特气管道施工与检查参考资料

1、GAS&Chemical Part,2015.07.02,1,一,特气概述,一般在半导体制造业我们把砌体分为大宗气体,Bulk,Gas,和特种气体,Special Gas,两种。大宗气体一般是指集,中供养且用量较大的气体，涵盖制程用气如,PO2,Par,PH2,Phe,以及非制程用气如,CDA,N2,GN2,等,特,种气体主要有各种掺杂用气体、外延用气体、离子注入用气,体、蚀刻用气体以及其他广为各种制程设备机台所使用的惰,性气体等。随着各种不同气体的特性，设计出不同的气体输,送系统来满足各种不同制程设备的需求,2,二、特气的分类,我们将半导体制造业所使用的不同特种气体一般按照,使用时的特性分为

2、五类,1,易燃性气体,Flammable Gas,2,毒性气体,Toxic Gas,3,腐蚀性气体,Corrosive Gas,4,惰性气体,Inert Gas,5,氧化性气体,Oxide Gas,3,三、特气管材介绍,目前在半导体制程设备以及相关厂务系统中所使用的管件材,料主要有不锈钢,Stainless Steel,特氟龙,Teflon,高密,度聚乙烯,HSPE,以及聚偏二氟乙烯,PVDF,等。其中在,气体传输中一不锈钢管件的应用最为广泛，通常在所有与制程,相关的制程气体,Process Gas,的输送方面都要应用不锈钢管,件,不锈钢管件主要用来传输各种制程气体的管件，尤其是一些,剧毒易燃

3、易爆的危险性气体。所以不锈钢管件的制作和施工要,求在以上几种不同材质的管件中要求最为严格,4,管材分类,不锈钢管,EP,BA&AP,管材等级,EP,级,Ele,Ctrolytic,Polished,电解抛光,BA,级,Bright-annealed,光辉退火,AP,级,Annealed,and,Pickled,酸洗钝化,一般对于,P,级要求,ppb,级）的制程气体的输送，均要求采用,SUS316L,材质的,EP,管材，对于一般非制程气体的输送采用,SUS316L,材质的,BA,管,材,5,四、洁净管道安装之材料接收,目的：主要确定管道在运送过程中包装的完整以及订购量和材质的符合,步骤,一、材料

4、订购后在接收前最好能先到原厂抽检,1,阀件,取,10,做氮气测漏测试以及,Particles,的测试,2,管件,依炉号,Heat No,和管子的,Size,各取一支做焊接测试,3,管接头,依不同的,Size,各取一件出来做粗超度、真圆度,Dimesion,测试,二、材料到厂处理,1,通知品保人员检查包装状况，在品保人员,QA/QC,准许后才可拆箱，拆,箱需非常小心以,免伤,到管材,2,将所有送货单发票及出厂检测报告交给,QA/QC,人员,3.Piping,和,Tube,的上架，同尺寸的管子会有不同的炉号，需依照炉号区分出来,4.316LEP,和,316LBA,的管件和阀件到厂拆箱后需无尘室,C

5、lass10000,区存放，移入,前需在擦拭干净,6,五、洁净管道安装之材料检验,目的：主要是为了在次确定所购买的材料质量符合标准规范,步骤,一、材料在移入无尘室后准备取出,10,做检验,二、检验项目,1,外观检验：目测表面有无凹痕,刮伤，内表面有无缺陷、凹,洞、刮伤、污点残余物,2,粗糙度的检验：利用粗糙度仪做内部表面粗糙度的检验,3,管壁厚度及外径的检验：利用光标卡尺做管外径和厚度的检验,7,六、洁净管道安装之焊工验证,1,目的：此焊工验证的目的是要确保每位在现场或无尘焊接的人员，其焊接质量的认证,并且可做日后管道追踪的管理,步骤,一、将管子分成四,Group: ?”15A,20A80A,

6、100A150A,200A,以上,二、从每个,Group,中选一种尺寸的管子做焊接认证，通过后在其,Group,范围内的尺寸,均可施工，不可跨,Group,施工，除非通过各个,Group,的认证,三、觉得认证的尺寸后焊接者需在限定的时间内完成焊接测试,四、认证者先将几台焊接数据归零，焊接者需要自行重新调整数据和管内气体流量,并且要会更改钨棒和调整钨棒的间距,五、焊接者最后需完成三块试片，一块,t/b(tube on beat,即管子直接焊接，两块,t/t(tube om tube,即管对管，对接的试焊,8,六、洁净管道安装之焊工验证,2,六、完成的试片在试片上必须填写上炉号、日期、管子的尺,寸

