数控机床位置精度测试常用的测量方法及评定标准ppt课件

1、武汉华中数控股份有限公司数控机床位置精度测试常用数控机床位置精度测试常用的测量方法及评定标准的测量方法及评定标准 武汉华中数控股份有限公司1 1 定位精度和重复定位精度的确定定位精度和重复定位精度的确定 GB/T12421.2-99GB/T12421.2-99国家标准评定方法国家标准评定方法目标位置目标位置P Pi i ：运动部件编程要达到的位置。下标：运动部件编程要达到的位置。下标i i表示沿轴线选择的目标位置中的特定表示沿轴线选择的目标位置中的特定位置。位置。实际位置实际位置P Pijij（i=0mi=0m，j=1nj=1n）：运动部件第）：运动部件第j j次向第次向第i i个目标位置趋近

2、时的实际测得的到个目标位置趋近时的实际测得的到达位置。达位置。位置偏差位置偏差X Xij ij ：运动部件到达的实际位置减去目标位置之差，：运动部件到达的实际位置减去目标位置之差，X Xijij =P =Pijij P Pi i。武汉华中数控股份有限公司 单向趋近：运动部件以相同的方向沿轴线（指直线运动）或绕轴线（指旋转运动）单向趋近：运动部件以相同的方向沿轴线（指直线运动）或绕轴线（指旋转运动）趋近某目标位置的一系列测量。符号趋近某目标位置的一系列测量。符号表示从正向趋近所得参数，符号表示从正向趋近所得参数，符号表示从负向趋近表示从负向趋近所得参数，如所得参数，如X Xijij或或X Xij

3、ij。 双向趋近：双向趋近： 运动部件从二个方向沿轴线或绕轴线趋近某目标位置的一系列测量。运动部件从二个方向沿轴线或绕轴线趋近某目标位置的一系列测量。 某一位置的单向平均位置偏差某一位置的单向平均位置偏差或或 ： 运动部件由运动部件由n n次单向趋近某一位置次单向趋近某一位置P Pi i所得的所得的位置偏差的算术平均值。位置偏差的算术平均值。 = = 或或 = = _ix_ix 11njijxn_ix 11njijxn武汉华中数控股份有限公司 某一位置的双向平均位置偏差某一位置的双向平均位置偏差 ：运动部件从二个方向趋近某一位置：运动部件从二个方向趋近某一位置P Pi i所得的单所得的单向平均

4、位置偏差向平均位置偏差 和和 的算术平均值。的算术平均值。= = （ + + ）/2/2 某一位置的反向差值某一位置的反向差值Bi Bi ：运动部件从二个方向趋近某：运动部件从二个方向趋近某位置时两单向平均位置偏差之差。位置时两单向平均位置偏差之差。 B Bi i= = _ix_ix_ix_ix_ix_ix_ix_ix武汉华中数控股份有限公司轴线反向差值B和轴线平均反向差值 ：运动部件沿轴线或绕轴线的各目标位置的反向差值的绝对值Bi中的最大值即为轴线反向差值B。沿轴线或绕轴线的各目标位置的反向差值的Bi的算术平均值即为轴线平均反向差值B=max. Bi 在某一位置的单向定位标准不确定度的估算值

5、Si或Si：_B_B_BmiiBm11=武汉华中数控股份有限公司 通过对某一位置Pi的n次单向趋近所获得的位置偏差标准不确定度的估算值。即njiijxxn12)(11njiijxxn12)(11Si=Si= 在某一位置的单向重复定位精度Ri或Ri及双向重复定位精度Ri Ri=4 Si 和 Ri=4 SiRi =max.2 Si+ 2 Si+Bi； Ri；Ri 武汉华中数控股份有限公司轴线双向重复定位精度R ，则有R=max.Ri轴线双向定位精度A： 由双向定位系统偏差和双向定位标准不确定度估算值的2倍的组合来确定的范围。 即 A= max (I +2 Si；I +2 Si)min (I -2

