真空设备的维护和维修

1、真空设备的维护和维修真空设备的维护和维修§1维护部分1.1、机械真空泵的维护和保养：(1) 泵及其四周环境应经常保持清洁。(2) 泵在运转过程中应保持油箱内油量不得低 于油标中心。(3) 不同种类和牌号的真空泵油不可混合使用。(4) 泵在使用中温升不能超过 70C。(5) 新泵在使用100 h左右应换12次油，待 换下的油内不再发现含黑色金属粉末后， 可加长 换油期限。根据说明书规定 和使用实际情况来确定换油期 限。(6) 新泵和修理后的泵应现作运转试验 46 h, 检查泵是否符合使用要求。(7) 泵使用较长时间以后(23年不等)，极 限真空度下降，应进行一次检修。同时也应对系 统、

2、管道、阀门和电动机等加以清洗、检修。(8) 泵在使用中，因系统损坏等特殊事故，或 进气口突然暴露大气时，应尽快停泵，并切断与 系统连接的真空管(关低真空阀或夹真空夹)，防止喷油，污染工作场地。(9) 泵上所有机件，非绝对必要，切勿自行拆 卸。(10) 泵不用时，应用橡皮塞(帽)把进气口塞 好，以免赃物和硬质东西落入泵内。(11) 经常注意真空技术发展动向，尽量及早地 引入新技术、新材料(如新泵油等)，以改进原 有系统的性能。以上数点，可按具体情况，订出相应操作规程， 严格施行。1.2、整套设备的日常维护：(1) 操作人员要熟悉各种仪表、泵，设备的各 部分。阅读并理解各种说明书。(2) 冷却水水

3、压应保持0.10.2 Mpa之间，出 水温度w 45C。(3) 压缩空气压力在 0.40.5 Mpa之间。(4) 每炉开机前，要检查保护气的气瓶容量，以免气体充不足，更换气瓶。(5) 开机后如有异常情况，应立即排除或停机 查找原因。(6) 经常检查各部分的回水量，工作时应保证 各部分有充足的冷却水。(7) 设备停止使用时，应将炉内气体抽空，长时间不用，要充入保护性气体，并把设备水冷套 内的循环水放掉。（8）机械泵、罗茨泵应定期换油加油，罗茨泵 的油杯中要保持一直有油。换油时一定要把废油 放干净。（9）扩散泵换油时，内部如有氧化，要把扩散 泵内部的氧化层处理干净，然后再换上新油。（10）充入的保

4、护性气体，纯度不应小于99.99%。（11）本设备不允许使用易燃易爆和具有腐蚀性 气体作为保护气氛。（12）设备表面及仪表表面要保持清洁， 擦拭炉 体内壁不允许有带有水份及沾有非真空类用油 的抹布擦拭。（13）气动系统的气动三连件上的油水分离器要 经常放水，油雾器内应注入真空扩散泵油。（14）设备的整机电压要保证在 350420 V范 围内。三相要平衡。（15）规管、电接点压力表、热偶等处要经常涂 上扩散泵油，使之与座之间形成一层油膜，防止 漏气。以上各部分及法兰连接处不允许长期使用真空封泥密封。（16）各部分的螺栓定期检查，如发现松动，及时拧紧。(17) 设备工作时，注意观察各仪表的显示情况

5、， 及各泵的声音，以便及时发现异常，找出问题。(18) 设备的使用环境，在相对湿度 85沁下， 温度在1040 C。在拆修设备时，各部分不许 用重锤敲击，密封面、密封槽不许划伤。(19) 设备在工作时，操作人员不得长时间离岗。 §2 维修部分2.1真空设备维修的要点：维修真空设备的要点是判断故障。往往是真 空抽不上去，原因可能有几个，一定要搞清楚是 什么原因，也许真空机组的抽气能力不够，也可 能是漏率偏高，又或者两种可能都有。这时，应 该耐心观察和记录，从中找出故障。比如，抽空 时间相同，而真空度偏低，这时候关闭主阀，如 真空计指针很快下降，多数情况是真空室漏了， 这时候应先查出漏点

