德国XONOX菲索型激光干涉仪原理与使用.

1、德国XONO菲索型激光干涉仪原理与使用第一章：为何使用干涉仪做检测1-1干涉度量学第一章 为什么要使用干涉仪检测首先我们要先了解， 什么是干涉度量学？ 所谓干涉度量学是指 利用光干涉的效应来量测特定物理量的方法 ，也就是说藉由观察干涉条纹的变化 ，来量测岀待 测物的特征1-2何谓干涉仪干涉仪是什么？ 一般来说，只要是利用光干涉的原理来量测的仪器便可以称为干涉仪，但是干涉仪的种类众多且多变化，因此本课程中将针对最为外界常用之种类作介绍1- 3干涉仪之优缺点干涉仪的优点及缺点第一高精度以光学组件来说，因为组件的微小变化均会严重改变原有的光学质量，因此必须要有非常精确的量测仪器，干涉仪具有精度非常高

2、的优点 ，最高可达1/100的波长甚至到1/1000的波长，波长是 指干涉仪中使用光源的波长值.举例来说：一般干涉仪的波长为632.8( nm ),而632.8的百分之一约为6个(nm),目前的奈米科技是在这个尺度，甚至有些更好的干涉仪可以到0.6个(nm ),从此可以看出干涉仪的精度有多好了第二章：非球面玻璃模造的原理第二.非接触式量测另一种量测用的轮廓仪是使用接触式的量测方式，即使目前已可以微调接触的力量，但对于表面较脆弱的被量测物是否真的完全不会造成损害则仍无法确定.而当用干涉仪量测时，是把光照射到被量测的物体上，所以干涉仪上的探针也就是光，并不会对物体表面照成任何伤害第三 使用探针来量

3、测时无法一次量测所有的面积，而可能必需分很多扫瞄线去量测，相对来说干涉仪的量测速度就非常快了，可能几秒钟就量完了 ，而不需要等待几个小时的时间.第四则是干涉仪的缺点，一个操作员在会使用干涉仪却不太清楚干涉仪的使用限制、条件及原 理的时候，可能会量测到不是他所要的东西，而且，因为干涉仪是用光线量测，在调整上也会花费多的时间，可能量测结果只要花几秒钟，但事前的调整却要花费几十分钟甚至数个小时vuMH*, fi jJlF jAjf-.耘山蕈ai究怖第二章：干涉仪工作原理2-1光干涉2-1.1为何光有干涉现象干涉仪工作原理我们是用干涉仪量测，所以先要了解什么是光干涉？为什么光有干涉现象 ？光的干涉现象

4、有二个原因，第一光像是波一样，具有波的特性，我们在丢一块小石子在池塘中，就会看到很多涟漪向外扩散传播，这就是波，而光就可以用波来描述.第二波的迭加原理，我们之所以能够看到 干涉条纹的明暗变化，就是因为迭加原理所造成的，这是二个造成光干涉现象的基本条件除此之外，偏振光的特性，是否同相位的特性也是造成光干涉现象的条件巫獺技衛顒麹2- 1-2由迭加原理说明干涉现象由迭加原理说明干涉现象：1. 破坏性干涉如上图所示，假设蓝色波的最高值与红色波的最低值在同一位置时，其相加数值为0,所以当蓝色及红色二个波一起岀现的时候，迭加起来就会变成中间的黑线，因为光具有波的特性，所以如果2个波长彼此正好相差一半的波长

5、时，也就是相位差 n时，画面就会呈现全亮或全暗而完全看不到条纹，以上图来看因为蓝色波的最高点到红色波的最高点距离相差n，此时我们就称做破坏性干涉2. 建设性干涉如下图所示，假设蓝色波与红色波的最高值在同一位置时，其相加数值就是 2,当蓝色波与红色波完全重迭在一起时，迭加起来就会变成较高的黑线，当我们肉眼看到时，黑线的最高点就会变亮，最低点则较暗，而会有明暗的线条变化，我们就称做建设性干涉当蓝色波与红色波的相加数值为02以内时，波长会较为平缓，就会产生灰阶的渐层条纹变化了.艘舉性干涉建設性干莎u O SLffiitr性丰涉 2_HK-lTiS.I.假虜牲干涉 0114*莎皿咖怦取#：151以工戏

