Channel5Fast数据采集简要流程

1、OXFORDChannel5数据采集简要流程(Fast)(注：本流程是Fast的基本操作过程，详细参数设置请参阅相关说明书)一.数据采集前的准备1 .插入HASP (狗)2 获得SE像(1) 将样品装夹后，放入SEM样品室，达到真空度(高真空或所设定的低真空范围)；(2) 设置SEM成像参数：HV = 20-30 kV、Spot: 6-7 (FEI Quanta 200)(Fast采集数据需要的信号一般比较强)、Tilt Correction: 70、WD = 13-26 mm等。(工作距离越小越好，但不能太小，防止样品台撞到探头， 样品及样品台的最高位置，不能超过 10mm位置线。样品尺寸不

2、要超过30mm)(3) 选择EBSD测试的样品扫描区域，使样品分析区域处于电子束光轴下方。(视野看到样品，保证样品位于电子束光轴之下，防止探头被撞。)4. EBSD探头进入(1) 打开 EBSD 控制器(Control Box )。(2) 解锁控制手柄：按下手柄上的 “ Stop键(3) 进入EBSD探头：长按控制手柄上的“IN键3sec, EBSD探头自动伸入样品室内；当探头进入到DD = 110 mm时，自动停止。继续长按3sec “IN键，使探头继续进入，直到在工程师校准数据文件规定的位置上自动停止，也可点击“In键，使EBSD探头以0.1mm的步进逐点进入。 注意1 ：工程师已设定的D

3、D= 166.6 mm。(康伟说已校正为167.6 mm) 注意2 ：应用EBSD原位拉伸台时，选 DD = 157.9 mm。注意3 :进入EBSD探头时，应打开SEM的CCD ,实施监测探头位置。5.进入“HkIFastAcquasition软件（快速标定：300个点）双击 “ HkFastAcquisition ”，进入 Pattern采集软件选择 “onlineicquisition ，选择 online acquisition 选项，点击 “OK。Simulation选项只用作脱机处理或演示。如下图所示：二.Pattern标定参数的设置1. 扣除背底（低倍快扫），进入EBSP模块：（

4、1）点击“ View EBSP live, unprocessed .采集背底。（2）选择采集Pattern的参数：“Binning：”常选择 2>2 或 4X4“Gain”常选择high （增益，是把噪音和信号同时增大，一般选4-5）Integration （相当于exposure 一般选4-5,太大影响速度）:先调节binning和gain到合适数值，然后被动选择“Integration, 一般不大于10，如果调到 10仍然背景不明显，需要调大SEM入射电子束流（Spot:增加到6或7）， 得到合适亮度的背底，即出现光晕，而不出现 Pattern“Background Frame”一

5、般选 32。“FramAverage”一般选择3。数值越大，扫描速度会明显的降低。“UsDynamic Stretch ”可选。运用动态扣背底，速度会有降低。-自动扣除背底采用低放大倍数（保证样品充满视野）和快速扫描模式。“ Houghesolution 一般选择 50-60,“ Band金属一般选择 4-6。 Backgro und correct ion 保持不变。（3）点击 “collectstatic background ”图标，完成背底扣除。 选择 Use dynamic stretch,即扣除动态背底（每个点的补偿值），如图所示：同4*11由rf* J*的*1!柯国 州 強 hr

6、* * 钿52. 校准数据进入“EBSP EBSP analysis settinload cal file模块，选择接近校正过的参数。 单价硅标样的校正参数保存在 C:CHANNEL5Calibrationload calibration中。可将其它样品的校正参数保存在 C:CHANNEL5Calibrationsave calibratio n中。丨SCi “ | Eand i- tor -3. 选择标定物相进入“ phase”块，进入“ phase add phase选择所要标定的物相 > select4. 采集电子图像（SE像或BSE像）（1）将SEM切换到合适的放大倍数，注意：

7、此时不应再改变样品台的位置。（2）在“SEM模块。（高倍慢扫）点击“start full vision中，采集一幅SE图像，做为EBSD点扫描或面扫描定位用。可采集两种图像，SE模式或者BSE模式。（3）点击“sem/stage parametersead ”电子图像的放大倍数和标尺将显示在图像中。（4） BSE像的调整（a）先调整好SE像。（b）主放大器“ BACKSCATTER的参数设置：打开“ BACKSCATTER后面板上的主放开关选择主放大器的“Mode为“RECOED选择主放大器的“Gain” “2或 “3”选择主放大器的亮度和对比度：Contrast（对比度）置中（一圈满量程）；