6、。如真空计指针下降很慢， 多数情况是真空机组抽气能力不够，这时可将重 点放到查找真空泵及阀门的问题上来， 看是哪里 出现了泄漏，或是扩散泵油污染了，氧化了；或 是前级管路密封不好，泵油不足；或是泵油乳化， 轴封漏油等故障。一、检测漏率：用户最头疼的问题就是检测漏率。漏分内漏和外漏，外漏比较好检测，内漏则难办些。 较大的漏点可以用火焰法，利用气流能使火焰偏 离的原理，先抽上真空，比如用蜡烛或打火机在 可疑点附近逐步查寻，会发现火苗向漏点偏移， 则可找到漏点。（1）漏和微漏的查找：小漏和微漏就比较难查了，大家常用的方法是利 用在高真空状态下电离管对某些气体反应敏感 来检漏，比如丙酮或乙醇，用医用注

7、射器向可疑 的地方喷射丙酮或乙醇，喷到漏点时，电离计的 指针会有明显摆动。用这种方法检漏一定要有耐 心，一定要等到电离计的示值稳定了 也就是 真空机组的抽气能力和漏率平衡了，然后再喷 射。最好是反复几次，确认漏点。（2）漏和外漏的查找：内漏多发生在有水冷套的设备上，查外漏没 有发现疑点，但是却有以下现象：机械泵的抽速 明显偏低、真空计示值低、机械泵油很快乳化、 真空室内的铁基零部件明显锈蚀。具备以上条件 基本可以确定有内漏。例：有一台25炯中频炉, 配有2X 70旋片泵和两台ZJ150罗茨泵加到 一起抽也只抽到10 Pa , ZJ150泵的作用显现 不出来，没发现有外漏，却具备了机械泵油很快

8、乳化，真空室内铁基件明显锈蚀的条件， 解体设 备清理干净后用通冷却水的方法查出是炉盖漏 水，剩下就是查出漏点。先把内壁清理干净，再 通冷却水，看有无湿润点，湿润处就是漏点。二、故障点的处理：找出故障点就可以因地制宜地进行处理了， 简单 的办法就是换件，小到胶圈，螺栓；大到阀门， 真空泵，只要手头上有的都可以换。对于需要焊 接的部位应按要求来进行，焊接后还需确认是否 达到了要求。三、维修时要注意的环节：维修应注意几个环节。即拆卸、清洁、检验 及装配。真空设备无论大小都属于精密机械设备，这 点很重要。拆卸应遵循轻拿轻放的原则，不能蛮 干，一定不能用大锤去敲。清洗零件时要干净，彻底，以便于发现问题

9、和查出隐患。真空泵类产品与一般机械产品有较 大区别，一般机械产品多倒楞倒角，而真空泵的 楞角分明，很易伤手应多加小心，切记。千万别 把楞角倒去。检验是个细致活，每个细节都不要落掉，任 何细微的地方都可能是问题所在，所以不能存在 侥幸心理。不论是用汽油还是其他溶剂清洗的真空泵 件，一定要等到汽油或溶剂彻底挥发了才能进行 装配。真空泵油若与其他的油或溶剂或水混合会 破坏其性能，影响真空泵的性能指标。胶圈要擦 干净，仔细检查有无缺陷和裂纹，尺寸是否正确， 尺寸不对将影响密封。凡是有加热位置的胶圈， 每次拆卸清洗时必须换，比如油增压泵各个接 口，装配时泵件同样需要轻拿轻放；紧螺丝时用 力要均，要从对角

