KYE系列操作使用说明

1、KYE 系列操作使用说明 一特点 - 运转叶片真空泵及压缩机，干式运转，气冷。 - KYE 干式真空泵即无油干式机械真空泵简称干泵 - 干泵是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排 到大气中，泵腔内无油无水或其他工作介质，而且泵的极限压 力与其他真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。 二、适用范围 - 干泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面： 1） .低压化学气 相沉积中的多晶硅制设备工艺中。 2）半导体刻蚀工艺，在这 些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒。 3）化 学工业，医药工业， 食品工业中的蒸馏， 干燥，脱泡，包装等。 不同类型的干泵具有各自的特点， 使用时可根据不同

2、的用途加 以选择。这种干泵具有全无油无水，高耐用性，高可靠性以及 易维护等优势，是众多应用领域的理想前级真空获得产品。 三. 技术参数及真空泵外型 Type 型号 排气量 (m3/h) 马达功率 (kw) 真空 度 (mbar ) 噪音值 dB(A) 马达转速 (RPM-1) 重量 (kg) 50H z 60H z 50H z 60Hz 50Hz 60Hz 50Hz 60Hz KYE200 178 218 4 4.8 200 75 77 360 1150 280 KYE250 250 300 5.5 6.6 200 81 81 360 1150 312 KYE360 351 402 11 13

3、.2 250 80.5 82.5 360 1150 258 KYE500 500 600 15 18 250 81 83 950 1150 480 四. 使用安全规则 -安装真空泵/压缩机应于适当位置，勿与热物体表面接触 -保护真空泵周围区域。 -安装警告标记。 2 五 . 运用事项 - 运转方式为干式运转，避免油雾吸入，此项规格有效于 800 公 尺高度以下之海洋高度。入口空气必须为标准干燥大气空气。 不可输送有毒的或易燃品。 - 如果粉尘与空气混合在一起时，将会使机器温度升高，而使机 器无法顺利运转。 六 . 运输及储藏保管 - 真空泵储藏于干燥地区，预防水蒸气产生之压缩冷凝。在吊车 装卸

4、和运输时，仅使用吊装螺栓环。 七.安装 - 在安装放射性压缩机时，应考虑到易于保养维修。压缩机与周围 隔墙壁之间，空间至少不低于 10 公分，以保证冷却所需的空 气流动畅通无阻。 在消音罩内进行安装工作时， 请先向生产厂 家咨询联络。周围环境温度不超过 45C . 八连接与装配 - 注意确保尺寸之正确（见表格）和管路清理，勿使接口沾染油 液，油脂，水和其他污染物以保持连接物之顺畅。对于长度超 过 2 公尺长之管路，我们建议安装逆止阀。 - 空气排出线路可以经由 AS 通往外部。 -耐压管路或吸气管路的连接线其长度设计标准为 3m,对于管路 之标准长度为10 m,我们建议接近较大之管路直径。如果

5、管路 长度超过10 m,请联络我们的工厂以取得更理想的管路直径 之资讯。移开于 DN 和 SA 底盖，不要连接管路。 九电机连接 -放射型压缩机的电源连接方式应符合规定，电机可按照接线盒 内的电路图或者备好插头进行，此工作只能由专职电工完成。 注意检查连接电压及频率。 配置电机安全开关， 按电机额定电 流进行设置（数据见电机型号牌） 。每小时内开关次数不应超 过 4-6 次。 - 电机稍作运转，检查其转向是否正确（参照电机壳上之箭头） ， 若转向不对时，更换状态。 - 运转测试真空泵，吸气管接 SA 端，确定消音器 AS 之进气通 畅，以及除去真空安全阀 SV 空气排出之阻碍。 十 . 维护保

6、养 - 经常性的维护保养可使真空泵 /压缩机保持最佳工作状态，维护 保养周期取决于使用情况及工作条件如灰尘产生之程度。 在初 期选择较短期之维修间距是有必要的， 接着依据经验获得间距 可以调整。 - 在进行保养之前，须切断电机的电源，并确保不会出现无意中 的重新启动。 - 用压缩空气吹出冷风道 KL 槽之脏物。 一 . 过滤器 - 滤芯装在壳盖 GD 的后面，需根据灰尘堆积进行清洗。清洗时 用压缩空气槽过滤器由内往外吹。 在周遭空气和额外操作情况 （如：多样替换操作）如果高灰尘情况，我们推荐每周检查过 滤器（初期一周一次） 。清洗时用压缩空气槽过滤器由内向外 吹。 - 必须定期更换阻塞，浸油或

7、沾上油脂的滤芯。处理旧滤芯，在 非常多灰尘的环境下外加过滤器可利于操作。 十二 . 叶片 - 由于与机壳体内部的摩擦， 叶片会有磨损。 碳精叶片属于耗材， 须定期检查更换。 - 在进行 3000 小时之后或至少一年，应检查叶片的宽度。保养 维修时须打开壳体盖LH和侧盖SD （八颗螺栓）。用两颗螺栓 于 G 处平稳地拆开以及小心地从转子卸下叶片。 - 请勿在转子上使用外力触碰叶片。独特的设计与侧边黄油喷 嘴：于连接 VS 处解开黄油。确定清洁最高可能标准在所有装 配状态与运转。保持压缩机机房之灰尘分子畅通。在组装时注 意叶片之跑出边缘的适当位置。检查油封垫片和滚动培林，清 理转子轴心上之油脂，小心地推开于转子上之侧盖。轻微地举 起以确定壳盖由固定梢固定中心， 平稳地锁紧 8 颗螺栓确定固 定梢不会倾斜，检