8、Brightness亮度中间偏小（10圈满量程）晶片的选择：晶片“ 1和 “2”晶体学取向衬度：WD可稍远，即离晶片较近 晶片“3和 “4”原子序数衬度（成份衬度）。晶片共有3个状态：牛”绿灯、关”和”红灯，一般采用” 使用晶片“ 1和 “2”，关闭“3和” 4；'反之亦然。也可采用单个晶片。（c）图像采集软件参数设置：“Image中 :选择 “Channel 1”“Ave”： Pixel选择“2”（数值小，扫描速度快）;Line选择“2”（数值小，扫描速度快）。观察到图像后，增加 Pixel和Line值，如Pixel: 8-12， Line： 4，记录图像。注意1：图像中出现条纹，表

9、明Pixel和Line匹配不好。5. 标定菊池带（1） 在“SEM模块中，选择 “toggle SEM spotnode，在“solution窗'口立即显示点模式 移动电子束条件下单个花样的标定结果” phase MAD，orientation）。（2）优化Pattern标定参数：在“solution模块中，点击 “refine select solution,使MAD值减小，得到优质 花样。在 EBSP setting”中，增加 Frame average”的 Frame数，可提高 Pattern质量, 但增加了花样采集时间。（3） 重复过程” 1）（ 2），使MAD值减小，直到MA

10、D减小到均小于（最好均小于0.5）， 得到优质花样及标定率。三.Map的自动采集设置：进入“ project块，进行面扫描1 .进入“project模块，点击 “define grid job 建立一个任务。2 .设置采集参数： position X, position Ystep size 等。注意：此时不得改变 “ Binning” “Gain和“ integration值。3.采集Map :点击 “ruqueued EBSD job ”。最小化“FAST窗口，可加快花样采集速度。同时在“result模块里可实时显示扫描的EBSP结果。11R * *a -fr i! -9OXFORDH K

11、 Lr » a H r- tri i A pi四.退出EBSD探头采集数据结束后务必先退出 EBSD探头。按“Stop键解锁手柄，继续长按3sec “OUT键，使探头退出五、其它:1.获得ODF数据：在桌面“ Project Manage中，打开“Subject Property选择宏观对称性:选择正交：得到0 -90的数据选择三斜：得到0 -180的数据2. 相机一样品距离（D D）的测试：Detector Dist的值X40,为D-D的距离（在？页面中）Channel5 数据采集常见问题（ FAQ）1. 打开“FlamencO” ,在加载硬件及连接时出现错误 “failedto

12、initialize Camera control? ”可能的原因：没有打开控制器 “ con trol box，或者没有检测到控制器连接。解决的方法：打开控制器电源，重新启动“Flame ncd'如果控制器已经打开，请先将探头缩回零位，关闭控制器电源，再重新依次打开控制器和软件。2. 样品已经出现在电镜视野里，“Binning和 “Gain选项设置也合适，但是增加“Timeper frame到很大（几百以上）也看不到背底的光晕？可能的原因：探头没有伸入到工作位置，工作距离太大或者电镜束流不够大。解决的方法：需要提高束斑尺寸，或者换用更大的光阑。3. 能够看到背底，但是看上去有些直边光

13、影，而不是圆形的光晕？可能的原因：电镜样品室内部的可见光源 CCD没有关闭，EBSD工作时必须关闭。 解决的方法：关闭CCD。4. 能够看到背底光晕，但是背底一直在闪烁或者总有全黑的背景周期出现？可能的原因：电镜放大倍数较低，样品没有充满整个视野。解决方法：增加放大倍数可以使背底稳定性明显改善。5. 束流条件合适，但是背底不明显，增大“ Time per frame值到很大（如100-1000）才 能看到一些竖条纹或含暗点的灰度图像？可能的原因：上次采集的背底没有消除，即“ I-Software image en ha nceme nt'选项在观察本底时还处于选中状态。解决的方法：单击

14、去掉勾选 “ kiSoftware image en ha nceme nt即可。OXFORD6 点模式采集花样，花样质量很清晰，但是在“ Detecbands”步骤时没有选中任何菊池带？可能的原因:查看“EBSFGeomerty”窗口中红色方框(field of view)和绿色圆圈(areaof in terest)位置，这时绿色圆圈可能已经缩小到边角。解决的方法：恢复默认条件下的红色方框和绿色圆圈最大化即可。7. 点模式采集花样，花样质量很清晰，“Detecbands”步骤也选中了合适的菊池带， 但在在“inde步骤中无法标定出结果，或者每个点标定偏差都很大(MAD值很高)？可能的原因:相结构不符，或者标定校准文件选择不对，尤其是工作距离 WD不符。 解决的方法：重新选择物相，或者重新选择校准文件。8. 提高Pa