毕业设计（论文）传感器技术在机电一体化中的应用

1、目 录摘要1引 言2第1章 传感器的基础知识31.1传感器的基本概念31.1.1传感器的概念31.1.2传感器的定义31.2传感器的特性31.2.1传感器特性31.2.2传感器的静态特性参数指标41.3 选择传感器时的要素41.3.1 灵敏度51.3.2响应特性51.3.3 稳定性61.4传感器的分类7第2章 传感器在数控机床中的应用82.1 传感器在数控机床应用的领域82.2 数控机床中常用的传感器82.2.1位移检测及速度检测的光电编码器82.2.2位置检测的接近开关82.2.3压力的检测82.2.4温度的检测92.2.5流动的检测92.2.6液位的检测9第3章 传感器的发展趋势93.1传

2、感器技术概况93.2传感器技术今后的发展方向103.3传感器在机电一体化系统中的应用103.3.1机器人用传感器113.3.2机械加工过程的传感检测技术113.3.3汽车自动控制系统中的传感技术123.4今后国内传感器产业和市场发展前景12结 论14致 谢15参 考 文 献1616摘要介绍了传感器在机电一体化系统中的应用，并分析我国传感器技术发展的若干问题及发展方向。传感器技术作为信息技术的一脉正在越来越广泛地普及发展到我国的各行各业各个领域，以目前情况来看,我国从事传感器的生产与研究，共生产热敏、力敏、湿敏、色敏、磁敏、电压敏、离子敏、生物敏、射线敏等十一种功能的传感器。其中主要生产力传感器

3、、位移传感器、热(温度)传感器、化学量传感器、光敏传感器及生物传感器等，而力、位移、热三种传感器的比例较大。为使我国从劳动密集型向技术密集型转化，必须利用信息技术，即传感器技术和计算机技术，使传感器在工业自动化，农业国防军工，能源交通，家用电器等应用领域均有它的开发市场。在我国尤以湿敏元件和传感器的潜力最大。应用方面湿敏元件和湿度传感器广泛应用于气象测量与研究、航天航空、国防工程、食品，物质储备，建筑，生物工程，农业科研及家用电器等领域的湿度测量和湿度控制。关键词：传感器技术 传感器 技术密集型 信息技术引 言21世纪，人类全面进入信息电子化的时代。敏感元件及传感器是信息系统的关键基础元器件。

4、微电子和微机械加工等先进制造技术的使用，使传感器技术迅速发展。与传统的传感器相比，最新一代敏感元件及传感器的突出特征是数字化、智能化、阵列化、微小型化和微系统化。作为现代信息技术的三大核心技术之一的传感器技术，将是21世纪人们在高新技术发展方面争夺的一个制高点。因此我们必须重视传感器技术的发展，加快产业化的进程。在机电一体化系统中，传感器处系统之首，其作用相当于系统感受器官，能快速、精确地获取信息并能经受严酷环境考验，是机电一体化系统达到高水平的保证。如缺少这些传感器对系统状态和对信息精确而可靠的自动检测，系统的信息处理、控制决策等功能就无法谈及和实现。第1章 传感器的基础知识1.1传感器的基

5、本概念1.1.1传感器的概念 信息处理技术取得的进展以及微处理器和计算机技术的高速发展，都需要在传感器的开发方面有相应的进展。微处理器现在已经在测量和控制系统中得到了广泛的应用。随着这些系统能力的增强，作为信息采集系统的前端单元，传感器的作用越来越重要。传感器已成为自动化系统和机器人技术中的关键部件，作为系统中的一个结构组成，其重要性变得越来越明显。1.1.2传感器的定义最广义地来说，传感器是一种能把物理量或化学量转变成便于利用的电信号的器件。国际电工委员会(iec: international electrotechnical committee)的定义为：“传感器是测量系统中的一种前置部件

6、，它将输入变量转换成可供测量的信号”。按照gopel等的说法是：“传感器是包括承载体和电路连接的敏感元件”，而“传感器系统则是组合有某种信息处理(模拟或数字)能力的传感器”。传感器是传感器系统的一个组成部分，它是被测量信号输入的第一道关口。国家标准 gb7665-87 对传感器下的定义是： “ 能感受规定的被测量并按照一定的规律转换成可用信号的器件或装置，通常由敏感元件和转换元件组成 ” 。传感器是一种检测装置，能感受到被测量的信息，并能将检测感受到的信息，按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出，以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。它是实现自动检测和自动控制的首要环

