自动检测技术及应用3(力学传感器及力学量检测)ppt课件

自动检测技术及应用_(力学传感器),杨柳yl916513302266827QQ：398530543,项目三力、压力传感器及应用,了解力的概念及力的测量原理。掌握常用力、压力传感器的测量原理。掌握电阻应变片的测量电路及补偿原理掌握电容式传感器的测量原理熟悉应变式、压电式、电容式等传感器的应用。,学习要点,2.1概述,力是物质之间的一种相互作用,物体之间相互作用的结果,使物体产生变形；,在物体内产生应力、应变；,改变物体的机械运动状态；,改变物体所具有的动能和势能。,力传感器的组成,力是一种非电物理量，不能用电工仪表直接测量，需要借助某一装置将力转换为电量进行测量，能实现这一功能的装置就是力传感器。力传感器主要由力敏感元件、转换元件和测量电路组成。如图2-1所示。,图2-1力传感器测量示意图,力的计量单位及测量原理,力的计量单位为牛顿,力的测量的原理,力的静力效应,力的动力效应,指弹性物体受力后产生变形的一种物理现象。由胡克定律知：如在弹性范围内,弹性物体在力的作用下产生的变形（x），与所受的力F成正比(k为弹性元件的劲度系数)。因此，只要通过一定的手段测出物体的弹性变形量，就可间接确定物体所受力的大小。,指具有一定质量的物体受到力的作用时，其动量将发生变化，从而产生相应加速度的物理现象。由牛顿第二定律可知：当物体质量（m）确定后，物体受到的力（F）与所产生的加速度（a）成单值对应关系。只要测出物体的加速度，就可间接测得物体所受到力的大小。,测量力的方法,其中大多需要弹性敏感元件或其它敏感元件的转换。,测量力的方法,电阻式（电位器式、电阻应变片式）,电感式（自感、互感、涡流）,电容式,压电式,压磁式,压阻式,返回本章目录,2.2弹性敏感元件,弹性敏感元件把力或压力转换成了应变或位移,然后再由转换电路将应变或位移转换成电信号。弹性敏感元件是力传感器中一个关键性的部件，应具有良好的弹性、足够的精度,应保证长期使用和温度变化时的稳定性。,2.2.1弹性敏感元件的特性,1.刚度抵抗变形的能力刚度是弹性元件在外力做用下变形大小的量度，一般用表示,式中F作用在弹性元件上的外力,x弹性元件产生的变形,（2-1）,2.灵敏度,灵敏度弹性敏感元件在单位力作用下产生变形的大小，在弹性力学中称为弹性元件的柔度。它是刚度的倒数,用K表示,（2-2）,在测控系统中希望它是常数,3.弹性滞后,实际的弹性元件在加载、卸载的正反行程中变形曲线是不重合的，这种现象称为弹性滞后现象，它会给测量带来误差。如图2-2所示。原因：弹性元件在工作过程中分子间存在内摩擦。当比较两种弹性材料时，应都用加载变形曲线或都用卸载变形曲线来比较，这样才有可比性。,图2-2弹性滞后,4.弹性后效,当载荷从某一数值变化到另一数值时,弹性元件变形不是立即完成相应的变形，而是经一定的时间间隔逐渐完成变形的，这种现象称为弹性后效。,图2-3弹性后效,弹性后效造成的结果由于弹性后效的存在，弹性敏感元件的变形始终不能迅速地跟上力的变化，在动态测量时将引起测量误差。造成这一现象的原因是由于弹性敏感元件中的分子间存在内摩擦。,2.2.2弹性敏感元件的分类,弹性敏感元件分类,力转换为应变或位移的变换力的弹性敏感元件。,压力转换为应变或位移的变换压力的弹性敏感元件。,1.变换力的弹性敏感元件,图2-4变换力的弹性敏感元件,2.