6、M氐丞霊邑孟匣腔n乾到应!逼区)禺血趾龍中產I *-累額斗鞍壞性干涉趣護性干涉(D ；Wff4 K4H1 2 : flnAd outpol2-1-3干涉条纹之定量描述对建设性干涉而言，2个波的差异需满足公式差是指2个波的差异，当2道光从A点跑到:optical path(n*d)=m入 optical path是光程差,光程B点时，距离为d及d,因此有一道波跑了nd,另一也可以变成nd2.如果nd2为波长入的整数倍时，就道波跑了 nd那么2道光的差异为n(d-d),会有明暗的条纹变化，也就是建设性干涉而相反的当nd2刚好为二分之一波长的技术倍时便产生破坏性干涉条纹，公式为 :optical p

7、ath(n*d)=m 入/22-1-4双光束干涉之数学描述双光束干涉之数学描述：假设2道光做干涉，这两到光的光强度分别为11,12，那么当这两道光产生干涉时便符合上述的公式.其中:11+12为干涉条纹的 DC项,根号(1112)为干涉条纹的振幅大小，最后Cos(Delta)为相位项，其中Delta扁是前面所提到的光程差.所以当光程差变化时，可以知道干涉条纹也会随着变化課瞠內T2-2如何判断干涉条纹2-2-1干涉条纹种类那么我们如何判断干涉条纹？因为我们不是随时随地都可以方便的使用干涉仪并藉由计算机来分析，所以我们必须用肉眼来判断，这也是最快最方便的方式.干涉条纹的种类有 2种:第一个是等厚度干

8、涉条纹，在等厚度干涉条纹中明暗的条纹会呈现等间隔的情形，而且每个相邻的条纹代表相同的厚度间隔假设横线为标准面，斜线为一个斜率固定的待测面，当光线打过来的时候会产生折射现象，我们在第一个射入点做一条与标准面平行的虚线，在待测面会有光 a反射回去，在标准面时也会有光b反射回去从图可以看岀光线a及b所通过的路径是不同的，而当光程差恰为波长的整数倍时，就可以看到相同间隔的干涉条纹巫華技踊研盍院等厚艮干涉條仗等傾度干涉條紋t虎愼虹吐沪：h 干却KI爼瞎幡I Jkr jdLm*i 诂“斛flMfl單* *啊itt iT/?*T/ji I 川 fA|! taff. din hrAih i,-Rd玄 Frin

9、ges snd optical pth difference f OPD園為获鬥萍聘也閒腸胞Hl即里万牌册6用干步需血械审韶来分析J G色伺金習心心步第二个是等倾度干涉条纹，是由相同角度的光线所形成的干涉条纹，P1这一点有一个干涉条纹，它的来源是由4条实线所造成的，而这4条实线对这个物体表面来说，则是同一个角度的光所造成的，因为物体为圆形，所以会造成对称的效果.而4条虚线则是由另一个角度的光所造成的，并进而产生P2点的一个干涉条纹.因此由同样角度光线形成的干涉条纹我们就称为等倾度干涉条 纹,不过在实际的应用上，等厚度干涉条纹与等倾度干涉条纹是可能同时出现的2-2-2-1干涉条纹判断应用实例一干

10、涉条纹判断应用实例：应用一：表面平整性-如果我们想从干涉图了解物体表面的平整性好不好，可以在干涉图上画一个以中心为准的十字线，数数看从中心点起，在X方向上的条纹数及 丫方向上的条纹数量有几个，这个量在光学工厂中是最常使用的，当我们要求师父磨一个镜片时，就可以告知我们对表面平整性的需求，在X方向与丫方向上的误差范围容忍度是多少.从图上来看，X方向上有1个条纹，丫方向上则有3个条纹，也就是说，这个待测的组件，在X方 向与丫方向上的变化程度不一样，这个变化程度就定义为表面平整性Surface irregularity 同时差异量最大的地方我们定义为：POWER,也就是丫方向的3,而irregular

