XPS能谱处理数据的方法(中国科学院)

1、XPS能谱数据处理能谱数据转化成ASC码文件后可以用EXCEL、ORIGIN等软件进行处理。这篇文章的目的是向大家介绍用ORIGIN软件如何处理能谱数据，以及它的优势所在。下面将分三部分介绍如何用ORIGIN软件处理能谱数据：1、多元素谱图数据处理 2、剖面分析数据处理 3、复杂谱图的解叠一、多元素谱图的处理： 1、将ASC码文件用NOTEPAD打开：元素名称X轴起始点采集的数据点总数X轴步长Y轴数值2、复制Y轴数值。打开ORIGIN，将Y轴数据粘贴到B（Y）：3、如图：点击工具栏plot，选择line4、出现下图：点击B（Y），再点击Y，使B（Y）成为Y轴数据。然后在“set X value

2、s”中输入起始值和步长。5、点击OK，得到下图：6、利用ORIGIN提供的工具可以方便的进行平滑、位移。A. 位移：1）如图：选择analysistranslatevertical或horizontal可以进行水平或垂直方向的位移。我们以水平位移为例进行讲解。2）在图中双击峰顶，如图示（小窗口给出的是此点的X，Y值） 3）然后在图中单击其他位置找到合适的X值（小窗口给出的是红十字的X，Y值） 4）双击红十字的位置，峰顶就会位移到此处：位移可以反复多次的进行，垂直方向的位移和水平方向的一样。B、平滑1）如图选择：2）出现下面的小窗口3）点击settings出现下面的界面（如果想用平滑后的代替原始

3、的，选择”replace original”,如果想重新做图选”add to worksheet”，下面的数值不用改变）4）点击operation,选择savizky-golay进行平滑。得到下图： 二、剖面分析数据处理：1、用写字板打开ASC码文件，选取所需要的元素Y轴数据起始值及步长元素名称剖面分析中的CYCLE 数 2、打开ORIGIN软件，如图示：选择columnadd new columns 如果你的数据有九个cycle那么你要在下面的窗口选择8。然后在B（Y）.J（Y）中依次输入不同cycle的Y轴数值点击图中下方工具栏的waterfallwaterfall然后在下图中先输入X轴起

4、始值及步长，再将Y值输入（点击B（Y），然后按住SHIFT键不放，再点击最后一个Y值选项：如E（Y），松开SHIFT 键，点击ADD 键。点击OK得到下图：颜色代表字母，对应于cycle数前后翻转工具，用上法作图，得到的谱图需翻转选项X OFFSET 决定视角，Y OFFSET 决定两条谱线间距谱图修改工具栏应用修改工具得：（X OFFSET 设为0，Y OFFSET 设为100）注意谱线对应的CYCLE数如果想要得到其中某一个cycle的谱图，只要调出原来的worksheet（数据表），再次点击waterfall。输入X轴数据，然后只选一组Y轴数据（和多元素分析一样），就可以了。注：不同样品

5、同种元素比较也可以用此种方法三、谱图解叠：和多元素分析步骤一样，经过平滑、位移,得到下图：（注：画图时，先输入X轴步长等，再输入Y轴数据）1、 去本底：选择toolsbaseline2、 出现下面的窗口，选择baseline，将number of points后的参数改小一些，比如2，点击create baseline4、出现下图：选择小窗口中的modify：5、拖动每一点到合适的位置（点住鼠标左键不放一直拖到合适的位置）：如图6、然后选择substract得到7、分别点击X轴、Y轴将坐标更换为原来顺序和数值：8、如图：选择analysisFit multi-peaksgaussian9、出现

6、下面的窗口：按需要拟合的子峰个数输入10、点击ok，得到：11、点击OK默认选择，根据谱图的形状双击选择子峰位置（红十字代表峰顶）：如图12、刚才设置为两个子峰，所以双击两个位置，这时电脑自动计算出相关数据：如果想要看拟合后的曲线，需激活（调出）谱图窗口。然后，选择analysisnon liner curve fit 如图：13、得到：14、上图不合理，两子峰半峰宽相差太大，需要加入新的子峰进行调整。点击下图中more按钮15、出现下图：更改为2增加一个子峰，依次类推点击此按钮出现此图界面16、选择basic modestart fitting回到原界面，点击1 lter和10 lter 直到出现新的子峰峰位置、半峰宽和面积17、上图明显也不合理，调节小窗口中各个子峰的数值 18、然后点击下图中done按钮，再次选择analysisnon-linear curve fit,反复修改直到得到满意的谱图多元素分析注意事项：l 不能一味的平滑，有时不平滑反而能更准确的反映样品的性质l 位移要有理有据，不能按自己的需要移动。解谱注意事项： 各个子峰的半峰宽要尽量