变换压力的弹性敏感元件,图2-5变换压力的弹性敏感元件,(1)弹簧管弹簧管又叫布尔登管，它是弯成各种形状的空心管，管子的截面形状有许多种，但使用最多的是C形薄壁空心管。如图2-5a所示。C形弹簧管的一端密封但不固定，成为自由端，另一端连接在管接头上且固定。当流体压力通过管接头进入弹簧管后，在压力F作用下，弹簧管的横截面力图变成圆形截面，截面的短轴力图伸长。使弹簧管趋向伸直，一直伸展到管弹力与压力的作用相平衡为止。这样自由端便产生了位移。通过测量位移的大小，比可得到压力的大小。,(1)弹簧管,各种波纹管敏感元件的外形,波纹管是有许多同心环状皱纹的薄壁圆管,返回本章目录,2.3电阻应变式传感器,电阻应变式传感器是一种利用电阻材料的应变效应，将工程结构件的内部变形转换为电阻变化的传感器。此类传感器主要是在弹性元件上通过特定工艺粘贴电阻应变片来组成。通过一定的机械装置将被测量转化成弹性元件的变形，然后由电阻应变片将变形转换成电阻的变化，再通过测量电路进一步将电阻的改变转换成电压或电流信号输出。可用于能转化成变形的各种非电物理量的检测，如力、压力、加速度、力矩、重量等，在机械加工、计量、建筑测量等行业应用十分广泛。,2.3.1电阻应变片的结构,电阻应变片的作用是把导体的机械应变转换成电阻变化。电阻应变片的典型结构如图2-6所示。由敏感栅、基底、覆盖层和引线等部分组成。敏感栅由直径约为0.010.05mm、高电阻系数的细丝弯曲而成栅状；基地的作用应能保证将构件上的应变准确地传递到敏感栅上去，因此必须做得很薄，一般为0.030.06mm。图中l为应变片的工作基长，b为应变片的基宽，lb为应变片的有效使用面积。应变片规格一般是以有效使用面积和敏感栅的电阻值来表示，如3100mm2、120、350等。,图2-6电阻应变片的结构,电阻应变片测试原理,测试时，将应变片用粘接剂牢固的粘贴在被测试件的表面上，随着试件受力变形，应变片的敏感栅也获得同样的变形，从而使其电阻随之发生变化，而此电阻的变化是与试件应变成比例的，因此如果通过一定的测量线路将这种电阻的变化转换为电压或电流变化，然后再用显示记录仪表将其显示记录下来，就能知道被测试件应变量的大小。其原理图如图2-7所示。,图2-7电阻应变片测试与原理图,2.3.2电阻应变片的分类,半导体应变片,应变片分类,箔式,薄膜式,丝式,金属电阻应变片,按其敏感栅不同,按使用温度,按用途可分为,单向力测量应变片平面应力分析应变片（应变花）特殊用途应变片等,低温常温中温高温应变片,应变片形状,图2-9应变花的形状,图2-8电阻应变片类型,箔式应变片外形,2.3.3电阻应变片工作原理,电阻应变片式传感器是利用了金属和半导体材料的“应变效应”应变效应金属和半导体材料的电阻值随它承受的机械变形大小而发生变化的现象就称为“应变效应”。如图2-10所示，当电阻丝受到拉力F时，其阻值发生变化。材料电阻值的变化，一是受力后材料几何尺寸变化；二是受力后材料的电阻率也发生了变化。,图2-10金属电阻丝应变效应,电阻应变片的工作原理,金属丝受拉时，l变长、r变小，导致R变大。,以圆柱形导体为例：电阻R（根据电阻的定义式）,电阻丝变形过程,图2-10金属电阻丝应变效应,电阻丝半径,电阻丝长度,电阻丝截面积,电阻丝电阻率,当导体因某种原因产生应变时，其长度L、截面积A和电阻率的变化为dL、dA、d相应的电阻变化为dR。