6、Si；I -2Si)xxxxx武汉华中数控股份有限公司 定位精度和重复定位精度的确定定位精度和重复定位精度的确定JISB6330-1980JISB6330-1980标准（日本）标准（日本） 定位精度定位精度A A：在测量行程范围内（运动轴）测：在测量行程范围内（运动轴）测2 2点，一次往返目标点检测（双向）。测点，一次往返目标点检测（双向）。测试后，计算出每一点的目标值与实测值之差，取最大位置偏差与最小位置偏差之差除以试后，计算出每一点的目标值与实测值之差，取最大位置偏差与最小位置偏差之差除以2 2，加正负号（加正负号（）作为该轴的定位精度。即：）作为该轴的定位精度。即：A=A=1/2 1/2

7、 Max. Max. （Max. XMax. Xj j-Min. X-Min. Xj j），（），（Max. XMax. Xj j-Min. X-Min. Xj j） 重复定位精度重复定位精度R R：在测量行程范围内任取左中右三点，在每一点重复测试：在测量行程范围内任取左中右三点，在每一点重复测试2 2次，取每点次，取每点最大值最小值之差除以最大值最小值之差除以2 2就是重复定位精度；即就是重复定位精度；即R=1/2 Max.R=1/2 Max.（Max. XMax. Xi i - Min.X - Min.Xi i） 武汉华中数控股份有限公司 2 2 定位精度测量工具和方法定位精度测量工具和方

8、法 定位精度和重复定位精度的测量仪器可以用激光干涉仪、线纹尺、步距规。其中用步距定位精度和重复定位精度的测量仪器可以用激光干涉仪、线纹尺、步距规。其中用步距规测量定位精度因其操作简单而在批量生产中被广泛采用。无论采用哪种测量仪器，其在全行规测量定位精度因其操作简单而在批量生产中被广泛采用。无论采用哪种测量仪器，其在全行程上的测量点数不应少于程上的测量点数不应少于5 5点，测量间距按下式确定：点，测量间距按下式确定： P Pi i =i =i * *P+kP+k其中，其中，P P为测量间距；为测量间距；k k在各目标位置取不同的值，以获得全测量行程上各目标位置的不均在各目标位置取不同的值，以获得

9、全测量行程上各目标位置的不均匀间隔，以保证周期误差被充分采样。匀间隔，以保证周期误差被充分采样。武汉华中数控股份有限公司步距规测量 步距规结构如图步距规结构如图1 1所示：尺寸所示：尺寸P P1 1、P P2 2、. P. Pi i按按100mm100mm间距设计，加工后测量出间距设计，加工后测量出P P1 1、P P2 2、. . P Pi i的实际尺寸作为定位精度检测时的目标位置坐标（测量基准）。以的实际尺寸作为定位精度检测时的目标位置坐标（测量基准）。以ZJK2532AZJK2532A铣床铣床X X轴定位精轴定位精度测量为例，测量时，将步距规置于工作台上，并将步距规轴线与度测量为例，测量

10、时，将步距规置于工作台上，并将步距规轴线与X X轴轴线校平行，令轴轴线校平行，令X X轴回零；轴回零；将杠杆千分表固定在主轴箱上（不移动），表头接触在将杠杆千分表固定在主轴箱上（不移动），表头接触在P P0 0点，表针置零；用程序（见附件一）点，表针置零；用程序（见附件一）控制工作台按标准循环图（图控制工作台按标准循环图（图2 2）移动，移动距离依次为）移动，移动距离依次为P P1 1、P P2 2、. P. Pi i，表头则依次接触到，表头则依次接触到P P1 1、P P2 2、. P. Pi i点，表盘在各点的读数则为该位置的单向位置偏差，按标准循环图测量点，表盘在各点的读数则为该位置的单

11、向位置偏差，按标准循环图测量5 5次，将各点次，将各点读数（单向位置偏差）记录在记录表中，按读数（单向位置偏差）记录在记录表中，按“2.3.42.3.4定位精度和重复定位精度的确定定位精度和重复定位精度的确定 GB/T12421.2GB/T12421.29999标准标准”对数据进行处理，可确定该坐标的定位精度和重复定位精度。对数据进行处理，可确定该坐标的定位精度和重复定位精度。 武汉华中数控股份有限公司P0105080PiP2P1图图6 步距规结构图步距规结构图图图1 1 步距规结构图步距规结构图 位置i（m=5）i 0 1 2 3 m=5循环 jj=1,2,.n图图7 标准检验循环图标准检验

