W-FAC-COM-023_Rev000CV运行操作指导

1、document controldocument number:w-fac-com-023subject： cv operation instruction标题：cv运行操作指导fujisawa reference no:n/arevision 版本：000prepared by 起草人：tiancheng zhaodepartment 部门:facilitycontentdocument no.文件编号：w-fac-com-023subject: cv operati on in struct! on标题:cv运行操作指导department 部门：facilityrevision 版木：0

2、00 page no.页码：2/71.0目的32.0范围33.0职责34.0定义35.0程序36.0相关资料77.0记录71.0目的-规范运行、操作程序，确保日立设施管理的流畅;for dccthis document is invalid when printed or copiedprinted out date: 2/27/2014/10:07 amdocument no.文件编号：w-fac-com-023subject: cv operati on in struct! on 标题:cv运行操作指导department 部门:facilityrevision 版本:000page n

3、o.页码：3/72. 0范围日立龙岗工丿 2台 spencer clean vacuum(cv)；3.0职责-运行技术员：负责cv运行的监控，设备的开、停、切换；-运行班长：带领木班组技术员对口立龙岗工厂的设施运行进行监控，发现问题、解决问题, 并按照汇报程序及时向上级汇报；-工程师：负责运行操作程序的编写、史新、培训，对运行操作提供技术支持，发现问题、分析问题、解决问题，并按照汇报程序及时向上级汇报；4.0定义- fmcs： facility manage control system 设施管理控制系统; -cv: clean vacuum 清扫真空；5.0程序5. 1系统简介：-在a栋ma

4、u机房冇两台cv (clean vacuum),是专门负责洁净室的清扫真空，风口安装在地板上。其工作原理是利用离心力的作用使空气在随着叶轮高速旋转时，进入叶 轮的空气变在离心力的作川下被推向叶轮的外缘，这些高速流动的空气受到压缩，并 集中到蜗壳形机壳中，然后在经过断面逐渐扩大的蜗壳形机壳，速度逐渐降低，一部 分动能又转变成压力能，进一步提高空气的压力，最后由机売出口压出。叶轮叶片z 间的气体排出后，就在叶轮中心部分形成真空，这样就会不断冇气体从吸气口中补充 近來。为了获得更好的真空度，这种离心泵一般会是多级的(本机就是9级叶伦), 而ii叶轮的转速越高，叶轮直径越大，获得的极限真空就越高。5.

5、2启动前的检查：- 确认进口端球阀处于打开位置；- 确认分离器端阀门处于打开位置；- 确认旁通阀的进气口滤网清洁:- 确认压缩空气压力正常；- 合上电源开关，并确认电源电压止常for dcc5. 3启动(远程)：-将转换开关置于“远程”;this document is invalid when printed or copiedprinted out date: 2/2772014/10:07 amdocument no.文件编号：w-fac-com-023subject: cv operati on in struct! on 标题:cv运行操作指导department 部门:facili

6、tyrevision 版本:000page no.页码：4/7- 通知fmcs运行值班人员，设备准备就绪；- fmcs运行值班人员在t作站上弹岀cv主画面；- 在主画而上选择cv开启；- 观察控制血板上的马达运行频率,并观察真空压力表上的读数，正常运行时读数是 0.02mpa;5. 4启动（本地）：- 将转换开关置于“现场”；- 按控制箱面板绿色按钮；- 主机开始启动，观察控制面板上的马达运行频率，并观察真空压力表上的读数,- 止常运行时读数是0. 02mpa；5.5运行：- 机器运行中，运行技术员按照cv点检表要求，定期巡检、记录；5. 6停机（远程）:- 系统如果处于定时停机状态，将自动停

7、机；- 在fmcsi作站选择cv关闭;- 运行技术员现场确认cv关闭，变频器的频率将降低至0hz;5. 7停机（本地）：- 系统如果处于定时停机状态，将自动停机；- 手动停机可按面板上红色停机按钮；- 按钮按下后变频器的频率将降低至0iiz,系统停止；5. 8停机（紧急停机）- 现场拍下cv控制屏上的红色紧急停止按钮；- 进行cv的检查维修；5.9紧急停机后的恢复：- 顺时针方向转动紧急停止按钮，使按钮复位；- 操作cv控制器，复位；5. 10切换：-正常情况下，cv每周切换一次；先按开机程序开启另外的cv；再按停机程序关停需要切换的cv;for dcc5.11故障紧急处理：this docu

8、ment is invalid when printed or copiedprinted out date: 2/2772014/10:07 amdocument no.文件编号：w-fac-com-023subject: cv operati on in struct! on 标题:cv运行操作指导department 部门:facilityrevision 版本:000page no.页码：5/7- 故障现象：1. 系统停机；2. 真空泵停机；- 故障原因：1. 停电：系统电源跳闸；2. 真空泵故障；- 处理措施：1. 确认停电范围及原因；若是单机停电，按照操作程序起动备用的cv,保障生

9、产正常进行；打开进口端 球阀，打开分离器端阀门，确认旁通阀的进气口滤网清洁，确认圧缩空气压力 正常，确认电源电压正常，将转换开关置于“现场”，按控制箱面板绿色按 钮，主机开始启动，观察控制面板上的马达运行频率并观察真空压力表上的读 数，正常运行时读数是0. 02mpa；若是整个cv动力停电，确认恢复供电时间， 做好来电重新开机准备来电后再按单机停电方法处理；2. 系统电源跳闸，真空泵故障都属于单机故障，先按照单机停电方法处理，再确 认故障类型，自行维修处理或通知供应商；- 按照汇报程序及时向上级汇报；5. 12预防性维护：- 月度维护：1. 清扫集尘箱;2. 检查旁通阀是否正常工作；3. 检查

10、电流指示器是否正常工作；4. 检查电磁脉冲阀是否止常工作；- 季度维护：1.清扫配电箱；- 年度维护：1.更换空气滤芯；5. 13操作程序流程图：启动前检査for dccthis document is invalid when printed or copiedprinted out date: 2/27/2014/10:07 amdocument no.文件编号：w-fac-com-023subject: cv operati on in struct! on 标题:cv运行操作指导department 部门:facilityrevision 版本:000page no.页码：6/75.

11、14 ehs 要求：-设备维修、维护时和关人员注意穿戴好防护手套、安全帽、耳塞（或耳罩）等个人 防护用品（ppe）；-只有经过培训合格的人员才能操作设备，避免由于误操作造成能源浪费和设备故i心阿；for dcc6. 0相关资料this document is invalid when printed or copiedprinted out date: 2/27/2014/10:07 amdocument no.文件编号：w-fac-com-023subject: cv operati on in struct! on 标题:cv运行操作指导department 部门:facilityrevisi