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会计学1电容屏生产电容屏生产 流程流程第1页/共18页第2页/共18页第3页/共18页自感应电容触摸屏结构互感应电容触摸屏结构第4页/共18页基板ITO镀膜金属镀膜Sputter原理图Remark：金属镀在锡面第5页/共18页基板上光阻曝光显影Mask光阻蚀刻去光阻ITO蚀刻-单面制程ITO第6页/共18页基板上光阻曝光 显影(搭桥)上光阻曝光金属蚀刻-单面制程镀金属层显影蚀刻去光阻搭桥所用光阻为负光阻，ITO&金属蚀刻使用正光阻第7页/共18页ITO绝缘材料金属第8页/共18页基板上光阻曝光显影Mask光阻蚀刻去光阻金属蚀刻-双面制程(Metal First)金属ITO第9页/共18页基板上光阻曝光显影蚀刻去光阻金属面ITO蚀刻-双面制程第10页/共18页基板上光阻曝光显影蚀刻去光阻非金属面ITO蚀刻-双面制程第11页/共18页金属面ITO金属非金属面ITO第12页/共18页网印可剥胶镀SiO2不镀SiO2第13页/共18页切割功能测试第14页/共18页ICSensorACF贴合FPC贴合功能测试第15页/共18页IC贴光学胶贴盖板加压脱泡ICICI

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