对式（2-3）全微分得电阻变化率dR/R为：,(2-4),由材料力学得,为电阻丝材料的泊松比。即横向收缩与纵向伸长之比。即,径向应变,轴向（纵向）应变,金属材料的灵敏度系数，表示单位应变所引起的电阻相对变化，主要取决于其几何效应，取1.73.6,材料的电阻率随应变所引起的变化“压阻效应”。这是由于材料发生变化时，其自由电子的活动能力和数量均发生了变化的缘故,电阻丝几何尺寸形变所引起的变化几何效应,材料的轴向应变,电阻应变片的灵敏系数,当我们将金属丝做成电阻应变片后，电阻-应变特性与金属单丝是不同的。实验证明，电阻的相对变化与应变的关系在很大范围内仍然有很好的线性关系，即,（2-6）,电阻应变片的灵敏系数。其值恒小于金属单丝的灵敏度系数。究其原因，除了应变片使用时胶体粘贴传递变形失真外，另一重要原因是由于存在着所谓横向效应的缘故。,2.3.4电阻应变片的测量电路,电阻应变片传感器输出电阻的变化较小，一般为，要精确的测量出这些微小电阻的变化，常采用桥式测量电路。如:有一金属箔式应变片，标称阻值R0为100，灵敏度K=2，粘贴在横截面积为9.8mm2的钢质圆柱体上，钢的弹性模量E=21011N/m2，所受拉力F=0.2t，受拉后应变片的阻值R的变化量仅为0.2，所以必须使用不平衡电桥来测量这一微小的变化量。(弹性模量E是指材料在外力作用下产生单位弹性变形所需要的应力)根据电桥电源的不同，电桥可分为直流电桥和交流电桥。可采用恒压源或恒流源供电。由于直流电桥比较简单，交流电桥原理与它相似，所以我们只分析直流电桥的工作原理。,恒压源供电的直流电桥的工作原理,如图2-11a所示为恒压源供电的直流电桥测量电路。其特点是，当被测量无变化时，电桥平衡时输出为零。当被测量发生变化时，电桥平衡被打破，有电压输出。输出的电压与被测量的变化成比例。电桥的输出电压为:,图2-11a,当输出电压为零时，电桥平衡，因此或为电桥平衡条件。为了获得最大的电桥输出，在设计时常使（称为等臂电桥）。当四个桥臂电阻都发生变化时，电桥的输出为,调零电桥,实际应用时，不可能严格成比例关系，所以即使在未受力时，桥路输出也不一定为零，因此一般测量电路都设有调零装置，如图2-11b所示。调节RP可使电桥达到平衡，输出为零。图中是用于减小调节范围的限流电阻。,2.恒流源供电的直流电桥的工作原理,如图2-12所示为恒流源供电的直流电桥测量电路。电桥输出为：,恒压源电桥输出,图2-12恒流源供电的电桥测量电路,1单臂电桥的工作原理与输出,在四臂电桥中，R1为工作应变片，由于应变而产生相应的电阻变化R1。R2、R3及R4为固定电阻。Uo为电桥输出电压。初始状态下，电桥是平衡的，Uo=0，从而可得到电桥平衡条件为:R1R3=R2R4,得出单臂电桥输出：,电桥总输出,根据电桥输出公式:,图2-13a,2、差动电桥,消除非线性误差的方法采用差动电桥,在试件上安装两个工作应变片，一片受拉，一片受压，它们的阻值变化大小相等、符号相反，接入电桥相邻臂,这时输出电压Uo与R1/R1成严格的线性关系，没有非线性误差，而且电桥灵敏度比单臂提高一倍，还具有温度误差补偿作用.,设初始时R1=R2=R3=R4R1=R2则,图2-13b,3.差动全桥,差动全桥设初始时R1=R2=R3=R4R1=R2=R3=R4,图2-13C,双臂电桥输出灵敏度是单臂电桥的两倍，全桥输出是双臂电桥的两倍。