7、、等级和焊者的,ID No,并填一份认证表格,七、认证者检视完成的试片并填写认证表格的合格与否，合,格者才可施工，合格者需经,10,天后可再做认证,八、整理出一份合格者名单，传到现场给,QA/QC,人员，以掌,控现场施工人员的施工质量,9,七、洁净管道安装之焊道检验,目的：此检验标准主要是确保焊道的质量良好以避免日后的,泄露或者腐蚀的危险,步骤,一、焊道是否有氧化的现象,二、焊道是否渗透完全,三、焊道是否弯曲偏移严重,1/4”2,10%,3,管以上,15,四、焊道是否穿孔,五、焊道是否过度凹陷,1/4”2,10%,3,管以上,15,六、焊道是否过度凸起,1/4”2,10%,3,管以上,15,七

8、、焊道覆盖是否适当,60%80,八、焊道宽度是否适当？（管厚,x12,倍,10,八、洁净管道安装之焊接检验,1,目的：控制焊接的过程中不受外界的污染并保持管内的洁净以达到,UHP,配管的质,量规格,步骤,一、切管和洗管,1,1/4”3/4”d,的管于在,Class1000,区切管,2,3/4,以上的管于在,Class10000,区切管,3,切下来的管子需注明管子的炉号，使用系统、等级和套上塑料片、塑料盖,4,切下来的管子需要用,DIW,清洗干净，再用热氮气吹干或者烤箱烘干,5,不管是现场的施工或者是无尘室的预制，大管径的切管必须在无尘室或,Clean Booth,下执行前完成洗净的工作,6,现

9、场良好要切管的尺寸，从无尘室送出钱必须盖上塑料片和者塑料盖并封,上两层塑胶袋方可运到现场，运送车需有管架，管子不可顺意置放,7,切管时若刀片不利应立即更换以免损坏管子,8,现场切小管时需经过纯化后的气体作冲吹,11,八、洁净管道安装之焊接检验,2,二、焊接的程序,1,焊接者必须是有被认证过者，未被认证过者或被取消资格者不的做焊接工作,2,试片,COUPON,的制作：在开始焊接系统,时需先做试片，早上开始的第,一块试片称,CI(Coupon In,中午休息后继续焊接时需再做一块试片称,CM(Coupon Middle,最后结束时在交一块试片称,CO,Coupon out,然而在下,列情况之一时需

10、再做试片,a,改变管材的炉号,b,改变管材的尺寸,c,焊接机台断电的时候,d,焊把更换或者在焊接途中焊接机数据的更改,e,钨棒的更换,3,试片需写上日期、系统、焊接者,ID No,CI,CM,或,CO,管材等级,4,试片完成后，将焊接数据填写的焊接记录表上，开始焊接系统前可先由另一,组人员做点焊固定工作，点焊时也需要,Argon,气体冲吹以防止氧化的发生,12,八、洁净管道安装之焊接检验,3,5,系统管件的焊接,a,点焊好的管件，要焊接时需要用,Argon,气体充分的冲吹内管,b,焊接前先调好管内和焊把的气体流量,c,连接冲吹管内的气体管线不能使用,Teflon,的管件联接，需用,EP,级的管

11、来作冲吹,d,焊接完成后，在每一道焊口上需注明时间、日期、焊接者的,ID No,及焊道的编号,e,焊接者在焊完后，须填写每日焊接记录表,f,在无尘室预制好的管件，送到现场时须做双层的包装方可运出,g,在现场连接好的管路系统须保持不断的冲吹状态,h,在现场惹遇中间段焊接失败，要做切管的动作时，必须两端都接有气体冲吹才可施行,切管的动作,i,切下来的管子须做端面的处理时必须用气体冲吹，要小心避免铁屑掉进管内或阀件，以,免刮伤管内光亮的表面和阀件密合的损坏,j,不管是现场施工人员或无尘室的预制人员都必须带上,PVC,手套施工，若有破损也须立即,更换,K,焊接所使用的冲吹管线接头须使用,VCR,的接头