12、循环图图图2 2 标准检验循环图标准检验循环图 武汉华中数控股份有限公司 激光干涉仪测位置精度激光干涉仪测位置精度 测量原理测量原理 激光干涉仪一般采用的是氦氖激光器，其名义波长为激光干涉仪一般采用的是氦氖激光器，其名义波长为0.633um0.633um，其长期波长稳，其长期波长稳定性高于定性高于0.1ppm0.1ppm。干涉技术是一种测量距离精度等于甚至高于。干涉技术是一种测量距离精度等于甚至高于1ppm1ppm的测量方法。其机理是：把的测量方法。其机理是：把两束相干光波形合并相干（或引起相互干涉），其合成结果为两个波形的相位差，用该相位差两束相干光波形合并相干（或引起相互干涉），其合成结果

13、为两个波形的相位差，用该相位差来确定两个光波的光路差值的变化。当两个相干光波在相同相位时，即两个相干光束波峰重叠来确定两个光波的光路差值的变化。当两个相干光波在相同相位时，即两个相干光束波峰重叠，其合成结果为相长干涉，其输出波的幅值等于两个输入波幅值之和；当两个相干光波在相反，其合成结果为相长干涉，其输出波的幅值等于两个输入波幅值之和；当两个相干光波在相反相位时，即一个输入波波峰与另一个输入波波谷重叠时，其合成结果为相消干涉，其幅值为两相位时，即一个输入波波峰与另一个输入波波谷重叠时，其合成结果为相消干涉，其幅值为两个输入波幅值之差，因此，若两个相干波形的相位差随着其光程长度之差逐渐变化而相应

14、变化个输入波幅值之差，因此，若两个相干波形的相位差随着其光程长度之差逐渐变化而相应变化时，那么合成干涉波形的强度会相应周期性的变化，即产生一系列明暗相间的条纹，激光器内时，那么合成干涉波形的强度会相应周期性的变化，即产生一系列明暗相间的条纹，激光器内的检波器，根据记录的条纹数来测量长度，其长度为条纹数乘以半波长。的检波器，根据记录的条纹数来测量长度，其长度为条纹数乘以半波长。武汉华中数控股份有限公司 测试方法测试方法 首先将反射镜置于机床的不动的某个位置，让激光束经过反射镜形成一束反射光；首先将反射镜置于机床的不动的某个位置，让激光束经过反射镜形成一束反射光；其次将干涉镜置于激光器与反射镜之间

15、，并置于机床的运动部件上，形成另一束反射光，两束光其次将干涉镜置于激光器与反射镜之间，并置于机床的运动部件上，形成另一束反射光，两束光同时进入激光器的回光孔产生干涉；然后根据定义的目标位置编制循环移动程序，记录各个位置同时进入激光器的回光孔产生干涉；然后根据定义的目标位置编制循环移动程序，记录各个位置的测量值（机器自动记录）；最后进行数据处理与分析，计算出机床的位置精度。测量示意图如的测量值（机器自动记录）；最后进行数据处理与分析，计算出机床的位置精度。测量示意图如图图3 3所示。所示。 图图3 激光干涉仪测量示意图激光干涉仪测量示意图武汉华中数控股份有限公司 4 4 数控机床软件补偿原理数控

16、机床软件补偿原理 一般来讲，数控机床的优势在于软件（数控系统）和硬件（机床）的有机结合，才能一般来讲，数控机床的优势在于软件（数控系统）和硬件（机床）的有机结合，才能很好的发挥数控机床的各种特性及先进的功能。一台数控设备经过一年的运行，很多移动部件很好的发挥数控机床的各种特性及先进的功能。一台数控设备经过一年的运行，很多移动部件都发生了不同程度的磨损，其位置精度都会发生变化。即使未到大修年限，一般精密级的数控都发生了不同程度的磨损，其位置精度都会发生变化。即使未到大修年限，一般精密级的数控机床，都会重新进行位置精度的测试及补偿，其也属于机床维修及维护的重要一部分，当然，机床，都会重新进行位置精

