毕业论文查重样本

1、毕业论文查重样本文本复制检测报告单检测文献正文作者 槿澜检测日期2010-03-24字数27146检测类型文本复制检测范围总重合字数6801总文字复制比25%总段落数3疑似段落数3前部重复字数2456后部重复字数4345疑似段落最大重复字数3047疑似段落最小重复字数1315段落标题正文-段落1重合文字来源磁悬浮平台承载特性研究作者郭磊文献来源中南大学硕士学位论文发表时间2005文字复制比14%引证关系否申请单位中国学术期刊网络岀版总库，中国博士学位论文全文数据库 /中国优秀硕士学位论文全文数据库，中国重要会议论文全文数据库，中国重要报纸全文数据库，中国专利全文数据库段落标题正文-段落1重合文

2、字来源架空索道塔架现代设计方法应用研究作者金松安文献来源重庆大学硕士学位论文发表时间2006文字复制比8%引证关系否段落标题正文-段落1重合文字来源基于ASP平台的远程CAE服务的应用模式研究及其实例实现作者罗珊文献来源广西大学硕士学位论文发表时间2006文字复制比7%引证关系否段落标题正文-段落1重合文字来源焊接钢质药筒设计理论与研究作者何清文献来源中北大学博士学位论文发表时间2005文字复制比7%引证关系否段落标题正文段落1重合文字来源基于架空索道塔架工程设计中的现代设计方法应用研丸作者王宇文献来源重庆大学硕士学位论文发表时间2008文字复制比7%引证关系否段落标题正文段落1重合文字来源某

3、火箭武器特种集装箱式发射系统结构分析及动力学仿真作者李波文献来源南京理工大学硕士学位论文发表时间2008文字复制比7%引证关系否段落标题正文段落1稹合文字来源计算机辅助工程(CAE)技术及其应用作者王自勤文献来源贵州工业大学学报(自然科学版)发表时间2001年第04期文字复制比6%引证关系否段落标题正文段落1重合文字来源大型转子式翻车机的三维建模及其数值模拟作者文献来源昆明理工大学硕士学位论文发表时间2004马艳丽引证关系文字复制比 第一章绪论11引盲随着光刻机整体性能的日渐完善与提高，作为光刻机重要部件的定位平台技术也得到了快速的发 展。目前，成熟的定位平台已由早期的丝杠驱动结构发展为直线电

4、机驱动的气浮平台结构。随着磁悬浮技术的日趋成熟， 这项技术得到了广泛的应用。磁悬浮技术是集控制工程、机械学、电磁学、动力学等学科为一体的典型机电一体化技术。 2000色8月我国研发的第一台磁悬浮列车已经进入了试运行阶段。其运动平台和驱动机构采用非接触式磁浮驱动机构， 消除了縻擦力和丝杠弹性变形的影响，易于实现多自由度的精密运动的优势逐渐显现出来。近年来，磁悬浮技术开始从 宇航、军事等领域向一般工业推广应用lo 1.2精密定位平台发展与研丸现状磁悬浮技术研究始于二十世纪二十年代， 发展和应用于六、七十年代，并主要应用在铁路交通运输以及磁悬浮轴承系统竽方面。例如，磁悬浮列车，磁轴承支承 的透平机械

5、、磁轴承支承的飞轮储能系统等。近些年来，磁悬浮技术已经在很多高科技领域与相应的加工领域获得广泛 的应用。例如，磁悬浮技术应用于机床加工系统，可减少机床的单位动力消耗，提高了加工精度，避免导轨摩擦，延长 使用寿命，降低维修支出，并可实现微米级定位精度；应用于扫描隧道显微镜中最高可实现纳米级的定位精度。磁悬浮 技术具有以下优点2-3：无接触、无润滑、无磨损，运行费用和维护费用低，工作周期和便用寿命长，适用于真空、 超洁净、无菌车间等环境。正是由于磁悬浮技术的诸多优点，国内外很多组织都出巨资联合进行磁悬浮技术在光学系统 中的应用和研究，研制开发磁悬浮定位平台.目前已经有很多种磁悬浮平台结构，根据其运

6、行原理可大致分为2类：一 类是悬浮力和推力由同一部件提供，该结构未能完全实现悬浮力和推力间的解耦，控制较为复杂：另一类是悬浮力和推 力由不同的部件分别完成，这种结构实现了悬浮力和推力间的解耦，控制较为简单4。目前扫描微动工作台主要有五类: 1、柔性支承微动工作台：2、滚动导轨式微动工作台；3、滑动微动工作台；4、气浮式微动工作台；5、磁悬浮式微动工 作台。柔性支承微动机构是近年来发展起来的一种新型的微位移机构。它的特点是结构紧凑、体积较小，无机械摩擦、 无间隙，具有牧高的位移分辨率，可达到inmo使用压电或电致伸缩器件驱动，可以达到亚微米甚至是纳米级的精度，且 不产生噪音和发热，适用于各种介质

