二次配系统简介课件

1、,制程二次配排气系统简介,2014年8月27日,二次配系统简介,上海盛剑环境系统科技有限公司,制程排气供应系统 系统介绍 技术说明 施工准备 施工技术要求,目录：,二次配系统简介,上海盛剑环境系统科技有限公司,制程排气系统,系统介绍：,由制程机台至主管支管之间连接风管，统称二次配排气风管（Exhaust Hook-up Ducting）工程；其主要是将制程机台所产生之各种废气（例如酸碱性废气、挥发性有机废气、一般性废气等等）经由二次配排气风管排至排气支管、主风管等再导入废气处理设备处理，处理后废气再排放至大气中的整个排气系统过程。,二次配系统简介,上海盛剑环境系统科技有限公司,制程排气系统,技

2、术说明：,制程排气的目的：在产品制造过程中，无可避免地必须使用不同种类的化学物质，为了提高产品的良率，必须精密控制产品所接触环境的空气质量。而制程排气系统（Exhaust System），虽非制程生产所需设备，但却是为生产区域营造一个可供生产人员在安全情况下的工作环境，因此制程排气系统，从废气物质兼容性至排放气体输送，以至于各种污染处理设备，皆需经严格且缜密选择，这些均是环环相扣缺一不可。,二次配系统简介,上海盛剑环境系统科技有限公司,制程排气系统,技术说明：,排气系统分类： 制程流程中，使用机台种类相当烦多，各种排放物质种类更是不胜枚举，若要针对单一种类设置单独排放处理设施，不仅有其设置上的

3、因难，而且施工上及日后维修保养更属不易，因而，依据排放之特性大致上区分为酸、毒性（Acid Exhaust）、碱性（Alkali Exhaust）、有机溶剂（Solvent Exhaust）及一般排气（General Exhaust）四个系统： (1) 酸、碱性废气：其主要来源为化学清洗工作站，清洗芯片时所产生之挥发性气体，此气体部分含有浓烟，部分则对呼吸系统有刺激性作用有害人体，故必须经过Central Scrubber做水洗中和处理后，再排入大气。 (2) 毒 性 废 气：其主要来源为化学气体沉积，（CVD）干蚀刻机、扩散、离子植入机及磊晶等制程时所产生，由于以上之制程均使用大量的毒性气体

4、，因此在其机台本身即设置有Local Scrubber 作先行处理，再送至Central Scrubber 做水洗中和处理后，再排入大气。 (3) 有机溶剂废气：目前所见到大多以活性碳吸附塔或采用沸石浓缩转轮+燃气式焚化炉，去除率可达90以上，为目前较佳之空气污染控制技术。 (4) 一 般 废 气：其来源为机器运转发热产生不含有害物质，故可经由排气设备直接排入大气。,二次配系统简介,上海盛剑环境系统科技有限公司,制程排气系统,施工说明：,洁净室培训： 在二次配施工阶段所有厂房基本都已经进入无尘室三级管制阶段，因此首先应对施工作业人员一定要进行无尘室施工培训，并考核合格后方能进入无尘室施工。进入

5、无尘室施工必须要进行申请。 所以人员必须按照规定的人员动线行进，从单一的管制口登记后进出，并接受管制人员检查，服从管制。 禁止携入非必须用品，如香烟、打火机。非洁净纸张等物品。 洁净室内禁止吸烟，食用任何物品，禁止随意丢弃物品。 人员进入无尘室流程 1.在脱鞋区将鞋整齐放在鞋架上，赤脚（必须穿袜子）进入一次风淋室、接受工安检查，填写登记表格。 2.口罩、网帽、无尘服、鞋、手套、安全帽依次按规定穿戴整齐，二次洗手烘干，进入二次风淋室。 3.严禁穿洁净服出入室外，从其他物料口出入。 物料进入无尘室流程 1、携入无尘室之前，工具、物料、附件必须要在无尘室外擦拭干净，不能有油、锈、灰尘等。 2.不可将