12、，调压阀则使用针阀,l,自动焊接主要的两种机型,ARC,MACHINE,及,CAJON,若遇到,200A,的大管无法使用自,动焊时，可用手焊最后在用,X,光照射来检验焊接的质量良否,13,九、洁净管道安装之管线测试,1,目的：确保整个管路系统的安全以及纯净物污染，以达制程的需求,步骤,一、系统保压的测试,1,仪器,a)Gauge,刻度精密到,0.5psi,无记录但方便安装,b)Recorder,记录器有记录纸记录但安装不便,2,测试方法,a,在系统内灌入被纯化过的氮气，灌入压力,设计压力,1.1,倍，接测试仪器持,续时间,24,小时。大于或等于,15A,之管路,保压,10Kg/cm2,试验时间

13、,60min,大,于或等于,15A,之管路,保压,8Kg/cm2,以上,试验时间,24h,小于,15A,之管路,保,压,8Kg/cm2,以上,试验时间,24H,b,若在任何温度变化修正之后，没有压力衰减的现象、则注明该管路气体名,称、管线压力值、时间、时期和空气温度等数据，请业主代表见证测试的开,始与结束,c,完成测试后再将测试数据送请业主代表签名,14,九、洁净管道安装之管线测试,2,二、系统氦气测漏测试,1,测试仪器,Leybold(UL200dry,2,测试方法,a)Inboard,模式：将被测系统管路连接测漏仪器，将系,统抽真空，抽至漏率,1*10-9atm.cc/sec,后，在系统的

14、每一口,焊道、接头等喷氦气来测试，若维持漏率小于,1*10,9atm.cc/sec,则表示合格，此漏率测试值是针对,P,级气体与,特殊气体，至于,GN2/PN2,则是,1*10-6atm.cc/sec,CDA,不做,氦测漏,b)outboard,模式：将被测系统灌入氦气，再将氦测仪切,换成,Sniffer,模式，调整一起灵敏度至,1*10-9atm.cc/sec,再用,连接氦测漏仪的软管吸每一道焊口，接头等，若系统有漏,氦气被仪器吸入时，仪器会发出警示声响,15,九、洁净管道安装之管线测试,3,三：系统,Particle,是测试,1,测试仪器,a)CNC(contensation Nucleu

15、s counter,b)PMS,2,测试方法,a,使用超纯氮气,PN2,作为冲吹,Purge,气体,除,H2,Ar,He Piping,外皆使用,PN2 Purge,H2,Ar,He Piping,外皆使用,PAr Gas Purge,F2/Kr/Ne,Kr/Ne Piping,使用,Phe Gas Purge,b,将系统连接测试仪器，一起连接系统的管路必须使用,EP,级的不锈钢管,测试前须先经过加减压的冲吹,c)P,级气体与特殊气体测试规范如下,Partilce,1 pcs/sft3,0.1um,连续,30,分钟,CNC,可测到,0.01um,的等级，流量为,0.1sft3/min,d)G,

16、级气体测试规范如下,Partilce,10 pcs/sft3,0.1um,连续测,30,分钟，可用,PMS,来测,16,九、洁净管道安装之管线测试,4,四、系统水分的分析,1,测试仪器,a) Ametek b) Meeco,2,测试方法,a,使用超纯氮气,PN2,作为冲吹,Purge,气体,除,H2,Ar,He Piping,外皆使用,PN2 Purge,H2,Ar,He Piping,外皆使用,PAr Gas Purge,F2/Kr/Ne,Kr/Ne Piping,使用,Phe Gas Purge,b,系统必须先加减压和连续式的冲吹,c,系统管路连接分析仪器，连接管线必须使用,EP,级的管,

17、线和,VCR,接头,d,依照不同等级气体测试到合格规范,e,冲吹次数计算法,C,初始浓度,P1,升至最大压,P2,降,至最下压,n:Purge,次数,17,九、洁净管道安装之管线测试,5,五、系统氧气的分析,1,测试仪器,Delta-F,2,测试方法,a,使用超纯氮气,PN2,作为冲吹,Purge,气体,除,H2,Ar,He Piping,外皆使用,PN2 Purge,H2,Ar,He Piping,外皆使用,PAr Gas Purge,F2/Kr/Ne,Kr/Ne Piping,使用,Phe Gas Purge,b,系统管路连接分析仪器，连接管线必须使用,EP,级,的管线和,VCR,接头,c,依照不同等级气体测试到合格规范,18,九、洁净管道安装之管线测试,6,六、系统真实气体的分析,1,测