7、环境工作，是精密机械中理想的微位移机构。滚动导轨微动工作台也是一种常见形 式，它具有行程大，运动灵活、结构简单、工艺性好、容易实现较高的定位精度等优点。图1-1所示为一种典型的滚动 导轨式微动工作台，该微动工作台使用滚珠导轨作为微动工作台的支承和导向元件，直流伺服电机传动，实现了对自动 分步璽复光刻机的微定位控制5 该微动工作台运动范围为x、y方向150mm,最大工作速度为40mm/s,定位精度为土 0.1 um.图1-1滚动导轨式微动工作台图1-2所示为一种典型的采用两级丝杆驱动的滑动微动工作台实现微位移原理 的示意图6。第一级用交流电机驱动的丝杆机构可实现土0.5um的定位精度，通过2级制

8、动器对第一级位置课差修正 补偿，可获得lnm的定位精度。图1-2丝杆滑动机构驱动示意图图1-3是日本日立公司在1988年研制出的一种精密x y定位平台。该平台具有粗动台和微动台双层台结构。粗动台采用PTFE滑动轴承导向的独特轻型机械结构，平台仅在x -y方向作平面运动，粗动台具有120mmX 120mm It程，最奇速度达到100mm/s,定位精度为5um。微动台由三个压电陶 瓷驱动器进行驱动，沿x、y和绕z轴的0z旋转方向作精密运动，以校正粗动台x、y轴的定位误差以及扭摆误差，微动 台的行程为8um,可作160 u rad的旋转。平台的定位是通过三维激光干涉测量系统进行闭环伺服控制。该定位平

9、台通 过微动台实现了 0.05uni的定位精度，以及小于土 lurad的扭摆误差。图1-3双层台机械结构定位平台荷兰ASML公 司研制的气浮结构定位平台如图1-4所示7。气浮平台为粗动台，压电陶瓷驱动平台为微动台。工作时气足悬浮于台面 上，托起平台在直线电机的驱动下做无摩擦的步进定位运动。由于采用了六轴激光干涉测量系统，所以平台可以实现高 速度的精确定位。但定位平台的灵敏性较差。图1-4宜线电机驱动的气浮结构定位平台图1-5为美国德克萨斯州立大学 机械工程系的精密机械研究所研制的六轴的磁悬浮式微动工作平台8,它可以实现x、y、z三个方向的平动和分别绕三 个坐标轴的转动六个自由度的运动，其x-y

10、平面运动范围为100 un, z方向有10 u m的运动范畴，运动精度可实现0. 01 um。图1-5夭轴磁悬浮系统实物图1-6为中国科学院长春光学精密机械与物理研究所研制的磁悬浮式扫描工作台9, 该工作台在x、y方向达到0. 02um的定位精度，达到0.1 urn的调焦精度和3. Op rad调平精度。图1-6磁悬浮微动工作 平台示意图综合分析以上各种微动工作台，可见柔性支承机构达到的精度最高，具有纳米级甚至亚纳米级的精度，但其 运动范围很小，一般只能达到微米级以下的运动范围：滑动导轨式微动工作台运动范围可以实现毫米级，但精度只能达 到10nm,且可实现的自由度有限，只能实现一维的运动：气浮

11、式微动工作台，虽然可以实现大范围的运动，但是由于气 体的可压缩性使得工作平台存在着干扰，运动重复性和定位精度都比较低，难以实现50nm以下高精度的纳米级运动；滚 动导轨式微动平台的运动范围很大，可以实现毫米级，但是其精度却不到lOnmo目前要实现大范围纳米级微运动时，一 般采用的方法是：采用多种微运动方法相结合的方式。综合几种现有的微运动技术，磁悬浮技术在运动范围、自由度以 及精度等各个方面的综合性能均优于其他几种技术。但是在实际应用中，通过改变电流大小从而改变运动平台的受力， 这必然会导致运动平台高度的变化，如何实现其电流改变时运动平台的恒高度是一个难点。我国的磁悬浮技术起步较晚, 清华大学、西安交通大学等高校在磁悬浮轴承领域都进行了多年的研究，在该领域发表了许多相关论文，并取得了丰硕 的成果。我国在八五期间成功研制了 0. 8-1 um的分步投影光刻机和0. 7-0. Sum i线投影光