7、节。1.2传感器的特性1.2.1传感器特性 传感器是指能感受规定的物理量，并按一定规律转换成可用输入信号的器件或装置。简单地说，传感器是把非电量转换成电量的装置。 传感器通常由敏感元件、转换元件和测量电路三部分组成。 （1）敏感元件是指能直接感受（或响应）被测量的部分，即将被测量通过传感器的敏感元件转换成与被测量有确定关系的非电量或其它量。 （2）转换元件则将上述非电量转换成电参量。 （3）测量电路的作用是将转换元件输入的电参量经过处理转换成电压、电流或频率等可测电量，以便进行显示、记录、控制和处理的部分。 1.2.2传感器的静态特性参数指标 （1）灵敏度 灵敏度是指稳态时传感器输出量和输入量

8、之比，或输出量的增量和输入量的增量之比，用表示为： yx （2）分辨力 传感器在规定的测量范围内能够检测出的被测量的最小变化量称为分辨力。 （3）测量范围和量程 在允许误差限内，被测量值的下限到上限之间的范围称为测量范围。 （4）线性度（非线性误差） 在规定条件下，传感器校准曲线与拟合直线间的最大偏差与满量程输出值的百分比称为线性度或非线性误差。 （5）迟滞 迟滞是指在相同的工作条件下，传感器的正行程特性与反行程特性的不一致程度。 （6）重复性 重复性是指在同一工作条件下，输入量按同一方向在全测量范围内连续变化多次所得特性曲线的不一致性。 （7）零漂和温漂 传感器在无输入或输入为另一值时，每隔

9、一定时间，其输入值偏离原示值的最大偏差与满量程的百分比为零漂。而温度每升高1，传感器输出值的最大偏差与满量程的百分比，称为温漂。1.3 选择传感器时的要素选择传感器主要考虑灵敏度、响应特性、线性范围、稳定性、精确度、测量方式等六个方面的问题。1.3.1 灵敏度一般说来，传感器灵敏度越高越好，因为灵敏度越高，就意味着传感器所能感知的变化量小，即只要被测量有一微小变化，传感器就有较大的输出。但是，在确定灵敏度时，要考虑以下几个问题：其一，当传感器的灵敏度很高时，那些与被测信号无关的外界噪声也会同时被检测到，并通过传感器输出，从而干扰被测信号。因此，为了既能使传感器检测到有用的微小信号;又能使噪声干

10、扰小，要求传感器的信噪比愈大愈好。也就是说，要求传感器本身的噪声小，而且不易从外界引进干扰噪声。其二，与灵敏度紧密相关的是量程范围。当传感器的线性工作范围一定时，传感器的灵敏度越高，干扰噪声越大，则难以保证传感器的输入在线性区域内工作。不言而喻，过高的灵敏度会影响其适用的测量范围。其三，当被测量是一个向量时，并且是一个单向量时，就要求传感器单向灵敏度愈高愈好，而横向灵敏度愈小愈好;如果被测量是二维或三维的向量，那么还应要求传感器的交叉灵敏度愈小愈好。 1.3.2响应特性传感器的响应特性是指在所测频率范围内，保持不失真的测量条件。此外，实际上传感器的响应总不可避免地有一定延迟，但总希望延迟的时间

11、越短越好。一般物性型传感器(如利用光电效应、压电效应等传感器)响应时间短，工作频率宽;而结构型传感器，如电感、电容、磁电等传感器，由于受到结构特性的影响机械系统惯性质量的限制，其固有频率低，工作频率范围窄。任何传感器都有一定的线性工作范围。在线性范围内输出与输入成比例关系，线性范围愈宽，则表明传感器的工作量程愈大。传感器工作在线性区域内，是保证测量精度的基本条件。例如，机械式传感器中的测力弹性元件，其材料的弹性极限是决定测力量程的基本因素，当超出测力元件允许的弹性范围时，将产生非线性误差。然而，对任何传感器，保证其绝对工作在线性区域内是不容易的。在某些情况下，在许可限度内，也可以取其近似线性区