10、紧起。动密封多用轴封，上轴 封时要细心，先检查轴封本身有无缺陷，密封面 是否平整，轴封簧弹性如何，在轴封内侧可薄薄 地涂上一层真空脂，上轴封时用力要均，骨架轴 封不要压偏了，偏了就会漏油、漏气，轴封簧别 挤进去，没了轴封簧轴封就失效了。注意轴封与 轴的同心度，有的泵是用对轮连接的，对轮的同 轴性要求很严格，装配时要从轴的四面去量，保 证平行一致。罗茨泵的对齿轮调整的关键是两个 8型齿轮不相碰。扩散泵的内壁和喷射塔清洗干净后最好用电 力纺擦干。由于国内生产的扩散泵主要靠电炉丝 的长短来控制泵油的温度，扩散泵油的注入量就 需要考虑当地电网的实际情况来酌量增减。 泵的 口径大小不一样注油量也有差别，

11、电网的电压低 油可以减少2 mm只要是干净的钢板尺或铁丝 都可以用来测量。由于制造和使用上的差别，扩 散泵注油量仅供参考。维修切记不可操之过急，故障没搞清楚就想 当然的开始动手拆卸，旧病未除又添新病，把简 单的问题复杂化了。2.2、几种情况下处理方式：221应急处理（1）高温时断水、断电.真空设备最怕的就 是高温时断水、断电。因此用户最好在设备安装 时建有备用水箱或连有自来水管。 设备在高温时断水、断电，此时，泵、阀门均应 处于关闭状态，操作人员应马上接通备用水或自 来水，对设备进行水冷，如不能很快来电，还应 打开充放气系统的手动充气阀，对设备进行充气 保护，充气压力为-0.02 MPa左右。

12、然后，把控 制柜上的所有按钮关至“关”的位置。 同时用湿 毛巾搭在电极引出接口处，定期更换，以免电极 接口过热，造成密封圈损坏。（2）更换充气气瓶.设备所用充气气瓶需更 换时，拆掉稳压阀，换上一瓶新气，一定要注意 安装时不许漏气。在换上新气瓶后，在工件没加 热前，应在抽空过程中对炉内充气，以便在换气 瓶过程中造成的管路内存有的大气抽出， 使充气 管路保持清洁。（3）正常工作时，发现设备突然漏气，如马 上能找到泄露点，须用真空封泥把泄露点封住， 待工作完毕后，再做处理。如不能确定泄露处， 则应立即停止工作，然后检修。（4）设备工作一段时间，一般50到70炉次, 需清理打扫，把粉尘清出炉外，然后空

13、炉工作一 次。工作的方式是先抽空为真空度高于 10-2 Pa 时加热，加热温度一般高于正常使用温度的20Co在最高炉温时保温一个小时以上，然后自 然冷却。这样使设备内部空间保持清洁。机械泵的常见故障及维修：故障现象产生原因消除方法1）不能达 到所要求1.进气管路及 连接处漏气。1 排除漏气因素 或临时用真空封的极限真 空度。泥封堵。2.所抽吸气体 温度过高。2 在进气管路上 加装冷凝装置，降 低进气温度。3.油量不足或 油质不对。3.增添新的机械 泵用的真空油。4.真空油已污 损。4.更换新的真空 油。5.油温太低。5 .在严寒季节， 室温太低影响油 温度，等泵运转半 小时后，方能进入 正常情

14、况。6.排气阀片损 坏漏气。6更换新的排气 阀片。7 进气管路连 接处橡胶垫圈 损坏。7更换新的橡胶 密封垫圈。8所抽吸气体 中含有可凝性 蒸气。8须用气镇装置 或加装蒸汽捕集 装置。9.机件损坏。9 使用年久，由 于零件磨损，不能 保持原来间隙影 响正常工作和真 空度，须进行修理 或更新。10.选用真空计 不对。10.应按标准选用 压缩式真空计以 测得的分压强为 准，或以电真空计 测得全压强作参 考。2）油温过 高。1.有杂物或铁 屑吸入泵体。1 将泵拆开检查 修理，取出杂物。2 吸入气体温 度过高。2进口管路上, 装冷却装置。3.冷却水温度 过高或水量不3 降低冷却水温 度或增加冷却水足。