11、ity是看X方向与丫方向上的差异量，也就是2,所以从上图的干涉条纹我们可以知道待测物的Power为3、irregularity为2那到底什么是 POWER, 什么是irregularity ?假设我们看的组件是眼镜的镜片，从侧面看，当有光打过来时镜片会聚焦，不同的弯曲量聚焦的程度就会不一样，我们称为放大率,而面的弯曲程度就定义为POWER.而在镜片上的 X方向与丫方向的弯曲程度会可能不同 ，也就是说POWER不一样，我们就称为Surface irregularity, 现在我们已经知道这个干涉图条纹的表示为3/2,那么这个数字是代表多少？他的单位就是波长一般的雷射为632.8()波长,3/2的

12、3是指3个波长，2是指2个波长，在光学组件的计算之中通 常是以波长来表示的.2-2-2-2干涉条纹判断应用实例一在前面提到在干涉仪量测中多用波长作为单位所以我们还要注意到使用的干涉仪波长是多少 假设同一镜片，由A厂商使用入=500的干涉仪，判读数据为3/2, B厂商使用入=600的干涉仪，判 读数据也是3/2,那么使用50 0入干涉仪的A厂商所判读的数据必定是较好的，因为波长愈短的， 转换为数据时也会相对较小，所以除了判读干涉图的数据之外，还要注意干涉所使用的波长是 否和要求相符才能得到最正确的结果2-2-2-3干涉条纹判断应用实例一接下来的例子，我们要看的一样是POWER和irregular

13、ity我们可以从图 A来判读POWER和irregularity 是多少？加上十字坐标之后，X方向上有2.5个条纹，丫方向上则有1.5个条纹，所以这个镜片的最大弯曲量是2.5, X与丫的差距量是1,但是这个干涉图的结果却不是2.5/1当X方向与丫方向待测面的弯曲方向相同时 ,irregularity为2者相减，但X方向与丫方向待测面 的弯曲方向不同时,irregularity则为两者相加.当X方向与丫方向待测面的弯曲方向相同时，POWER取最大值，但X方向与丫方向待测面的弯曲方向不同时，POWER 相减.所以从这个图来判读的irregularity为1.5+2.5=4, X方向与丫方向可以视为

14、同一个面，所以POWER是2.5-1.5=1,因此，我们必须先知道所量测的是什么物体，否则所求得的数据也有可能是错误的.2-2-2-4干涉条纹判断应用实例一接下来我们来看看几种常见的干涉条纹:我们要注意的一件事是，在这些图中的干涉条纹都是由待测物和一个标准平面比较所造成的，一旦比较条纹变了 ，所造成的条纹也会全部改变 ，而且相对应的状况也会完全不同.左侧Without tilt为：当没有倾斜效应进来的时候 ，不同的待测面所产生的条纹变化右侧With tilt则是：当倾斜效应进来的时候，不同的待测面所产生的条纹变化当待测面为为平面时1或是2, Without tilt 会看不到条纹当待测面为弯曲

15、面 3时，Without tilt会呈现边缘较密，间距不等的同心圆条纹当待测面是球面4时，Without tilt则会呈现间距较为相等的同心圆条纹假设标准面为平面，3的待测物形状可能为双曲线或椭球，所以厚度变化较为剧烈，4的待测物则可能为球面或接近球面的形状，所以在做干涉仪量测，想判断干涉条纹的形状时，必须先了解待测物体的形状，或者是由干涉条纹的形状，来判断待测物体2-2-2-5干涉条纹判断应用实例二因为干涉条纹会随着参考面的不同而不同，所以当我想知道待测面的形状时，就必须先知道标准面的形状是什么？ 现在我们以同一形状的待测物-凸透镜为例当待测物为一个球面，而参考面为一标准平面时，其干涉条纹可

16、能为一同心圆分布，但若参考面改为标准曲率之球面时，其干涉条纹则可能成为直线分布，发生同一待侧面却有不同干涉条纹分布的原因，在于干涉条纹所看到的是待侧面与参考面之间的差异，因此，如果要判断哪一个干涉条纹的待测物是球面，就必须先了解，量测时所参考的参考是什么？才能正确藉由干涉条纹判断岀待测之面形第三章：干涉仪种类3- 1 Newt on In terferometer干涉仪的种类非常的多，在这里所介绍的是五种最常见的干涉仪.第1个是Newt on In terferometer牛顿干涉仪左边的 Quasimonochromatic point source是一个几近单波长的点光源,Quasimon

