃：055mm玻璃公差在+/-0.05mm之间 3） s1面850窄带镀膜管控标准：镀膜后冷却1小时测量，中心波长在839n

3、m846nm之间，峰值透过大于80-90%之间，在80%以上的透过必须有5nm以上的空间（即5nm内的波长所对 应的透过率应大于80%以上，以确保波长稳定后的合格率），半带宽fwhm控制：若中心波 长在839nm半带宽可以放宽到22-25nm之间，若中心波长在846nm半带宽只能在19nm-21nm.截止区 700nm-820nm t<0.5%,880nm-11 oonm tv0.5%4）s2面分光膜面镀膜管控：只测试s1+s2双面情况下数值。若s1面镀得峰值透过率大于90%镀完分光膜后，透过率要比只镀一面分光膜的高。即单 面镀膜分光54%, s1+s2后由于不受背面4。2%的玻璃反射，

4、将会达到56%左右。遇这种情况, 要求高透过的窄带镀分光膜时透过要控制低点。比如53%（这个情况要求品保再做实验以确认实 际情况）相反的若窄带透过率只有70%左右，同样镀54%的分光膜后，将会下降个1 %3%5）品保管控：胶合前在投大片材料时，要把s1+s2双面已镀的窄带产品控制在50%54%之间, 需要考虑到分光膜面跟黑玻璃胶合后会有将5%个点的上浮。同时中心波长也会有卜3nm左右的向长波方向移动现象。若把850多层膜面跟黑玻璃胶合透过率会下降5-15%个百分点，且不稳定。务必不能把s1 面和s2面相反胶合，否则后果很难确认。品保对双面镀膜后的中心波长管控:中心波长:845nm847nm之间

5、的峰值透过率在50-55%且850nm透过率必须在50%以上。 半带宽在20nm25nm之间。中心波长:848nm852nm之间的峰值透过率在50-55%且850nm透过率必须在50%以上。 半带宽在19nm-21nm之间。中心波长:853nm-855nm之间的峰值透过率在50-55%且850nm透过率必须在50%以上。 半带宽在20nmo测试点一个大片至少要测试5个点，距边缘10mm处的且距离档边角20mm处测一个点,再转90度相同情况下测一次，转三次后再测度最中心区域点。若遇到第四圈特别注意，第四圈 靠最外边的边缘15mm内与其它的波长和透过率将变化非常大，要特别测试。并划分出来再投料。其

6、余圈，圈与圈之间一般会渐变偏长或波长偏短，透过率上也只是渐变化。也有可能遇到因 为镀膜操作人员放置玻璃时有斜面现象，造成某圈中的某片镜片变化非常大，要特别跟踪。6）成品光谱曲线管控:最高峰值透过率不得高于60% o850nm处透过率在50-59.5%之间。（这时可以不考滤中心波长位置）半带宽在18nm23nm之间，若透过率低半带宽可以宽，透过率高半带宽要窄点。截止区 350nm820nm t<0.5%, 8801100nm t<0.5%（在 looo-hoonm 处可放宽，因为我们检 测仪器有误差）2)3)5)6)7)8)9)10)我们采用的是hwb830黑玻璃，在850nm处大约

7、有73%左右透过，从800nm开始到880nm 之间黑玻璃的光谱是呈斜线上升。hwb830黑玻璃，通产讲t=50%位置是830nm但因为玻璃在炉内熔化时，不均匀可能部份 掺杂的吸收体不一样，会导致同一大块玻璃切割后有波长长的有波长短的现象。相同厚度下 有波长会在825nm,有的波长会在835mn等。hwb830这类型的有色玻璃，会因为玻璃厚度的变化,玻璃厚o.lmin波长就会偏长，薄0lmm 波长就会偏短，这些偏长偏短看起来都在830nm左右变化，但实际上这个参数会影响850nm 处的透过率，若直径8*3.5mm在850nm处透过率是73%,返工后抛光会抛薄了，抛后厚度是 直径8*3.26mm

8、厚，在850nm处的透过率就变成了 78%。关于hwb830黑玻璃在850nm处的透过率高低对我们镀了 850窄带加分光膜起到的影响力。 我们通过试验来证明。拿m型bp850未镀分光，中心透过在72%,左边低，右边高达87%双山峰形状，采用镀膜 直与黑玻璃胶合后，测试m型状未改变，但发现，左边原本透过低的偏得更低，左右透过高 的最后只有71%透过。测试黑玻璃在这位置的原本透过有74%o因此最高点相差3%,左边 相差高达20%o也就是我们说的没有规律可言，使镀膜无法正常生产。拿m型bp850未镀分光，中心透过72%的，左边低右边高达86%双山峰形状，采用未镀膜 与黑玻璃胶，测试m型状未改变，但发

9、现，左边853nmt75%降到t64% （相差11%）,右边 863nmt86%降到t76% （相差10%）。因此可得结果是玻璃面相胶合，峰值下降是有一定的 规律，当然，我们刚才选的中心波长是858nm,这时黑玻璃的透过率相对比较高，都有 72%-78%之间的透过，因此下降有规律性。采用镀膜分光膜和bp850的产品，拿bp850多层膜面与黑玻璃胶合，胶合前中心透过51%, 曲线呈抛物线状，胶合后，曲线也类同抛物线，但在右边已略微感觉到此产品曲线变成m型, 是左边高右边低现象。中心位置没有变化仍在849nm,透过率却只有41%,跟胶合前比较相 差10%左右。由于黑玻璃在850左边是斜下来的曲线，

10、因此胶合后再看bp850左边带变窄了。 也就是把胶合前的缺点再明显的暴光出来。采用镀了分光膜和bp850的产品，拿分光膜面与黑玻璃胶合，胶合前中心透过53%,胶合后 中心透过49%（前后相差4%左右），胶合前中心波长在844nm,胶合后中心波长在847nm （前 后相差3nm）,这个的偏差重点是因为黑玻璃在做怪，黑玻璃是斜线曲线，被压掉之后就产 生了这现象。黑玻璃的透过率越高中心位置的偏移就越不明显，胶合前的中心波长越靠近 850imi中心波长也相对偏移少。因此，我们不要太在意胶合前的中心波长。重点要知道哪些 参数影响我们胶合后的产品。釆用直径8*0.55mm测试，放置的角度总会有偏，因此波长

11、总感觉与黑玻璃胶合后会有偏短, 及胶合的发现波长偏长了 3-5个纳米。因为黑玻璃胶合后，相对垂直于台面，但一样也会左 右偏角，导致波长偏短现象。胶合前的中心波长若在843nm要确保当时850nm处透过有54%以上的透过，总结:12,3,针对nbp850窄带工艺难度性，内部生产过程中，将镀膜窄带时的带宽放宽到25mn, 最窄不能低于20nm,即按23nm做为控制点。镀s2面分光膜面,镀前一定要做实验，定片定坑定取放（要做实验陪镀的bp850放在 哪个圈哪个框，镀前要测试大片的五个点透过并记录，镀后再同时测试这五个点并记录。）镀膜后，待稳定后，品保投料应按如下分开产品。首先所有将投料产品确保850nm 处透过至少在54%以上，第二中心波长若在843-846