工厂无尘室培训教材演示课件

1、无尘室培训教材,无尘室的起源与发展,十九世纪初期，各种细菌被相继发现，为防止病房、手术室中细菌传播，无菌室成为最有效的对策，这便是现代无尘室的前身。 飞机所使用的小轴承及齿轮若至于粉末，灰尘多的环境中制造，不但故障频发而且容易引发严重事故，这个事实在二战前就已经被了解。 二战时，美国将零件置于空气浮尘较少处进行加工组合，装备的可靠性得到极大的提升。 与此同时，美国的曼哈顿计划中，为除去放射性微粒，制造了超高性能过滤器(HEPA FILTER)，对日后洁净技术的开发影响极大。 1967年，美国进行阿波罗计划时，为防止细菌在大气层和外太空传播，制定了无尘室的相关规格。,3,无尘室的控制要素,无尘室

2、的定义,无尘室(Clean Room)： 指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除； 并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。 亦即是不论外在的空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。,洁净等级分类,5,1.不带入 适当压差 MAU过滤器 AIR SHOWER,2.不发尘 用人少,动作轻 人员穿着无尘衣 使用CR专用器具,3.不堆积 LAYOUT无死角 设备四周留空间 定期保养与清扫,4.速排除 污染源直接排除 换气次数要足够 适当的回风术气流速

3、,维持洁净度的基本准则,污染物大小与对比,7,无尘室控制-微尘粒子的排除,减少粒尘进入无尘室 去除外器引入之尘粒 控制正压 设置Air Shower 设置Pass Box 去除无尘室内之尘粒 冲淡法:以洁净空气冲淡无尘室内尘粒 置换法:以洁净空气置换无尘室内之尘粒,无尘室控制-微尘粒子的排除,空调箱内空气过滤网种类,预滤网(Pre-filter) 滤除大气中1m以上之粗粒子 过滤效率7090% ASHRAE ARRESTANCE 用来延长中级过滤网之效率 中级过滤网(Middle filter) 滤除大气中1m以下之粗粒子 过滤效率3595 % Dust Spot 用来延长最终过滤网之效率 最

4、终过滤网(Final filter) 滤除大气中0.5m以下之微粒子 过滤效率99.97% 以上DOP 可分-HEPA及ULPA,无尘室控制-微尘粒子的排除,天花板上最终空气过滤网种类,HEPAHigh Efficiency Particulate Air Filter 滤除大气中0.3m以下之微粒子 过滤效率99.97% 以上DOP(即穿透率小于万分之三) ULPAUltra Law Penetration Air Filter 滤除大气中0.1m以下之微粒子 过滤效率99.999%以上DOP(即穿透率小于十万分之一) Note :传统滤材为玻璃纤维材,随晶圆线径越細, 滤材逐渐为PTFE,

5、无尘室控制-微尘粒子的排除,Air Flow,Fan Filter Unit,外气空调箱,Tools,Humidifier,11,Tools,无尘室控制-微尘粒子的排除,每立方呎屋外空气 尘粒(0.3m)数量 大约7,143,000个,经初级滤网去除数量 1%(重量去除85%) 通过7,072,000个/ft3,经 中级滤网 去除数量55%通 过3,182,400个/ft3,经最终滤网去除 数量99.97%通过 955个/ft3进无尘室,假设送风量350ft3/sec,洁净度控制举例,无尘室,初级滤网,预冷盘管,预热盘管,加湿器,截水器,冷却盘管,加热盘管,初级滤网,送风机组,中级滤网,逆止风

6、门,外气空调箱,无尘室控制-微尘粒子的排除,Air Flow,Fan Filter Unit,外气空调箱,来自空调箱供应 955个/ft3x350ft3/s =334,250个/s,机台 人员 建筑 发尘30,000个/s,滞留系数0.1 3,000个/s未带走,27,000个/s 被气流带走,334,250+27,000 = 361,250个/s,HEPA去除效 率99.99%每秒 约通过36.1个,(3,000+37) /3,500 = 0.87个 / ft3符合,洁净度控制举例(符合Class 1 0.3m范例),假设换气量每秒3,500ft3,制造区,无尘室控制-微尘粒子的排除,无尘室

7、控制人员的进出管控,经预冷盘管后冷却 为16.6oC RH 100%,假设送风量10m3/sec,无尘室,初级滤网,预冷盘管,预热盘管,加湿器,截水器,冷却盘管,加热盘管,初级滤网,送风机组,中级滤网,逆止风门,夏天外气条件 DB 35oC，RH 80% (气象统计1%),无尘室运转条件 222oC，RH 455% (依产品制造要求),经冷却盘管后除湿 为9.5oC RH 100%,经加热盘管后 改变 湿度11.2oC RH 90%,外气空调箱控制 温度、湿度,无尘室控制温湿度的控制,Air Flow,Fan Filter Unit,外气空调箱,空调箱供应 11.2oC 90% 10 m3/s

8、,机台 人员 建筑 4F发热量：180 KJ/秒 3F发热量：100 KJ/秒,100 =1.17x(100-10)x(T3f-22) T3f 22.95oC,(符合222oC相对湿度455%范例),假设每秒换气量100m3(比容1.17),制造区,180 =1.17x100 x(T4f-20.5) T4f 22oC,冷盘管容量= 1.17x90 x(22.95-20.5) 1.17x10 x(20.5-11.2) = 257.99 - 108.81 = 149.18选160 KJ/s,制程排气10 m3/s,设定温度20.5oC,Tools,无尘室控制温湿度的控制,17,无尘室控制气流型态的控制,无尘室控制气流型态的控制,乱流式洁净室,适用在Class100或较不严谨之洁净室,侧回风10,000-100,000级；地板回风 1,00010000级,垂直层流式洁净室,层流方式一般用于100级及以下的洁净室,水平层流式洁净室,适用在医院手术室等场所,混流式洁净室,Class100或Class1k,Class10或Class1,Class100或Cla