17、ochromatic为单波长的意思，point source 是点光源.点光源经过透镜变成平行光后，打到下方椭圆形待测物上，这个待测物可能为透镜之类的物体 待测物下方的平面 Optical flat则是参考面，通常做为参考面的平整度，也就是Surfaceirregularity,必须要1/10入以上，分母愈大就表示其平整度愈好.3-2 Michels on In terferometer第2个是麦克森干涉仪Michelson Interferometer.当麦克森干涉仪和牛顿干涉仪做比较时，会发现它并不是一个点光源，光源有些散开，光线在经过第一块镜片之后透过中间的分光镜O,使得一部份的光反射到

18、反射镜M2再反射回分光镜 O,而一部份的光则穿透补偿片C,到达反射镜 M1之后才反射回分光镜0合成同一道光，并且将结果打到D(Detector)上,因此我们就可以在Detector上看到一圈一圈的条纹，也就是干涉图 A 了.所以麦克森干涉仪通常用来量测距离的变化当我们要量测距离时，只要先量测出原来的干涉条纹A之后，再将反射镜M2往后移，量测岀干涉条纹 B,然后就可以从条纹 AB的变化算岀距离了.3-3 Fizeau In terferometer （一）第3个是斐洛干涉仪 Fizeau Interferometer是目前一般最常见的干涉仪，也是架构最简单，量测最方便的一种.左上方的laser

19、becm 雷射光源，雷射光源是非常好的单波长光源，经过中间的几道程序之后，在经过Reference flat 参考面时，部份光被反射，部份光则穿透至flat under fest待测面上后再反射回去，因此我们看到的结 果是参考面与待测面的差异，当参考面不同时，所测岀的待测面条纹也会不同.这种干涉仪的缺 点是：容易受风向、震动、与空气变化等的外力影响，必须放在密闭室内的防震桌上，才能清楚看到干涉条纹，所以又称为非共路径干涉仪.3-3 Fizeau In terferometer （二）Fizeau In terferometer这2种是由2家有名的仪器公司制造的斐洛干涉仪左图是ZYGO公司所制造

20、的斐洛干涉仪 ，而右图则是VEECO公司的斐洛干涉仪，一般光学公司在采购较好的干涉仪设备时，通常是以这2家裴洛干涉AtFizeau IntCfferometerZYGOUS）的G託耐干W制倉閱的干裁公司的仪器为采购标准靶用N-VEJC3 ilBMOF-zeau 干注堺Q LI I , I I I I lil W H W M ?3-4 Mach-Zeh nder In terferometer第4个是 Mach-Zehnder 干涉仪左下方的光源Exte nded source,为一与麦克森干涉仪相似的扩展光源，光源经过第一个Beam-splitter之后分为二道，各别经过一片 Mirror反射

21、镜，再经过第二个Beam-splitter合成一 道光之后，将结果打到Detector上.因为中间分为二道光源的关系，在空间及距离上可以做较大的调整，所以比较适合量测体积大或穿透性大的物体，例如：我们可以用来量测大面积的玻璃.将待测物放在路径上的第一个Beam-splitter与Mirror反射镜之间，我们就可以看到路径A、路径B与待测物之间的差异.这也是一个非共路径干涉仪，它的缺点是：容易受空气变化等的外力影响,优点是：可以量测体积或面积较大的物体3-6 Twyma n-Gree n In terferometer第5个是Twyman-Green 干涉仪Twyman-Green 干涉仪和麦克

22、森干涉仪很相似 .当一道光源进来，经过BEAM EXPANDER 将光 源变得比较大束后，经由中间的BEAMSPLITTER 分为二道光，反射回来之后再回到侦测器 ，上 每种干涉仪都有各自不同的应用范围、方向和限制第四章：实际检测方法4-1可应用范围干涉仪可以应用的范围:1.是表面的形状2.是曲率测试3.是表面平整度或表粗糙度4.可以量测玻璃二侧的面是否够平整5.角度测试，有些光学组件是有角度的，可藉此量测其准度6.应力测试，例如眼镜或相机镜头，当必须以其它对象夹住玻璃时，可以测试该玻璃的变形量.4-2干涉仪应用于液晶投影机组件检验那么干涉仪到底应用在那些液晶投影机组件的检验：例如:X-cub

