前后清洗周期内药液需求统计new

1、刻蚀槽药液浓度密度(kg/L)工序HNO30.651.42前清洗后清洗HF0.491.15前清洗后清洗H2SO40.981.84后清洗H20前清洗后清洗备注：前清洗 replenish的次数为（200/0.04）次，an Cycle 约为7天 后清洗 replenish的次数为（100/0.012）次，an Cycle 约为24天槽体一片硅片消耗的硅（g）一片硅片消耗的量（g）HNO3制绒槽0.41.2刻蚀槽0.060.18HF制绒槽0.41.714285714刻蚀槽0.060.257142857制绒槽药液HNOHNO3 3（L）HFHF（L）校准所需体积一周期所耗体积刻蚀槽药液HNOHNO3

2、 3（L）HFHF（L）校准所需体积一周期所耗体积硝酸分子量63硅分子量28氟化氢分子量20 4HNO3+3Si=3SiO2+4NO+2H2O 3SiO2+ 12HF=3SiF4+6H2O 3SiF4+6HF=3H2SiF6H H2 2O O/KOHKOH150 200H H2 2O O3000 4000H H2 2O O86000 92400HFHF200 300H H2 2O O4000 6000 H H2 2O O100800117600firstfillreplenish an Cycle溶液体积(L)溶质质量(kg)溶液体积(L) 溶质质量(kg) 溶液体积(L)237218.290

3、.270.251586.50115106.120.300.282614.975530.850.380.211954.742011.070.080.05686.3270126.2280.00188.76188.76185.38185.38一个班的产能一个班的消耗量（g）一个班消耗量（kg）一个周期的消耗量（kg）理论月耗量65000780007810925382650001170011.7561.665000111428.5714111.428571415607688.571436500016714.2857116.71428571 802.2857143H H2 2O O（L）H H2 2O

4、O（L）H H2 2SOSO4 4（L）前清洗 replenish的次数为（200/0.04）次，an Cycle 约为7天 后清洗 replenish的次数为（100/0.012）次，an Cycle 约为24天 4HNO3+3Si=3SiO2+4NO+2H2O 3SiO2+ 12HF=3SiF4+6H2O 3SiF4+6HF=3H2SiF6溶质质量(kg)槽体中药液大致质量浓度1464.3437.15%2413.6221.22%1101.505.25%386.742.21%126.2225.24%0.321271196an CycleH H2 2O O250 350周期：3.5Days制制

5、绒绒槽槽HFHNO3H2ORinse1H2ORinse2H2O碱碱槽槽KOH酸酸槽槽HF、HCLRinse3H2O制制绒绒槽槽HFHNO3H2ORinse1H2ORinse2H2O碱碱槽槽KOH酸酸槽槽HF、HCLRinse3H2O制制绒绒槽槽HFHNO3H2ORinse1H2ORinse2H2O碱碱槽槽KOH酸酸槽槽HF、HCLRinse3H2O酸槽药液浓度密度(kg/L)工序firstfillreplenish 溶液体积(L) 溶质质量(kg) 溶液体积(L)溶质质量(kg)HCL0.371.18前清洗43.5819.031.500.65HF0.491.15前清洗16.739.431.50

6、0.85后清洗41.1123.171.500.85H2O前清洗119.69119.69后清洗418.89418.89备注：an Cycle 为250h(约为10天),replenish 的次数为250次，每小时一次an Cycle一周期排放溶质质量溶液体积(L)溶质质量(kg) 槽体中药液大致质量浓度418.58182.7510.00%182.752028391.73220.744.95%220.739855416.11234.484.97%234.477985碱槽药液浓度密度(kg/L)工序firstfill溶液体积(L)溶质质量(kg)KOH0.481.49前清洗7.475.34后清洗5.934.24H2O前清洗72.5372.53后清洗74.0774.07备注：an Cycle 为230h(约为10天),replenish 的次数为230次，每小时一次281.2574.15101.10.06264687251replenish an Cycle一周期排放溶质质量溶液体积(L) 溶质质量(kg) 溶液体积(L) 溶质质量(kg) 槽体中药液大致质量浓度0.800.57207