12、域。例如，变间隙型的电容、电感式传感器，其工作区均选在初始间隙附近。而且必须考虑被测量变化范围，令其非线性误差在允许限度以内。1.3.3 稳定性 稳定性是表示传感器经过长期使用以后，其输出特性不发生变化的性能。影响传感器稳定性的因素是时间与环境。为了保证稳定性，在选择传感器时，一般应注意两个问题。其一，根据环境条件选择传感器。例如，选择电阻应变式传感器时，应考虑到湿度会影响其绝缘性，湿度会产生零漂，长期使用会产生蠕动现象等。又如，对变极距型电容式传感器，因环境湿度的影响或油剂浸人间隙时，会改变电容器的介质。光电传感器的感光表面有尘埃或水汽时，会改变感光性质。其二，要创造或保持一个良好的环境，在

13、要求传感器长期地工作而不需经常地更换或校准的情况下，应对传感器的稳定性有严格的要求。传感器的精确度是表示传感器的输出与被测量的对应程度。如前所述，传感器处于测试系统的输入端，因此，传感器能否真实地反映被测量，对整个测试系统具有直接的影响。 然而，在实际中也并非要求传感器的精确度愈高愈好，这还需要考虑到测量目的，同时还需要考虑到经济性。因为传感器的精度越高，其价格就越昂贵，所以应从实际出发来选择传感器。 在选择时，首先应了解测试目的，判断是定性分析还是定量分析。如果是相对比较性的试验研究，只需获得相对比较值即可，那么应要求传感器的重复精度高，而不要求测试的绝对量值准确。如果是定量分析，那么必须获

14、得精确量值。但在某些情况下，要求传感器的精确度愈高愈好。例如，对现代超精密切削机床，测量其运动部件的定位精度，主轴的回转运动误差、振动及热形变等时，往往要求它们的测量精确度在0.10.01m范围内，欲测得这样的精确量值，必须有高精确度的传感器。传感器在实际条件下的工作方式，也是选择传感器时应考虑的重要因素。例如，接触与非接触测量、破坏与非破坏性测量、在线与非在线测量等，条件不同，对测量方式的要求亦不同。 在机械系统中，对运动部件的被测参数(例如回转轴的误差、振动、扭力矩)，往往采用非接触测量方式。因为对运动部件采用接触测量时，有许多实际困难，诸如测量头的磨损、接触状态的变动、信号的采集等问题，

15、都不易妥善解决，容易造成测量误差。这种情况下采用电容式、涡流式、光电式等非接触式传感器很方便，若选用电阻应变片，则需配以遥测应变仪。 在某些条件下，可以运用试件进行模拟实验，这时可进行破坏性检验。然而有时无法用试件模拟，因被测对象本身就是产品或构件，这时宜采用非破坏性检验方法。例如，涡流探伤、超声波探伤、核辐射探伤以及声发射检测等。非破坏性检验可以直接获得经济效益，因此应尽可能选用非破坏性检测方法.在线测试是与实际情况保持一致的测试方法。特别是对自动化过程的控制与检测系统，往往要求信号真实与可靠，必须在现场条件下才能达到检测要求。实现在线检测是比较困难的，对传感器与测试系统都有一定的特殊要求。

16、例如，在加工过程中，实现表面粗糙度的检测，以往的光切法、千涉法、触针法等都无法运用，取而代之的是激光、光纤或图像检测法。研制在线检测的新型传感器，也是当前测试技术发展的一个方面。除了以上选用传感器时应充分考虑的一些因素外，还应尽可能兼顾结构简单、体积小。重量轻、价格便宜、易于维修、易于更换等条件。1.4传感器的分类按电源型式分： 无源传感器、有源传感器。 按输出型式分： 数字式传感器、模拟式传感器。 按传感基理分： 结构型传感器、物型传感器、复合型传感器。按测量原理分： 电位器式传感器、电容式传感器、电化学式传感器、霍耳式传感器、激光传感器、谐振式传感器、伺服式传感器。电阻式传感器 声表面波传

