清洗工艺及操作要求

1、鬍飞工艺及探作晏鬆昊滋芜电施诜员工您正要求搏诃操作流程切片下棒预冲洗送检甩干超声清洗检验测尺寸，磨边缘，测尺寸鼬片、清洗甩干手动脱胶工艺要求: 水温：50-55C 水位：淹没硅片即可 浸泡时间：硅片自然倒伏（810分（1）由切片人员将硅棒和相应的随工单送至清洗车间。（2）预清洗人员核对随工单，区分厂家、规格、晶体编号、长度等情况。 注意观察硅棒是否有异常（3）在随工单上注明交接时间、清洗确认人、掉片等情况。讯衣限公（4）将硅棒轻轻从推车上取出放入预冲洗槽中，按照先左后右的顺序 进行冲洗取岀和（1）打开自来水开关冲洗15分钟左右，直到没有污水流出（2）在冲洗过程中，如硅片有松动、掉片等情况，直接

2、在冲洗槽内将硅片取出，防止翻棒过程中，对硅棒造成二次伤害。（3）硅棒冲洗干净后，熟练的将硅棒翻转过来，并移至脱胶槽。（4）在翻棒过程中硅棒不得与其他物品发生碰撞，防止造成人为的损耗。 (1)脱胶槽水温控制在505C,温度过高会造岀花斑片，温度太低胶水脱不下(2)脱胶时间应控制在8-10分钟，使硅片自然倾倒不允许将硅片推到，防止倾倒造成崩边和碎片 (3)取少量在脱胶台上进行脱胶，必须严格控制时间，否则时间过长会导致花片 (4)拿硅片时保持力度适中，否则会导致碎片，脱胶时必须把粘胶而倒角及侧而清理干净，防止有胶残留。(5)各取出头.中.尾各25片单独放，接着逐一取出剩余硅片，完全浸泡在周转箱中。c

3、n作业前戴好干净的乳胶手套，系好防水围裙。核对随工单(2) 在取片的时候，必须确保每张随工单与预清洗出片时的顺序相对应。(3) 检查晶片盒，将变形或者破损的晶片盒挑选出来，作好禁用标示(4) 打开循环水小水槽水位开关调节，要确保小水槽水位到达溢流岀口。将小水槽进水开关调至约1/4开启状态。 控制溢流水流量不能太大。(5) 脱好胶的硅片可从周转车转移至机器槽内暂放区，注意粘胶面朝上放置，每次取片30片左右， 且需要注意取片时粘胶面正对着身体。如硅片较脏、不易拉开，需复冲洗。、向滑台内一片一片轻放硅片，硅片在水流带动下滑入晶片盒；在硅片经过感应器后，显片盒 架自动上升一格，仪表计数一次。插完第一个

4、扉片盒的第24片时，报警器提示这盒即将插满, 插完第25片时暂停插片，待固定升降架自动升到第2个晶片盒时再进行插排片，直到第3个晶 片盒插满硅片。（避免碰到两边滑条，每盒插至最后一张硅片后，需待报警解除后再插片）注意事项:1、插片机暂停工作时，请及时关闭进水阀及相关电源；2、发生异常或机器故障时可及时按“急停开关”停止作业;3、非指定人员，请勿擅自更改工艺或设置；4、当出现水流量明显减少时，应及时停机清理水过滤器； 清理过滤器时应在停机状态下进行；5、随时保持工作场所的清洁，做好5S；（1）检查插片机、清洗机、甩干机、水、电、气是否正常运行（2）1号槽氢氟酸加入1000ml, 4. 5号槽分别