并且采用双臂和全桥测量，可以补偿由于温度变化引起的测量误差。,则,2.3.5应变片的温度误差及补偿,1.应变片的温度误差电阻应变片传感器是靠电阻值来度量应变的，所以希望它的电阻只随应变而变，不受任何其他因素影响。但实际上，虽然用作电阻丝材料的铜、康铜温度系数很小(大约在=(2.55.0)10-5/)，但与所测应变电阻的变化比较，仍属同一量级。如不补偿，会引起很大误差。这种由于测量现场环境温度的变化而给测量带来的误差，称之为应变片的温度误差。造成温度误差的原因主要有下列两个方面：1）敏感栅的金属丝电阻本身随温度变化；2）试件材料与应变片材料的线膨胀系数不一致，使应变片产生附加变形，从而造成电阻变化。另外，温度变化也会影响粘接剂传递变形的能力，从而对应变片的工作特性产生影响，过高的温度甚至使粘接剂软化而使其完全丧失传递变形的能力，也会造成测量误差。但以上述两个原因为主。,2.电阻应变片的温度补偿方法,应变片的温度补偿方法通常有两种，即线路补偿和应变片自补偿。,图2-14电桥补偿法,温度变化后电路仍呈平衡,（2）应变片自补偿利用自身具有补偿作用的应变片（称之为温度自补偿应变片）来补偿的。这种自补偿应变片制造简单，成本较低，但必须在特定的构件材料上才能使用，不同材料试件必须用不同的应变片。,（1）线路补偿,在不测应变时电路呈平衡，即,全桥的温度补偿原理,当环境温度升高时，桥臂上的应变片温度同时升高，温度引起的电阻值漂移数值一致，可以相互抵消，所以全桥的温漂较小；半桥也同样能克服温漂。,2.3.6应变片的粘接剂及粘贴、固化和检查,1.粘接剂的种类常用的粘接剂可分为有机粘接剂和无机粘接剂两大类。有机粘接剂通常用于低温、常温和中温.无机粘接剂用于高温。选择时要根据基底材料、工作温度、潮湿程度、稳定性要求、加温加压的可能性和粘贴时间的长短等因素来考虑。主要粘接剂牌号有：万能胶、501、502、914、509、J06-2、JSF-2、1720、J-12、30-14、GJ-14、LN-3、P10-6等。,2.应变片的粘贴、固化和检查,（1）去污试件表面的处理粘贴之前，应先将试件表面清理干净，用细砂纸将试件表面打磨平整，再用丙酮、四氯化碳彻底清洗试件表面的灰尘、油渍，清理面积约为应变片的35倍。,（2）应变片的粘贴方法,在清理的试件表面上均匀涂刷一薄层粘接剂作为底层，待其干燥固化后，再在此底层及应变片基地的地面上均匀涂刷一薄层粘接剂，等粘接剂稍干，即将应变片贴在画线位置，用手指滚压，把气泡和多余的粘接剂挤出。注意，应变片的底面也要清理。,（3）粘贴后测量,从分开的端子处，预先用万用表测量应变片的电阻，寻找端子折断和损坏的应变片。,（4）焊接,将引线和端子用烙铁焊接起来，注意不要把端子扯断。,（5）固定,焊接后用胶布将引线和被测对象固定在一起，防止损坏引线和应变片。,实训一应变片单臂、半桥、全桥电路特性及比较实验,一、实验目的：1.了解电阻应变片的工作原理与应用并掌握应变片测量电路。2了解应变片半桥（双臂）工作特点及性能。3了解应变片全桥工作特点及性能。4比较单臂、半桥、全桥输出时的灵敏度和非线性度，得出相应的结论。,实训一应变片单臂、半桥、全桥电路特性及比较实验,二、基本原理：电阻应变式传感器是在弹性元件上通过特定工艺粘贴电阻应变片来组成。