17、感器、差动变压器式传感器。 电磁式传感器 磁阻式传感器、压电式传感器。 电感式传感器 （核）辐射传感器、光纤传感器。电离式传感器 光导式传感器、光伏式传感器、压阻式传感器。 按被测量分类：物理量传感器、温度传感器、热流传感器、辐射式温度传感器、电流传感器、射线传感器、差压式传感器、热学量传感器、液晶温度传感器、化学量传感器、力传感器、浓度传感器、速度传感器等。 第2章 传感器在数控机床中的应用2.1 传感器在数控机床应用的领域传感器作为数控机床上的重要电器组件，广泛的应用各类传感器使得机床成就了其高度的自动化和高精度。传感器是一种能够感应规定的被检测量，并且按照着一定的规律转换成可用输出信号的

18、器件或者装置，其输入信号（即被检测量）为非电量，而输出信号往往是我们更加易于处理的电量。在一台数控机床上面用到了大量的各类传感器：接近开关，压力传感器，温度传感器，液位传感器，速度传感器等类型的传感器，主要用来检测位置，压力、温度和流动。2.2 数控机床中常用的传感器2.2.1位移检测及速度检测的光电编码器光点编码器也叫脉冲编码器，它可以将机械转角转换成为电脉冲，在机床上面x轴和z轴的端部配有光电编码器，用于角位移的测量以及数字测速，角位移能够通过丝杠螺距间接的反映拖板或刀架的直线位移；光电编码器在经过一定的角位移的时候变会产生一个脉冲，配合定时器就可以检测出角速度，在速控机床中一般用于数控系

19、统伺服单元的速度检测。2.2.2位置检测的接近开关接近开关顾名思义就是当物体靠近的时候就会有信号输出的开关，它不需要和被检测物体进行直接的接触，伊玛的接近开关在机床上的主要应用在刀架的选刀控制，工作台的行程控制，油缸及汽缸的活塞行程控制。2.2.3压力的检测压力传感器是一种将压力转换为电信号的传感器，并且伊玛的智能型压力传感器具有多组可编程的输出信号，可以对输出信号类型进行全方位编程，其灵敏度高，重复精度高，稳定性极好，在机床上机器适应于对工件夹紧力进行监测，当夹紧力低于设定的值的时候会导致工件松动，系统发出报警，停止走刀；另外还可以检测车刀切削力的变化，再者，它在润滑系统，液压系统，气压系统

20、中用来检测油路或者气路中的压力，当油路或者气路的压力小于设定值的时候，其触电会动作然后把信号送到控制系统进行控制。2.2.4温度的检测伊玛温度传感器采用的是pt1000/pt100的热电阻测量元件，在机床上主要是用来监测温度从而进行温度补偿或者过热保护，机床在工作当中随着电机的转动以及移动部件的移动，切削会产生热量，然而温度的分布是不均匀的，将会造成一定的温差，使数控机床产生热变形，影响了加工零件的精度。为了避免这些影响，机床上都会安装温度传感器，它可以把它检测到的温度值即时的传给控制系统，也可以在设定的点达到的时候传递到控制系统来对机床的温度实行监视及控制。2.2.5流动的检测伊玛的流动传感

21、器对于流体（液体及气体）流动的检测更是具有自己的独到之处，今年伊玛获得德国if产品设计大奖的全新型智能型流动温度，此款一体式传感器完美地融合了温度以及流动检测的传感器，可以同时感应流动及温度两个物理量，并且输出为两个独立的信号，可以对两个输出进行单独分开设定，非常的适合在机床的液压系统，润滑系统和冷却装置上使用，用一个伊玛的温度流动一体式传感器就可以监测两个重要参数，可以节省开支，并且更加稳定。2.2.6液位的检测伊玛产品系列当中还有用于检测液位的传感器，包括音叉式液位传感器；浮子浮球式液位传感器；浮球式液位传感器；电容式液位传感器，其中小型音叉和浮子式的液位传感器是伊玛公司专门开发应用与较小