17、度的测试及补偿，其也属于机床维修及维护的重要一部分，当然，大修的数控机床就必须进行位置精度的测试及补偿了。本章着重介绍一下精度补偿的一般性原大修的数控机床就必须进行位置精度的测试及补偿了。本章着重介绍一下精度补偿的一般性原理及方法理及方法 。武汉华中数控股份有限公司4.14.1螺距补偿原理螺距补偿原理数控机床软件补偿的基本原理是在机床的机床坐标系中，在无补偿的条件下，在轴线测量数控机床软件补偿的基本原理是在机床的机床坐标系中，在无补偿的条件下，在轴线测量行程内将测量行程等分为若干段，测量出各目标位置行程内将测量行程等分为若干段，测量出各目标位置P Pi i的平均位置偏差的平均位置偏差 ，把平均

18、位置偏，把平均位置偏差反向叠加到数控系统的插补指令上，如图差反向叠加到数控系统的插补指令上，如图4 4所示，指令要求沿所示，指令要求沿X X轴运动到目标位置轴运动到目标位置P Pi i，目，目标实际位置为标实际位置为P Pijij，该点的平均位置偏差为，该点的平均位置偏差为 ；将该值输入系统，则系统；将该值输入系统，则系统CNCCNC在计算时自动在计算时自动将将目标位置目标位置P Pi i的平均位置偏差的平均位置偏差 叠加到插补指令上，实际运动位置为：叠加到插补指令上，实际运动位置为：P Pij=ij=P Pi i+ + ，使，使误差部分抵消，实现误差的补误差部分抵消，实现误差的补偿。螺距误差

19、可进行单向和双向补偿。偿。螺距误差可进行单向和双向补偿。_ix_ix_ix_ix武汉华中数控股份有限公司XPiPij0 螺矩误差补偿原理螺矩误差补偿原理Pi4.24.2反向间隙补偿原理反向间隙补偿原理 反向间隙补偿又称为齿隙补偿。机械传动链在改变转向时，由于反向间隙的存在，会反向间隙补偿又称为齿隙补偿。机械传动链在改变转向时，由于反向间隙的存在，会引起伺服电动机的空转，而无工作台的实际运动，又称失动。反向间隙补偿原理是在无补偿引起伺服电动机的空转，而无工作台的实际运动，又称失动。反向间隙补偿原理是在无补偿的条件下，在轴线测量行程内将测量行程等分为若干段，测量出各目标位置的条件下，在轴线测量行程

20、内将测量行程等分为若干段，测量出各目标位置P Pi i的平均反向差的平均反向差值值 ，作为机床的补偿参数输入系，作为机床的补偿参数输入系 统。统。CNCCNC系统在控制坐标轴反向运动时，自动先让该坐标反向系统在控制坐标轴反向运动时，自动先让该坐标反向_B图4 螺矩误差补偿原理武汉华中数控股份有限公司 运动值，然后按指令进行运动。如图运动值，然后按指令进行运动。如图5 5所示，工作台正向移动到所示，工作台正向移动到O O点，然后反向移动到点，然后反向移动到P Pi i点，反向时，电机（丝杆）先反向移动，后移动到点，反向时，电机（丝杆）先反向移动，后移动到PiPi点；该过程点；该过程CNCCNC系

21、统实际指令运动值系统实际指令运动值L L为：为： _BL=PL=Pi i+ + _B反向间隙补偿在坐标轴处于任何方式时均有效。在系统进行了双向螺距补偿时，双向螺距反向间隙补偿在坐标轴处于任何方式时均有效。在系统进行了双向螺距补偿时，双向螺距补偿的值已经包含了反向间隙，因此，此时不需设置反向间隙的补偿值。补偿的值已经包含了反向间隙，因此，此时不需设置反向间隙的补偿值。 工作台0PiXL图图5反向间隙补偿反向间隙补偿武汉华中数控股份有限公司4.3 4.3 误差补偿的适用范围误差补偿的适用范围从数控机床进给传动装置的结构和数控系统的三种控制方法可知，误差补偿对半闭环控从数控机床进给传动装置的结构和数