6、纸箱、木质类发尘源带入洁净室。 3.脚手架、手推车轮子要用斑马胶带包裹。A字梯要用无尘布包裹,二次配系统简介,上海盛剑环境系统科技有限公司,制程排气系统,施工说明：,物料进入无尘室流程 1、携入无尘室之前，工具、物料、附件必须要在无尘室外擦拭干净，不能有油、锈、灰尘等。 2.不可将纸箱、木质类发尘源带入洁净室。 3.脚手架、手推车轮子要用斑马胶带包裹。A字梯要用无尘布包裹,二次配系统简介,上海盛剑环境系统科技有限公司,制程排气系统,施工步骤及方法：,1、风管的安装标高，对于矩形风管是从管底算起，而圆形风管是从风管中心计算，在安装吊架时应引起注意。圆形风管的管径由大变小时，为保持风管中心线的水平

7、，托架的标高应按变径的尺寸相应地提高。 2、为保证法兰接口的严密性，法兰之间应有耐高温、防腐蚀PTFE密封垫。在无特殊要求情况下，法兰垫料按标准选用。 3、 风管安装：根据施工现场情况，可以在地面连成一定的长度，然后采用吊装的方法就位；也可以把风管一节一节地放在支架上逐节连接。一般安装顺序是先干管后支管。应及时固定和调整支架，支架位置应准确，安装应平整牢固，与管子接触应紧密。 4、对于暂时不安装的孔洞不要提前打开；暂停施工时，应加盖板，以防坠人坠物事故发生。 5、 防火阀安装，方向位置应正确，易熔件应迎气流方向。排烟阀手动装置（预埋导管）不得出现死弯及瘪管现象，手动密闭阀安装时阀门上标志的箭头

8、方向应与受冲击波方向一致。 6、安装必须牢固，位置、标高和走向符合设计要求，部件方向正确，操作方便。防火阀检查孔的位置必须设在便于操作的部位。 9、洁净系统风管连接必须严密不漏；法兰垫料及接头方法必须符合设计要求和施工规范规定。,二次配系统简介,上海盛剑环境系统科技有限公司,制程排气系统,施工步骤及方法：,10、洁净系统柔性短管所采用的材料，必须不产尘、不透气，内壁光滑；柔性短管与风管，设备的连接必须严密不漏，并做好各项预检工程检查记录表及技术交底。 11、二次配风管安装要了解机台所排介质，所排介质中有液体的接点，不允许有存水弯出现，如果因其他原因造成存水弯的出现，一定要在存水弯的底部开排水口

9、，并接入废水管。 12、二次配：Local Scrubber设备在安装风管时应要注意（Local Scrubber设备通常会放在下夹层，TAKE OFF点都会高过Local Scrubber设备的接口，设备在处理过程中会有水蒸汽带进风管中，水会越积越多，设备出口自带止回阀，液体回不到设备中，风管就会被堵死），安装方法见图： 13、二次配：对于放在二楼的设备，主系统风管在下夹层，要穿过RC孔去接设备，会堪时了解所排介质中是否有液体，没有液体的设备下夹层风管可以水平安装，有液体的设备风管安装要有坡度，通常有液体的机台风管安装坡度3-5，且中间没有存水弯出现。风管躲其他系统的管路，风管只可以往上弯，不可以往下弯。 14、二次配风管在现场切割：特氟龙风管绝对不准使用角磨机切割片切割，可以使用曲线锯及手提盘锯切割，切口要平整度一致，操作时要一人切割，一人拿吸尘器对准切割口吸尘。,二次配系统简介,上海盛剑环境系统科技有限公司,制程排气系统,施工步骤及方法：,17、二次配安装风管安装方法及固定支架安装见下图。,二次配系统简介,上海盛剑环境系统科技有限公司,制程排气系统,施工步骤及方法：,15、二次配风管翻遍：翻遍前检查机械是否运转正常，翻遍磨具是否有异物、毛刺。翻遍时压轮压力要适中，压力过大会破坏涂层，并且涂层会被挤压拉长变皱。压力过小会