22、型的罐体的液位的检测，目前大量的应用在了小型罐体的煤油，润滑油，盐酸等等检测，在机床的润滑系统对于润滑油的液位检测非常的适宜。第3章 传感器的发展趋势3.1传感器技术概况传感器技术是实现自动控制、自动调节的关键环节，也是机电一体化系统不可缺少的关键技术之一，其水平高低在很大程度上影响和决定着系统的功能；其水平越高，系统的自动化程度就越高。在一套完整的机电一体化系统中，如果不能利用传感检测技术对被控对象的各项参数进行及时准确地检测出并转换成易于传送和处理的信号，我们所需要的用于系统控制的信息就无法获得，进而使整个系统就无法正常有效的工作。我国传感器的研究主要集中在专业研究所和大学，始于20世纪8

23、0年代，与国外先进技术相比，我们还有较大差距。主要表现在：（1）先进的计算、模拟和设计方法；（2）先进的微机械加工技术与设备；（3）先进的封装技术与设备；（4）可靠性技术研究等方面。因此，必须加强技术研究和引进先进设备，以提高整体水平。3.2传感器技术今后的发展方向（1）加速开发新型敏感材料：通过微电子、光电子、生物化学、信息处理等各种学科，各种新技术的互相渗透和综合利用，可望研制出一批基于新型敏感材料的先进传感器。（2）向高精度发展：研制出灵敏度高、精确度高、响应速度快、互换性好的新型传感器以确保生产自动化的可靠性。（3）向微型化发展：通过发展新的材料及加工技术实现传感器微型化将是近十年研究

24、的热点。（4）向微功耗及无源化发展：传感器一般都是非电量向电量的转化，工作时离不开电源，开发微功耗的传感器及无源传感器是必然的发展方向。（5）向智能化数字化发展：随着现代化的发展，传感器的功能已突破传统的功能，其输出不再是一个单一的模拟信号（如0-10mv），而是经过微电脑处理好后的数字信号，有点甚至带有控制功能，即智能传感器。3.3传感器在机电一体化系统中的应用传感器是左右机电一体化系统（或产品）发展的重要技术之一，广泛应用于各种自动化产品之中：3.3.1机器人用传感器工业机器人之所以能够准确操作，是因为它能够通过各种传感器来准确感知自身、操作对象及作业环境的状态，包括：其自身状态信息的获取

25、通过内部传感器（位置、位移、速度、加速度等）来完成，操作对象与外部环境的感知通过外部传感器来实现，这个过程非常重要，足以为机器人控制提供反馈信息。3.3.2机械加工过程的传感检测技术（1）切削过程和机床运行过程的传感技术。切削过程传感检测的目的在于优化切削过程的生产率、制造成本或（金属）材料的切除率等。切削过程传感检测的目标有切削过程的切削力及其变化、切削过程颤震、刀具与工件的接触和切削时切屑的状态及切削过程辨识等，而最重要的传感参数有切削力、切削过程振动、切削过程声发射、切削过程电机的功率等。对于机床的运行来讲，主要的传感检测目标有驱动系统、轴承与回转系统、温度的监测与控制及安全性等，其传感

26、参数有机床的故障停机时间、被加工件的表面粗糙度和加工精度、功率、机床状态与冷却润滑液的流量等。（2）工件的过程传感。与刀具和机床的过程监视技术相比，工件的过程监视是研究和应用最早、最多的。它们多数以工件加工质量控制为目标。20世纪80年代以来，工件识别和工件安装位姿监视要求也提到日程上来。粗略地讲，工序识别是为辨识所执行的加工工序是否是工（零）件加工要求的工序；工件识别是辨识送入机床待加工的工件或者毛坯是否是要求加工的工件或毛坯，同时还要求辨识工件安装的位姿是否是工艺规程要求的位姿。此外，还可以利用工件识别和工件安装监视传感待加工毛坯或工件的加工裕量和表面缺陷。完成这些识别与监视将采用或开发许

