OLED简介PPT课件

OLED介绍,GENESISVacuumTechnologiesInc.FrankHuang,Clicktoaddyourtext,.,2,Contents,.,3,OLED简介,OLED，即有机发光二极管（OrganicLight-EmittingDiode），又称为有机电激光显示（OrganicElectroluminesenceDisplay,OELD）。OLED可按发光材料分为两种：小分子OLED和高分子OLED（也可称为PLED）。小分子OLED和高分子OLED的差异主要表现在器件的制备工艺不同：小分子器件主要采用真空热蒸发工艺，高分子器件则采用旋转涂覆或喷涂印刷工艺。,.,4,OLED特点,OLED的优点（1）全固态、自发光：无需背光源。（2）宽视角：视角大于160。（3）高分辨率：有源矩阵OLED的分辨率很容易达到UXGA。（4）高亮度：一般在10014000cd/。（5）发光效率高：16lm38lm/W。（6）响应速度快：10微秒左右。（7）工作温度范围宽：-4075。（8）驱动电压低：210伏。（9）功耗小：350400mW（在150cd/时）。（10）超薄：2mm左右。OLED的缺点（1）寿命短、稳定性差。通常只有5000小时，要低于LCD至少1万小时的寿命（2）全色显示问题还没有解决，不容易显示出鲜艳、浓郁的色彩。（3）不能实现大尺寸屏幕的量产，因此目前只适用于便携类的数码类产品。,.,5,OLED典型结构和发光机理,OLED的基本结构是由一薄而透明具半导体特性之铟锡氧化物(ITO)，与电力之正极相连，再加上另一个金属阴极，包成如三明治的结构。整个结构层中包括了：电洞传输层(HTL)、发光层(EL)与电子传输层(ETL)。在外加电压的驱动下，空穴和电子分别从正极和负极注入到有机材料中，空穴与电子在有机层中相遇、复合，释放出能量，将能量传递给有机发光物质的分子，使其从基态跃迁到激发态。激发态很不稳定，受激分子从激发态回到基态，辐射跃迁而产生发光现象，依其配方不同产生红、绿和蓝RGB三原色，构成基本色彩。,.,6,OLED制造流程,OLED器件制作包括：ITO/Cr玻璃清洗光刻再清洗前处理真空蒸发多层有机层（4-5层）真空蒸发背电极真空蒸发保护层封装切割测试模组组装产品检验、老化实验以及QC抽检工序。,.,7,OLED关键工艺,ITO的洗净及表面处理作为阳极的ITO（Indium-tin-oxide，氧化铟锡）表面状态好坏直接影响空穴的注入和与有机薄膜层间的介面电子状态及有机材料的成膜性。通常先对ITO表面用湿法处理，即用洗涤剂清洗，再用乙醇，丙酮及超声波清洗或用有机溶剂的蒸汽洗涤，后用红外灯烘乾。洗净后对ITO表面进行活化处理，紫外线-臭氧（UV-O3)和等离子(RF-PLASMA)表面处理是目前制作OLED器件常用的两种方法，主要目的是：1去除ITO表面残留的有机物。2促使ITO表面氧化增加ITO表面的功函数。,.,8,OLED关键工艺,有机薄膜蒸镀工艺OLED器件在高真空腔室中蒸镀多层有机材料薄膜，膜的质量是关系到器件质量和寿命的关键。蒸发多种材料分别在几个真空室中进行，防止交叉污染。金属电极的制作工艺金属电极的制作工艺要在与有机材料薄膜蒸镀室相隔绝的真空腔室中进行。在蒸镀有机材料薄膜和金属薄膜时要维持较高真空度，否则会影响有机材料薄膜和金属薄膜的质量和器件的寿命。,.,9,OLED关键工艺,封装OLED器件的有机薄膜及金属薄膜与水和空气接触会立即氧化变坏,一定要采取措施避免这个问题。封装工艺一定要在无水无氧的惰性气体中进行,封装材料包括粘合剂和覆盖材料。粘合剂使用紫外固化或热固化环氧固化剂，覆盖材料採用玻璃封盖，在封盖内加装乾燥剂来吸附残留的水分。,.,10,OLED设备介绍,一条OLED生产线整合了基板前处理、有机材料蒸镀、金属电极镀膜和封装等各个工艺腔。主要有两种形式：,.,11,OLED设备简介（ULVAC和YOKKI机台）,.,12,OLED设备介绍,.,13,OLED设备介绍,.,14,OLED设备-loading,.,15,OLED设备-PLASMA处理,.,16,OLED设备-有机蒸镀腔,.,17,为什么需要用冷泵,OLED生产需要洁净的高真空，一般在10-6Torr级别。OLED工艺对设备振动非常敏感，高真空建立只能选择振动