23、e是液晶投影机中把 RGB三个色光合在一起的重要组件，我们有几种检测它的方式第1是量测表面平整性：我们使用的是 WYKO 6000的斐洛干涉仪，仪器的前面标准参考面，光源由参考面打到待测物的 第一个面时会反射，我们看到的是它的差异度 ，也因此可以量测岀待测面的表面平整度 .并由计 算机直接判读岀正确的数据结果.如果我们拿一张不透光的白纸遮住其中一边的光，那么被遮住的部份就不会再有光从下方岀现，而只显示岀一部份的反射条纹.第2是量测内反射面的平整度：光源由参考面打到待测物的第一个面时会反射，但是也可以打进待测物里面，经由反射的过程再反射回参考面，也就是就，使用同一个架构可以量测到物体的二面，那么

24、要知道我们量测的到底是哪一个面？如果我们拿一张不透光的白纸遮住其中一边的光，那么被遮住的部份就不会再有光从下方岀现，但会显示岀没被遮住的部份反射条纹，那么所测得的就是表面平整度.而内反射的光源是由上方打入待测物中，再经由反射从下方岀来，所以如果我们拿一张不透光的白纸遮 住上方的光，那么就不会再有光从下方岀现，这样就能得知目前所量测的是内反射面平整度了.第3是量测内反射面的角度误差这是X-cube的侧面图，理论上都会尽量要求达到接近90度，所以我们也可以用干涉仪来量测内反射面的角度误差第4量测穿透波面的平整度：光在投影机中必须是穿透的，如果X-cube有一些瑕疵的话，显示岀来的影像就会不漂亮，所

25、以就必须量测其穿透波的平整度.当光源从上方打岀来，透过待测物打到标准反射镜片时，再反射回去，如果待测物的放置位置是平整的，那么每一道光都会循原来的途径反射回去，可能会分不清楚到底是哪一个面所产生的干涉条纹.这时可以调整待测物平台的倾斜度，使部份光不会进到干涉仪中，那么就可以很清楚的看到干涉条纹了.T淨縫書禺於谕品投Ik出亓火恋賽面平整展測-內反制IS甲整蛋“內反射匱倚股誤远-液均勻贋o ifti孑丧你nuw代咼输平芒你曲应号刊TtS的光半厦為干T H- -宵帯UST踏t利Hl廐甫画破I绅元啊黃剧平整翌测課 18!lii-r”b1a Tkjrr ?4ZJ內反俐豪单靈18豹密逼力匀展內反嗣AB角金

26、誤主* 苗理鬥期可草.到国砂：讪口之中EE朋匱所啊t的审潭 咖u已W X石匸7Aperture:In television optics, it is the effective diameter of the lens that controls the amount of light reachi ng the photoc on ductive or photo emitt ing image pickup sen sorANSI Lume ns:ANSI stands for American National Standards Institute. It is a standard

27、 for measuring light output. Different lamps play a role on light output. Haloge n lamps appear dimmer tha n ano ther metal-halide, even if the two units have the same ANSI lumen rating. Type of LCD technology (active matrix TFT, Poly-Si, passive), type of overall technology (LCD vs. DLP vs. CRT), c

28、ontrast ratios, among other factors can also affect the end result.ASAP原名为 Advanced System Analysis Program，为美国 BRO (Breault Research Organization)公司研发的一套专业光学仿真软件， 它可以帮助使用者仿真真实之光学系统，以达到最实际之光学分析结果Dichroic:A mirror or lens that reflects or refracts selective wavelengths of light. Typically used in pro

29、jector light engines to separate the lamps white light into red, green, and blue lightDigital Light Processing (DLP):The commercial name for this technology from Texas Instruments (TI):F-number (f/#)f/# is the ratio of the effictive focal length of an optical system to its clear aperture. For exampl

30、e, a 50mm effictive focal length lens system with a clear aperture of 25mm is f/2.Focal Length (FL)Regarding optical elements and systems: effective focal length (EFL) - Distance from the principle plane to the focal point; front focal length (FFL) - Distance from the vertex of the first lens to the front (left) focal point; back focal length (BFL) -