



下载本文档
版权说明:本文档由用户提供并上传,收益归属内容提供方,若内容存在侵权,请进行举报或认领
文档简介
1、-作者xxxx-日期xxxx多晶硅生产工艺流程07741【精品文档】多晶硅生产工艺流程(简介)-来自于网络收集多晶硅生产工艺流程,多晶硅最主要的工艺包括,三氯氢硅合成、四氯化硅的热氢化(有的采用氯氢化),精馏,还原,尾气回收,还有一些小的主项,制氢、氯化氢合成、废气废液的处理、硅棒的整理等等。主要反应包括:Si+HCl-SiHCl3+H2(三氯氢硅合成);SiCl4+H2-SiHCl3+HCl(热氢化);SiHCl3+H2-SiCl4+HCl+Si(还原)多晶硅是由硅纯度较低的冶金级硅提炼而来,由于各多晶硅生产工厂所用主辅原料不尽相同,因此生产工艺技术不同;进而对应的多晶硅产品技术经济指标、产
2、品质量指标、用途、产品检测方法、过程安全等方面也存在差异,各有技术特点和技术秘密,总的来说,目前国际上多晶硅生产主要的传统工艺有:改良西门子法、硅烷法和流化床法。改良西门子法是目前主流的生产方法,采用此方法生产的多晶硅约占多晶硅全球总产量的85。但这种提炼技术的核心工艺仅仅掌握在美、德、日等7家主要硅料厂商手中。这些公司的产品占全球多晶硅总产量的90%,它们形成的企业联盟实行技术封锁,严禁技术转让。短期内产业化技术垄断封锁的局面不会改变。西门子改良法生产工艺如下:这种方法的优点是节能降耗显著、成本低、质量好、采用综合利用技术,对环境不产生污染,具有明显的竞争优势。改良西门子工艺法生产多晶硅所用
3、设备主要有:氯化氢合成炉,三氯氢硅沸腾床加压合成炉,三氯氢硅水解凝胶处理系统,三氯氢硅粗馏、精馏塔提纯系统,硅芯炉,节电还原炉,磷检炉,硅棒切断机,腐蚀、清洗、干燥、包装系统装置,还原尾气干法回收装置;其他包括分析、检测仪器,控制仪表,热能转换站,压缩空气站,循环水站,变配电站,净化厂房等。(1)石英砂在电弧炉中冶炼提纯到98%并生成工业硅, 其化学反应SiO2+CSi+CO2(2)为了满足高纯度的需要,必须进一步提纯。把工业硅粉碎并用无水氯化氢(HCl)与之反应在一个流化床反应器中,生成拟溶解的三氯氢硅(SiHCl3)。 其化学反应Si+HClSiHCl3+H2 反应温度为300度,该反应是
4、放热的。同时形成气态混合物(2,1,Si13,SiC14,Si)。(3)第二步骤中产生的气态混合物还需要进一步提纯,需要分解:过滤硅粉,冷凝Si13,SiC14,而气态2,1返回到反应中或排放到大气中。然后分解冷凝物Si13,SiC14,净化三氯氢硅(多级精馏)。(4)净化后的三氯氢硅采用高温还原工艺,以高纯的SiHCl3在H2气氛中还原沉积而生成多晶硅。 其化学反应SiHCl3+H2Si+HCl。多晶硅的反应容器为密封的,用电加热硅池硅棒(直径5-10毫米,长度1.5-2米,数量80根),在1050-1100度在棒上生长多晶硅,直径可达到150-200毫米。这样大约三分之一的三氯氢硅发生反应,并生成多晶硅。剩余部分同2,1,Si13,SiC14从反应容器中分离。这些混合物进行低温分离
温馨提示
- 1. 本站所有资源如无特殊说明,都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
- 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等,如果需要附件,请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
- 3. 本站RAR压缩包中若带图纸,网页内容里面会有图纸预览,若没有图纸预览就没有图纸。
- 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
- 5. 人人文库网仅提供信息存储空间,仅对用户上传内容的表现方式做保护处理,对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑,并不能对任何下载内容负责。
- 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容,请与我们联系,我们立即纠正。
- 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。
最新文档
- 3D打印医疗设备创新-洞察阐释
- 网红绝对计划秦瑾舟
- 2024年宜昌市教育系统事业单位招聘真题
- 缙云县国有企业招聘笔试真题2024
- 通化医药健康职业学院《社会工作生涯指导》2023-2024学年第二学期期末试卷
- 汉口学院《工程结构荷载与可靠度设计原理》2023-2024学年第二学期期末试卷
- 东南大学《商务英语函电与合同》2023-2024学年第二学期期末试卷
- 陕西艺术职业学院《录音与编辑技术》2023-2024学年第二学期期末试卷
- 湖北生物科技职业学院《生物制药专业实验(下)》2023-2024学年第二学期期末试卷
- 伊春职业学院《主项理论与实践(五)》2023-2024学年第二学期期末试卷
- 预防接种门诊验收表4-副本
- 离心泵的结构与工作原理通用课件
- 焊接规范的基本要求
- 畜牧业的生物安全与疫情防控
- 国开电大可编程控制器应用实训形考任务5
- 关于皮肤科药物知识讲座
- 【小学心理健康教育分析国内外文献综述4100字】
- 办公室主任聘用合同
- 焊接施工流程图
- 阜阳混凝土框架结构高层住宅项目实体检验及材料送检专项方案
- 心内科用药安全管理课件
评论
0/150
提交评论