2020年半导体检测设备行业报告：半导体缺陷检测

1、华西证券版权所有发送给万得信息技术股份有限公司 p2 证券研究报告|行业深度研究报告 正文目录 1. 前道检测设备vs 测量设备vs后道测试设备.4 1.1. 半导体检测设备的环节位置.4 1.2. 2020年检测全球约43亿美元，国内约11亿美元.5 2. 国内企业自主研发与并购并举，立志解决卡脖子环节.7 2.1. 赛腾股份收购日企Optima切入晶圆缺陷检测设备.7 2.2. 上海睿励/中微公司中微拟入股睿励，强强联合.8 2.3. 中科飞测背靠中科院，强势崛起，已进入国内大厂.11 3. 附录：KLA检测王者，占比过半.12 3.1. 半导体检测设备王者KLA排名全球半导体设备企业第五

2、.12 3.2. 科磊是谁？全球半导体检测设备王者.13 3.3. 科磊为何能占据半导体检测设备的半壁江山？.14 4. 风险提示.19 图目录 图 1 广义“检测”覆盖了半导体整个设计、生产制造和封测环节.3 图 2 半导体检测 膜厚测量 市场份额 52%KLA-Tencor Applied Materials, PDC12% Hitachi Nano 11% 4% Nova膜厚测量2.60% 19%其他 资料来源：SEMI，上海睿励，华西证券研究所 3.2.科磊是谁？全球半导体检测设备王者 全球高端测试设备企业多在美国、日本等半导体产业发达国家、且集中度相对较 高，国内企业技术差距较为明显

3、： 1）全球前道检测领域前三甲分别为科磊半导体（美国）、应用材料（美国）、日 立（日本），根据 Gartner 数据，三者市占率分别约为 52%、12%、11%。国内前道检 测领域主要企业有上海睿励、上海精测、中科飞测等，整体规模尚较小。 2）全球高端后端测试设备企业有泰瑞达（美国）、爱德万（日本）等，国内较为 领先的测试设备厂商有长川科技、华峰测控、佛山联动等，主要用于分立器件、电源 IC等产品中，与国外高端设备企业同样距离显著。 华西证券版权所有发送给万得信息技术股份有限公司 p13 请仔细阅读在本报告尾部的重要法律声明 13 9626187/21/201902 28 16:59 华西证券

4、版权所有发送给万得信息技术股份有限公司 p14 证券研究报告|行业深度研究报告 表 10 半导体检测设备领域，科磊半导体占据半壁江山 公司总部所在国 美国 主要产品领域 量检测 2016年市场占有率 52.10%KLA-Tencor Applied Material美国电子束检测 量测 11.80% HITACHI日本10.70% Nanometrics美国量测3.90% Hermes Microvision中国台湾 以色列 电子束检测 量测 3.10% Nova2.60% 其他15.80% 资料来源：Gartner，华西证券研究所 科磊半导体KLA-Tencor于 1976年成立于美国加州硅

5、谷，是全球光学检测量测之 王，产品线丰富，为半导体、数据存储、LED 等纳米电子产业提供工艺控制和良率管 理产品，其产品、软件和服务能够满足客户在整个生产制造过程中，从研发到最终量 产的检测与量测需求，具体产品应用包括晶片制造、晶圆制造、光罩制造、互补式金 属氧化物半导体(CMOS)和图像感应器制造、太阳能制造、LED 制造，资料储存媒体/ 读写头制造、微电子机械系统制造及通用/实验室应用等。公司主要客户包括 Intel,tsmc,SMIC 等, 销售及服务网络遍及美洲、欧洲及亚洲。 3.3.科磊为何能占据半导体检测设备的半壁江山？ 1、起步：抓住行业痛点，推出计算机视觉，大幅提高效率股价表现

6、：增收 不增利，股价表现不佳 早起由于制造工艺不成熟，半导体生产制造的良率通常会低于 50%，生产过程中 的检测速度慢、误检率高，导致早起半导体器件的价格昂贵，而且随着半导体不断小 型化、复杂化，相关机器检测的需求不断提升。 在此背景下，Ken Levy和 Bob Anderson在 1976年创立了KLA Instruments 一家计算机视觉公司，利用光学技术与软件算法相结合取代工人和低端辅助工具， 1978年推出第一个产品KLA RAPID 100，为确保高芯片良率提供了重要的第一步，并 将光掩膜检测所需的时间从 8 小时减少到 15 分钟、可以提供比以前更彻底的检测， 产品一经推出，就