22、控系统的三种控制方法可知，误差补偿对半闭环控制系统和开环控制系统具有显著的效果，可明显提高数控机床的定位精度和重复定位精度制系统和开环控制系统具有显著的效果，可明显提高数控机床的定位精度和重复定位精度。对全闭环数控系统，由于其控制精度高，采用误差补偿的效果不显著，但也可进行误差。对全闭环数控系统，由于其控制精度高，采用误差补偿的效果不显著，但也可进行误差补偿。补偿。武汉华中数控股份有限公司4.44.4补偿实例补偿实例 现以现以ZJK2532AZJK2532A数控铣钻床的数控铣钻床的X X轴为例，该机床配置华中数控世纪星系统。轴为例，该机床配置华中数控世纪星系统。测量方法为测量方法为“步距规步距

23、规”测量；设某步距规实际尺寸为：测量；设某步距规实际尺寸为：位置P0P1P2P3P4P5实际尺寸mm0100.10200.20300.10400.20500.05武汉华中数控股份有限公司 1 1、测试步骤如下：、测试步骤如下：。 在首次测量前，开机进入系统（华中数控在首次测量前，开机进入系统（华中数控HNC-2000HNC-2000或或HNC-21MHNC-21M），依次按），依次按“F3F3参数参数”键、再按键、再按“F3F3输入权限输入权限”键进入下一子菜单，按键进入下一子菜单，按F1F1数控厂家参数，输入数控厂家权限口令数控厂家参数，输入数控厂家权限口令，初始口令为，初始口令为“NCNC

24、”，回车，再按，回车，再按“F1F1参数索引参数索引”键，再按键，再按“F4F4轴补偿参数轴补偿参数”键如图键如图2-62-6所所示，移动光标选择示，移动光标选择“0 0轴轴” 回车，即进入系统回车，即进入系统X X轴补偿参数界面如图轴补偿参数界面如图2-82-8所示，将系统的反所示，将系统的反向间隙、螺距补偿参数全部设置为零，按向间隙、螺距补偿参数全部设置为零，按“EscEsc”键，界面出现对话框键，界面出现对话框“是否保存修改参数是否保存修改参数？”，按，按“Y Y”键后保存修改后的参数。按键后保存修改后的参数。按“F10F10”键回到主界面，再按键回到主界面，再按“Alt+XAlt+X”

25、，退出系统，退出系统，进入，进入DOSDOS状态，按状态，按“N N”回车进入系统；回车进入系统； 武汉华中数控股份有限公司 。编制步距规的测量程序，实现图。编制步距规的测量程序，实现图2 2所示测量循环。程序名为所示测量循环。程序名为“OJXOJX”；程序详见附件；程序详见附件1 1；将步距规实际尺寸将步距规实际尺寸P P1 1、P P2 2、. P. Pi i 填入测量程序的变量中；填入测量程序的变量中； 。将步距规置于工作台中间位置，注意步距规的方向，。将步距规置于工作台中间位置，注意步距规的方向，P P0 0点朝向点朝向X X轴负向，用压板轻轴负向，用压板轻轻地固定，并用百分表将步距规

26、轴线与轻地固定，并用百分表将步距规轴线与X X轴导向导轨校平行，平行度允差轴导向导轨校平行，平行度允差0.02mm0.02mm； 。使工作台沿。使工作台沿X X轴向回零，轴向回零，Y Y轴置于行程中间位置；将杠杆千分表固定在主轴箱上（轴置于行程中间位置；将杠杆千分表固定在主轴箱上（不移动），表头接触在不移动），表头接触在P P0 0点，表针置零；如图点，表针置零；如图6 6所示。所示。 武汉华中数控股份有限公司ba图图2-6步距规安装示意图步距规安装示意图图图6步距规安装示意图步距规安装示意图 武汉华中数控股份有限公司图图7 7参数索引界面参数索引界面武汉华中数控股份有限公司 。将波段开关置于