5、加入清洗剂3kg（3）温度控制在50C5C, 4号、5号.9号槽需要加热，2号、3号、6号槽使用自来水，9号槽使用纯净水，必须保持水面无泡潔（4）2号-9号as需打开超声波开关（5）将插好的硅片放到机器上进行清洗，每盒25片，6盒装一篮（6）打开电源开关，（黄色指示灯手动状态下）按复位键，将两只机械手复位至原点，（有红色感应灯显示）将开关调至自动 状态（绿色指示灯状态）。按启动键即进入生产运行状态。注意:事项1、6号清洗槽必须保持为空槽（两只机械手交接的地方）2、裝片询要检查提篮是否有破损，防止因提篮破损造成汗蓝将硅片盒对称放入甩干机，如不对称则会造成剧烈抖动，使硅7T破损縄疵蛊般后关闭缸盖甩

6、干时间控制在4分钟左右加热温度即C5G吹气、喷淋开始运行，无紧急情况下(3)、甩干后的硅片山甩干机内取出，整齐的排列在桌面上，必须保证同一晶体的硅片放在一起，严禁混放(4)、做好送检记录表，并有检片人员确认送检数量、注意事项：1、片盒分布对称，且不能晃动2、禁止甩干机未蜂鸣手动停止，开门取片3、手套有水禁止接触片盒4、不同品棒编号有明显界限一、填空（每题1分，共30分）1、预清洗冲洗槽水压范围在、冲洗时间范围O2、要保持硅片表而 ,禁止将硅片长时间置于 o3、脱胶前必须核对晶棒的是否与一致。4、物料的进出必须遵循的原则。5、脱胶时每次除胶要将清理干净，拿片宜在之间。6、接班后必须对设备的，,

7、进行点检。7、插片时，粘胶而方向应该是、每次拿片小于o8、清洗过程中产生脏污片的主要因素为、 等。9、给设备加、换药剂时，必须穿戴、 等防护用品。10、当设备出现异常时，应及时按下并上报c11、插片机划台水流过大会o12、6S是的内容为、1、脱胶时，是否需要戴上防护手套？（）A.不需要 B.需要 C.无所谓 D.有就戴没有就不戴2、防治污染的发生，清除垃圾和赃物是6S中的（）A清扫B清洁C整理D安全3、清洗机的药剂槽加入的药剂是（）A.清洗剂B.乳酸 C.氢氣酸D.草酸4、清洗机总共有几个漂洗槽（）A. 5个B. 4个C. 6个D. 7个5、当机器出现异常时，应（）A.及时通知班长B.自己解决

8、C.找同事D.装作不知道6、下列哪些不良品一定不会由清洗区引起（）A.线痕 B.崩边缺角 C.超厚 D.脏片 E. TTV转运脱胶后的硅片时，在硅片周转箱底及侧壁粘附海绵是为了（）A.将硅片放入盒中时起减振作用B.将盒底垫高，便于硅片的摆放C.防止硅片与硅片周转箱直接接触产生崩边缺角D.减小推车时振动或晃动对硅片的影响8、清洗过程中发生异常，该如何处理（）A.找班长处理B.按下急停开关按键C.将界面自动模式点击至手动模式D.不管它，继续洗9、预清洗过程中脱胶不完全容易对硅片产生（）A.崩边 B.缺角 C.硅落 D.隐裂 E.线痕10、为防止硅片二次污染，对清洗送检员工要求佩戴（）A.防尘帽 B. 口罩 C.手套 D.防尘服E围裙三、判断（每题1. 5分，共10分）1、水温会影响硅片的质量。（）质量问题。2、由于现场硅片积压，药剂更换时间可以先延后。（）3、线痕片原本就不好插，插碎多少跟我毫无关系，是片子 （ ）4、插片机周转槽是等到下班和设备一起打扫的。（）5、清洗机各槽内的碎片对清洗效果有影响。（）6、片盒摆放时总是来回拉片盒，多放几层就可以少跑几趟了7、硅片无论哪个面朝上都可以。（）8、烘干后的硅片可以用手触摸。（）9、送检时必须带好口罩防止唾液飘落在硅片上。（）10、破损、残缺的硅片可以倒插在片盒中送入分选。（四、简答题（共30分）1、硅片常见的几种