15、流量。3）真空泵 漏油。1.泵油、轴封损坏。1 换新的轴封。2 油箱螺钉松 动或垫片损坏。2 换新的垫片扌 紧螺钉。宁4）泵运转 不正常。1 泵润滑不良。1 检查清理润滑 系统。2 三角带太松 或太紧。2调整三角带的 紧度。3泵体内有污 物或磨损零件 碎粒。3 将泵拆开检查 排除之。223罗茨泵的常见故障:罗茨泵是一种旋转式变容真空泵。其极限真空 度可达5X 10-2 Pa,又称机械增加泵。其工作原 理是通过二个“ 8”字形的转子旋转，通过容积 的改变来实现抽气和排气。其工作原理与罗茨鼓 风机相似。维修保养： 应经常保持泵房环境清洁干燥。 应经常注意各部分润 滑油的状况，如发现不足时，应及时补

16、充。如发 现不清洁时，应及时更换，并注意螺塞重新旋进 去时应保证密圭寸。泵工作压差应控制在旁通阀允 许的压差范围内，否则易烧坏电机。 在拆修时各部件不能 用重锤敲打。 拆下的零件避免碰伤、擦毛。特别要注意密封面的平整光洁，否则 会引起再装配后漏气现象，泵不能恢复原有性 能。 拆下的零件用汽油、 四氯化碳或乙醚清洗，干燥后才能装配。 装配时要注意转子两 端与左右侧盖的间隙，转子与转子，转子与泵体 的间隙按规定要求调整。 泵体左右侧盖之间之 结合面均采用107树脂（即室温硫化硅橡胶）密 圭寸。 装配前必须注意螺旋套方向，主动轴上靠近电机一侧为左旋，齿轮箱 一侧为右旋，从动轴上则相反。故障故障原因米

17、取措施真空度达被抽容器或连 接管路漏气消除被抽容器或 连接管路漏气不到 要求本泵油封损坏 漏气（油杯中 的油漏进泵 内）更换油封本泵各部螺丝松动扳紧松动的螺丝声音轴承疲劳损坏更换轴承异常转子间隙发生变化拆下齿轮经清洗后重新装上并调整转子之间间隙联轴器疲劳损 坏更换联轴器齿轮疲劳损坏更换齿轮电机 烧毁泵腔内落入较 大异物排除异物溢流阀锈死拆开溢流阀清洗 后重新装回油扩散泵故障处理(1) 扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通， 停止加热后必须保证泵工作液已完全冷却后方 可关闭冷却水。(2) 泵停止工作时，泵内应保持真空状 态，以免泵油劣化。(3) 被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘 的气体。(4) 泵

18、如暂时不用，保管期间应保持真 空状态，以免泵油污染和各零件腐蚀。并将 冷却水套内的剩水吹净。保存场地的室温应 在10C40C之间。(5) 泵在正常运行时如突然出现性能变 坏，应先检查加热器是否正常。(6) 泵在长期工作后，性能会逐渐变坏， 应定期检修。a. 泵油是否减少或氧化，按相应要求加油或 更换处理。b. 零件及泵腔先用航空汽油清洗，然后用丝绸蘸 乙醚或丙酮进行擦洗，并置于 80C100C温度 下烘干或用电吹风吹干。c. 处理完后，按顺序进行装配，保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心，各级喷嘴间隙要按原要求调整 好。225整套设备的故障处理：故障现象原因处理方法1.粗抽阀 无法开启1.压缩空气压 力是否够1 要求达到0.4 0.6 Mpa2.粗抽阀的电 磁换向阀不工 作2.参照故障33.高真空阀上 的行程开关未 压紧3.调整行程开关 与上面盖板的位 置合适2.电磁换 向阀不工 作1.接通电无吸合动作1.线圈损坏，更 换线圈或更换全 电磁阀2.工作环境温 度低2 室温高于+5C3.阀体有阻塞3.通过手动电 动检查清洗阀 体，然后注入泵油4.气源气压不 足4 达至90.6 Mpa0.413 前级阀 无法开启1 气压不足1 .参照故障32.电磁换向阀 工作2.参照故障34.高真空 阀无法开 启1.粗抽阀上行