27、。将波段开关置于“单段单段”，进给修调置于，进给修调置于“100%100%”，选择检测程序，选择检测程序“OJXOJX”，重复按，重复按“循环启动循环启动”，当程序执行到，当程序执行到“N05N05”行时，将表针再次置零，再将波段开关置于行时，将表针再次置零，再将波段开关置于“自动自动”后，按后，按“循环启动循环启动”开始测量，在测量完成前不应调整杠杆千分表表针。开始测量，在测量完成前不应调整杠杆千分表表针。 。在测量程序运行中，当工作台运动到目标位置时，表头接触到步距规测量面，测。在测量程序运行中，当工作台运动到目标位置时，表头接触到步距规测量面，测量程序设置有暂停量程序设置有暂停3 3秒（

28、秒（G04X3G04X3），此时记下表针读数，记录在），此时记下表针读数，记录在“测试记录表测试记录表”中。例如在中。例如在第一次测量，工作台负向运动到第一次测量，工作台负向运动到P P1 1点时表针读数为点时表针读数为“6 6”时，读数时，读数“6 6”记录在记录在“P P1 1，X X1 1”位置。如表位置。如表7 7所示。所示。 。测量。测量5 5个循环，并将读数记录到个循环，并将读数记录到“测试记录表测试记录表”中。停止运行，将表头移开测量面中。停止运行，将表头移开测量面。武汉华中数控股份有限公司 2 2、数据处理、数据处理 按按“定位精度和重复定位精度的确定定位精度和重复定位精度的确

29、定 GB/T12421.2 GB/T12421.29999标准标准”对数据进行处理对数据进行处理，先计算出，先计算出“平均位置偏差平均位置偏差”、 “反向差值反向差值B Bi i ”和和“平均反向值平均反向值B Bi i” ； 3 3、 误差补偿误差补偿 按测试步骤操作进入系统X轴补偿参数表，见表3。 _ix武汉华中数控股份有限公司反向间隙补偿反向间隙补偿 将记录表中计算所得的轴线平均反向差值将记录表中计算所得的轴线平均反向差值 写入系统写入系统X X轴补偿参数表的轴补偿参数表的“反向间隙反向间隙（内部脉冲当量）（内部脉冲当量）”后的数据栏；后的数据栏；单向螺距补偿单向螺距补偿 将将“螺距补偿

30、类型螺距补偿类型”设为设为“1 1”，“补偿点数补偿点数”设为设为“6 6”，“补偿间隔补偿间隔” 设为设为“100000100000”，“参考点偏差号参考点偏差号” 为为“5 5”； 。将。将“记录表记录表”中中“平均位置偏差平均位置偏差 ”的值填入的值填入“X X轴补偿参数表轴补偿参数表” _B_ix武汉华中数控股份有限公司表表3 3 测试记录表测试记录表 平均反平均反向差值向差值B Bi i实实验验记记录录机床型机床型号号ZJK2532ZJK2532A A测试坐测试坐标标X X测试者测试者 机床编机床编号号 测试温测试温度度 日日 期期 i=i=0 01 12 23 34 45 5目标位

31、目标位置置P Pi i = =0 0- -10100.0.1010- -20200.0.2020-300.10-300.10-400.20-400.20500.05500.05趋近方趋近方向向 位置位置 j=1j=1偏差偏差 2 2X Xijij 3 34 4（mm） 5 50 0 6 6 武汉华中数控股份有限公司_ix平均平均反向反向差值差值B Bi i数数据据处处理理平均位平均位置偏差置偏差1 12 23 34 45 56 62 28 89 9101011111212反向差反向差值值B Bi i 武汉华中数控股份有限公司的“偏差值”内；即：将 值“1”填入“偏差值（内部脉冲当量） 5 ”将 值“3”填入“偏差值（内部脉冲当量） 4 ”将 值“5”填入“偏差值（内部脉冲当量） 3 ”将 值“2”填入“偏差值（内部脉冲当量） 2 ” 将 值“9”填入“偏差值（内部脉冲当量） 1 ”将 值“11”填入“偏差值（内部脉冲当量） 0 ”_0 x_1x_2x_3x_4x_5x_0 x_0 x武汉华中数控股份有