7、获得了产业的好评。 华西证券版权所有发送给万得信息技术股份有限公司 p14 请仔细阅读在本报告尾部的重要法律声明 14 9626187/21/201902 28 16:59 华西证券版权所有发送给万得信息技术股份有限公司 p15 证券研究报告|行业深度研究报告 图 7 KLA第一款产品KLA RAPID 100，大幅提高检测效率、获得产业好评 资料来源：芯思想，华西证券研究所 1984 年公司推出第二个产品 KLA WISARD 2000 系列，是一个自动化晶圆检测系 统，可以检测晶圆缺陷和电路错误，同样获得市场的高度认可。 KLA RAPID 100与 KLA WISARD 2000系列均属

8、于前道检量测设备，KLA在 1980年 代末推出了自动测试设备，包括晶圆探测系统和微光显微镜等，前者用于在切割和封 装之前对完成的芯片进行电气测试；后者用于发现芯片各层之间的电气“泄漏”。 到 1990 年 WISARD、RAPID 和自动测试设备大约各占总收入的三分之一，成为公司的 三大支柱产品，从而奠定了 KLA 在检测领域的领先地位。在此阶段，KLA 收入在 1986-1990 年分别为 0.825、0.88、1.13、1.61 亿美元，但同期利润并未实现大幅增 长，公司股价处于横盘过程。 2、1990-1997产品升级、从离线到在线公司股价10年 50倍之旅 1990 年代初期开始，美

9、国本土半导体产业开始复苏，半导体产业越发精细化， 对检测设备的性能要求进一步提高，包括检测精度、速度、自动化程度等等，KLA 顺 应行业发展趋势产品不断升级，最重要的变化是将原来低效率的离线检测产品（需较 长时间等待检测结果）发展到更加快速的在线检测产品（可以实时提供检测结果）： 1）1990年 10月，KLA推出第二代晶圆检测系统WISARD 2100系列，缺陷检测的 灵敏度更高，更为重要的是WISARD 2100系列能够提供在线检测，实时提供检测结果 而不用长时间等待、运行速度比第一代的WISARD 2000系列快100倍以上。 2）1992 年 KLA 推出在线光罩检测系统 RAPID

10、300 系列KLA 331，可以提供 当时世界上最高的检测灵敏度，至 1993 年 KLA 在全球范围内交付了 700 套 RAPID 系 统。 3）KLA还改进了 KLA 5000系列，用于提高集成电路的良率和性能，另外 KLA 还 推出新的电子束成像系统，灵敏度更高、测量能力更强。 华西证券版权所有发送给万得信息技术股份有限公司 p15 请仔细阅读在本报告尾部的重要法律声明 15 9626187/21/201902 28 16:59 华西证券版权所有发送给万得信息技术股份有限公司 p16 证券研究报告|行业深度研究报告 与此同时公司改组了管理层，聘请了 Kenneth L. Schroed

11、er 聘任 CEO，1992 年 Schroeder 将 KLA 重组为五个运营部门：WRING（包括 WISARD 和 RAPID 部门）、自动 测试系统部门、Watcher 部门（包含利用先进光学字符识别技术的新图像处理系统）、 计量部门和SEMSpec部门；并成立了客户服务部门，放弃了微光显微镜业务部门。 在公司不断推出新产品、管理层积极进取的情况下，伴随半导体产业的快速发展， KLA规模不断提高、继续保持全球领先地位。 图 8 1990-1997年公司收入规模实现跨越式发展（百万美元） 1094.5 1200.0 1000.0 800.0 600.0 400.0 200.0 0.0 1

12、031.8 442.4 243.7 196.6 167.2 105.4 58.6 30.2 7.0 1993年1994年1995年1996年1997年 总营业收入净利润 资料来源：Wind，华西证券研究所 图 9 1990-1997年公司股价涨幅近50倍（元） 25 20 15 10 5 0 科磊半导体收盘价(元) 资料来源：Wind，华西证券研究所 3、1997-2008年密集并购期，股价横盘 华西证券版权所有发送给万得信息技术股份有限公司 p16 1997年开始公司开始进入密集并购期，1997年 5 月以13亿美元一对一的股票互 换合并 Tencor Instruments, Inc.，新

13、公司命名为 KLA-Tencor Corp.二者是同年成 请仔细阅读在本报告尾部的重要法律声明 16 9626187/21/201902 28 16:59 华西证券版权所有发送给万得信息技术股份有限公司 p17 证券研究报告|行业深度研究报告 立且均生产半导体检测设备，区别在于 KLA 专注于缺陷检测解决方案，而 Tencor 则 专注于量测解决方案，二者的合并可以为客户提供完整的半导体良率产品和服务。此 后 KLA便进入了快速并购周期，快速获得大量先进技术，而且不仅局限于检量测领域， 公司产品线和服务得以大幅延伸。 图 10 1998-2008年公司收入规模有所波动（百万美元） 3000.0

