IM消影玻璃镀膜技术

1、IMIM消影玻璃镀消影玻璃镀膜技术工艺膜技术工艺内内 容容 提提 要要v什么是消影ITOv消影ITO的膜层结构v消影ITO的特性v消影ITO技术指标v消影ITO的工艺控制参数vIM膜层调试方法什么是消影什么是消影ITOv 消影ITO玻璃: 是通过在ITO膜和玻璃之间镀上一层IM膜(INDEX MARGIN层)，使ITO玻璃在刻蚀制作电容屏线路之后，可见光波长500nm650nm区间,ITO层蚀刻前后反射率R%0.5%,减少ITO区域和非ITO区域的视觉反差，使得电容屏ITO刻蚀线条变淡，线路的图案在常光下看不见图案线条，起到消除图案的效果的IM+ITO玻璃。v消影消影ITOITO与普通与普通I

2、TOITO比较，具备同样导电性的同时还以下优点比较，具备同样导电性的同时还以下优点: : 1. 1. 玻璃透过率增加，反射率减小具有玻璃透过率增加，反射率减小具有ARAR膜功能，在同等膜功能，在同等 背光源的前提下，能通过背光源的前提下，能通过减少环境光影响获得更好的视觉亮度；减少环境光影响获得更好的视觉亮度； 2. 2. 减少减少ITOITO区域和刻蚀后非区域和刻蚀后非ITOITO区域的视觉反差，使得电容屏区域的视觉反差，使得电容屏ITOITO刻蚀线条变淡，提刻蚀线条变淡，提高视觉效果。高视觉效果。消影消影ITO的膜层结构的膜层结构v膜层组合GLASSITO层IM层膜系组成：IM(NB2O5

3、/SiO2)+ITO根据ITO阻值不同，IM层厚度也需要做不同的调整。目前常用的消影ITO阻值为80120/ITO膜厚范围20-27nm消影消影ITO的特性的特性v透过曲线比较普通 ITO消影 ITO消影消影ITO的特性的特性v反射曲线比较消影消影ITO的特性的特性1.ITO消影玻璃在=500650nm范围，ITO刻蚀前反射R%与刻蚀后反射r%的差小于0.5是最佳的消影效果即符合公式2.CIE L*a*b*反射颜色值符合公式：(UV-2401PC)5.0%rRR5 . 1*5 . 0*后前后前bbbaaa消影消影ITO工艺指标（内控）工艺指标（内控）透过与反射透过与反射 IM层550nm透过率

4、最佳控制在90.5%0.2%，反射率控制在8.8%0.2%。类别类别400nm450nm550nm650nmT% 刻蚀前刻蚀前89%89%90%90%R% 刻蚀前刻蚀前11.%9.8%9%9%t% 刻蚀后刻蚀后89.591%89.591%90.391%9091.5%r% 刻蚀后刻蚀后89.1%8.39.5%8.59%8.39.0%消影消影ITO工艺指标工艺指标颜色指标颜色指标vCIE L*a*b*范围（反射颜色）反射550nm颜色值控制：标准值： -1.0a*0 -3.0b*1.0内控值： -1.0a*-0.5 -2.0b*0.5注意：CIE L*a*b*颜色坐标值，a*与b*尽可能控制在负值

5、范围内，所做出来的产品颜色才保证不会发黄。消影消影ITO的工艺控制参数的工艺控制参数靶材：NB,SiAl靶 + ITO靶（连镀）阴极靶位：NB靶 （1个） SiAl靶（5个）； ITO靶（2个）温度设置：设定200C-450 C气体及功率详细工艺根据设备不同而定消影消影ITO的工艺控制参数的工艺控制参数v IM层膜厚控制：（总膜厚75-78nm） NB2O5 4.86nm（DT或康宁玻璃5.66.4nm） SiO2 6672nm （DT或康宁玻璃6064nm） 说明： 各层膜厚准确控制，是消影效果的保证，设计膜系厚度NB/6；SIO2/64；配合ITO/24是理想的膜厚。IM膜层调试膜层调试v

6、按工艺指导书参考工艺卡，设定各层使用的功率试镀，工艺片采用0.7mm薄片，基板采用客户报废的原基片玻璃。vF20检测薄的膜层时偏差较大，因此，第一层NB2O5膜厚并不准确，调试过程只做光谱曲线参考，主要依据UV2450扫描光谱曲线对照各波段反射指标控制。IM膜层调试膜层调试v膜厚变化调整规律：膜厚变化调整规律：u 当NB2O5层膜偏厚时反射曲线会以中部为点整体上抬，反射率增大，反之，偏薄则会整体下降，趋向平直，反射率减小。u 当SiO2层偏厚，反射曲线随着膜厚的增加而下降，且450nm以下越向下弯，反射率减小。超过90nm厚度后，400nm反而向上翘起。膜厚偏薄时，反射率增大，随着厚度减小，4

7、50nm以下的曲线逐步向上抬高。u 当两层都薄时，曲线变为从400nm向700nm倾斜；当两层都厚时曲线从550nm处前端开始向下弯曲。IM膜层调试（颜色控制膜层调试（颜色控制)颜色值控制负值范围方法： 1 1、当发现颜色值出现正值，说明、当发现颜色值出现正值，说明600nm600nm之后的之后的反射增加了，查看反射曲线，如反射率在控制范反射增加了，查看反射曲线，如反射率在控制范围，只需将第二层膜厚减小，使反射曲线的反射围，只需将第二层膜厚减小，使反射曲线的反射率从率从450nm450nm向向650nm650nm递减，一般情况都可以纠正过递减，一般情况都可以纠正过。2 2、假如反射率曲线都很低，除了减少第二层膜厚、假如反射率曲线都很低，除了减少第二层膜厚之外，第一层适当的增加膜厚。之外，第一层适当的增加膜厚。参考附件：参考附件： 正常