27、多传感器，如基于tv或ccd的机器视觉传感器、激光表面粗糙度传感系统等。（3）刀具切削与磨削过程是重要的材料切除过程。刀具与砂轮磨损到一定限度（按磨钝标准判定）或出现破损（破损、崩刃、烧伤、塑变或卷刀的总称），使它们失去切削能力或无法保证加工精度和加工表面完整性时，称为刀具/砂轮失效。工业统计证明，刀具失效是引起机床故障停机的首要因素，由其引起的停机时间占nc类机床的总停机时间的1/5-1/3.此外，它还可能引发设备或人身安全事故，甚至是重大事故。3.3.3汽车自动控制系统中的传感技术随着传感器技术和其它新技术的应用，现代化汽车工业进入了全新时期。汽车的机电一体化要求用自动控制系统取代纯机械式

28、控制部件，这不仅体现在发动机上，为更全面地改善汽车性能，增加人性化服务功能，降低油耗，减少排气污染，提高行驶安全性、可靠性、操作方便和舒适性，先进的检测和控制技术已扩大到汽车全身。在其所有重点控制系统中，必不可少地使用曲轴位置传感器、吸气及冷却水温度传感器、压力传感器、气敏传感器等各种传感器。3.4今后国内传感器产业和市场发展前景当前，我国传感器产业正处于由传统型向新型传感器发展的关键阶段，它体现了新型传感器向微型化、多功能化、数字化、智能化、系统化和网络化发展的总趋势。我国在传感器生产产业化过程中，应该兼顾引进国外技术和自主创新两方面。在引进国外先进技术中，可以提高自己的技术，同时也满足了国

29、内市场的需求，形成了传感器生产产业规模。归纳几点有：（1）加速形成从传感器研究开发到大生产一条龙产业化发展模式，走自主创新和国际合作相结合的跨越式发展道路，使我国尽早进入世界传感器的主要生产国之列。（2）传感器产品结构向全面、协调、持续性发展。根据市场需求，既要切实加强新型传感器的开发，又要做好传统传感器的质量升级和产量增长;产品品种向投资类倾斜，尤其是填补“空白”的品种，从而使传感器各门类和品种比例适当，形成一种“新旧交替、远近结合、品种齐全、满足需求”的新的产品结构。（3）企业生产(年生产能力)向规模经济或适宜规模经济发展。大生产技术的实践表明：规模经济出效益。考虑到今后先进生产技术的使用

30、和市场的扩大，量大面广的通用传感器的生产规模将以年产亿只计，一些中档传感器的生产规模将以年产1000万只计;而一些高档传感器和专用传感器的生产规模将以年产几十至几百万只计。实现规模经济生产后，可最大限度地降低生产成本，从而实现廉价传感器的商品化。（4）生产格局向专业化发展，专业化生产的内涵为：生产传感器门类少而精;专门生产某一应用领域需要的某一类传感器系列产品以获得较高的市场占有率;各传感器企业的专业化合作生产，能有效地避免企业内部的“大而全”，提高经济效益。（5）传感器大生产技术向自动化方向发展。传感器的门类、品种繁多，所用的敏感材料各异，决定了传感器制造技术的多样性和复杂性。纵观当前传感器

31、工艺线(含各类传感器引进线)的概况，生产技术水平不一，多数工艺已实现单机自动化，但距离生产过程自动化尚存在诸多困难，其中封装工艺和测试标定(两者的费用约占产品成本的30%50%)是传感器自动化大生产的关键技术，有待今后广泛采用cad(计算机辅助设计)、cam(计算机辅助制造)及先进的自动化装备和工业机器人进行突破。（6）企业的重点技术改造应加强从依赖引进技术向引进技术的消化吸收与自主创新的方向转移。自主创新应视为企业的立足之本。（7）企业经营要加快从以国内市场为主向国内与国外两个市场相结合的国际化方向发展。（8）企业结构将向“大、中、小并举”、“集团化、专业化生产共存”的格局发展。集团化大公司(含在境外的跨国集团公司)将越来越显示出它的垄断作用，而专业化生产的中、小企业因其能适应市场小量产品的需求，仍有其生存、发展的空间。结 论随着大规模集成电路、电子技术及信息处理技术的飞速发展，以微型计算机为中心的微电子学也不断地向人类社会各个领域扩展、渗透，极大地改变着社会的科技水平、生产方式、人们的生活和社会结构。尤其是有关设备日渐实现自动化、系统化和智能化，要求能够迅速、准确、灵敏地获取有关信息并