14、 2500.0 2000.0 1500.0 1000.0 500.0 0.0 2731.2 2521.7 2103.82085.22070. 6 1637.3 1498.81496.7 1323.0 1166.3 843.2 528.1 466.7380.5 359.1 253.8243.7 216.2 134.1137.2 39.2 66.7 总营业收入净利润 资料来源：Wind，华西证券研究所 图 11 1998-2008年股价处于横盘（元） 90 80 70 60 50 40 30 20 10 0 资料来源：Wind，华西证券研究所 华西证券版权所有发送给万得信息技术股份有限公司 p17

15、 请仔细阅读在本报告尾部的重要法律声明 17 9626187/21/201902 28 16:59 华西证券版权所有发送给万得信息技术股份有限公司 p18 证券研究报告|行业深度研究报告 表 11 科磊半导体在发展过程中通过并购获取大量先进技术 时间 1998 1998 1998 1999 1999 2000 2000 2001 2004 2004 2006 2007 2007 2007 2008 2008 2010 2014 2017 2018 公司 Nanopro GmbH 产品/业务 芯片测量的先进干涉（interferometric）技术 扫描电子显微镜Amray VARS半导体设备图

16、像存档和检索系统制造 硅片缺陷分析工具UniphaseS Ultrapointe Acme Systems，Inc. Object Space Inc.s Fab Solutions FINLE Technologies, Inc. Phase Metrics 产量分析软件 行业标准光刻建模和分析软件 数据存储行业检验/认证技术 表面检测系统Candela Instruments Inspex, Inc.晶圆检测系统业务 硅晶圆检测设备ADE Corp. OnWafer Technologies SensArray 等离子刻蚀产品 即时温度量测技术 计量设备服务Therma- Wave ICO

17、S Vision Systems Corporation NV Vistec Semiconductor Systemss MIE Ambios Technology 封装和互连检测解决方案 微电子检测设备 光学轮廓仪 Luminescent Technologies Zeta Technologies 发光器 Keysight Technologiess Nano Indenter力学测试系统产品线 资料来源：芯思想，华西证券研究所 随着半导体制程的工艺越来越复杂、晶圆厂的投资成本越来越大，因此对工艺控 制水平提出了非常高的要求，因为一旦出错代价将会非常大，这也为半导体检测设备 企业带来了更

18、大的机遇。 KLA 作为全球半导体检测领域的龙头，能够为客户在研发阶段、试生产阶段和量 产阶段都能够提供相关产品和服务，帮助客户实现利润最大化。 表 12 KLA可以在研发、试产和量产阶段均提供管控服务 生产阶段KLA可以提供的管控服务 制程研发阶段制程管控首先需要了解制程需求，因为在新技术引进时会遇到很多新的挑战、缺陷和困难，KLA- Tencor检测和量测的贡献就是帮助尽早发现和解决问题，帮助客户找出制程的缺陷和差距。 制程管控的作用是帮助发现和解决良率问题，加快工艺开发和量产速度。新品试产阶段 规模量产阶段制程管控则可以帮助客户稳定良率，改善制程的可预测性，避免产线出现异常问题。 资料来

19、源：芯思想，华西证券研究所 4、2008年至今深耕中国大陆与中国台湾市场，股价再次腾飞 进入 21 世纪，中国的半导体产业规模不断扩大、在全球占比也进一步提高， KLA-Tencor 准确的判断出中国市场的崛起，1999 年便在中国设立了第一个分公司， 目前在在北京、上海、南京、西安、武汉、天津、深圳、大连、厦门、无锡设立了 10处办公室，可以快速响应国内客户的需求。 2008年至今中国半导体产业快速增长，KLA来自中国大陆及台湾地区的收入规模 得到大幅提高，至 2019 年 KLA 来自中国大陆的收入为 12.16 亿美元，占比达到 26.6%，比重较上年提高了 10.7 个百分点，占比近年连续快速提高；2019 年来自中 华西证券版权所有发送给万得信息技术股份有限公司 p18 请仔细阅读在本报告尾部的重要法律声明 18 9626187/21/201902 28 16:59 华西证券版权所有发送给万得信息技术股份有限公司 p19 证券研究报告|行业深度研究报告 国台湾的收入为 11.06 亿美元，占比为 24.2%；也即 2019 年 KLA 来自中国大陆与中 国台湾的收入占比超过一半。 图 12 2009-2019年 KLA收入及利润在波