一种利用电阻材料的应变效应将工程结构件的内部变形转换为电阻变化的传感器，此类传感器主要是通过一定的机械装置将被测量转化成弹性元件的变形，然后由电阻应变片将变形转换成电阻的变化，再通过测量电路将电阻的变化转换成电压或电流变化信号输出。可用于能转化成变形的各种非电物理量的检测，如力、压力、加速度、力矩、重量等，应用十分广泛。,实训一应变片单臂、半桥、全桥电路特性及比较实验,测量电路为了将电阻应变式传感器的电阻变化转换成电压或电流信号，在应用中一般采用电桥电路作为其测量电路。电桥电路具有结构简单、灵敏度高、测量范围宽、线性度好且易实现温度补偿等优点。能较好地满足各种应变测量要求，因此在应变测量中得到了广泛的应用。电桥电路按其工作方式分有单臂、双臂和全桥三种，单臂工作输出信号最小、线性、稳定性较差；双臂输出是单臂的两倍，性能比单臂有所改善；全桥工作时的输出是单臂时的四倍，性能最好。因此，为了得到较大的输出电压信号一般都采用双臂或全桥工作。,实训一应变片单臂、半桥、全桥电路特性及比较实验,实训一应变片单臂、半桥、全桥电路特性及比较实验,三、需用器件与单元：机头中的应变梁、振动台；主板中的F/V电压表、4V电源、箔式应变片输出口、电桥、差动放大器、砝码。,实训一应变片单臂、半桥、全桥电路特性及比较实验,四、需用器件与单元介绍：熟悉需用器件与单元在传感器箱中机头与主板的布置位置(参阅以上说明书二、实验箱组成图)。1、图14为主板中的电桥单元。图中：菱形虚框为无实体的电桥模型(为实验者组桥参考而设，无其它实际意义)。R1=R2=R3=350是固定电阻，为组成单臂应变和半桥应变而配备的其它桥臂电阻。W1电位器、r电阻为电桥直流调节平衡网络，W2电位器、C电容为电桥交流调节平衡网络。,2、主板中的差动放大器单元。图中：左图是原理图。其中：IC1-1AD620是差动输入的测量放大器(仪用放大器)；IC1-2为调零跟随器。右图为实验面板图。,五、实验步骤：,1.差动放大器调零点：按图示意接线。(放大器输入为0),将FV表的量程切换开关切换到2V档，合上实验箱主电源开关，将差动放大器的拨动开关拨到“开”位置，将差动放大器的增益电位器按顺时针方向轻轻转到底后再逆向回转半圈，调节调零电位器，使电压表显示电压为零。差动放大器的零点调节完成，关闭主电源。,2、应变片单臂电桥特性实验：将主板上传感器输出单元中的箔式应变片(标有上下箭头的4片应变片中任意一片为工作片)与电桥单元中R1、R2、R3组成电桥电路，电桥的一对角接4V直流电源，另一对角作为电桥的输出接差动放大器的二输入端，将W1电位器、r电阻直流调节平衡网络接入电桥中(W1电位器二固定端接电桥的4V电源端、W1的活动端r电阻接电桥的输出端)，如图示意接线。,检查接线无误后合上主电源开关，在机头上应变梁的振动台无砝码时调节电桥的直流调节平衡网络W1电位器，使电压表显示为0或接近0(有小的起始电压也无所谓，不影响应变片特性与实验)。,在应变梁的振动台中心点上放置一只砝码(20g只)，读取数显表数值，依次增加砝码和读取相应的数显表值，第一次可以将10只砝码全部放上，调整放大器增益开关至一设定值，反复调整W1电位器和放大器增益开关至合适值后，固定增益开关不再调节，根据砝码数量的变化，记下实验数据填入表1。,3、应变片双臂电桥特性实验：将主板上传感器输出单元中的箔式应变片(标有上下箭头的4片应变片中任意两片为工作片)与电桥单元中R1、R2组成电桥电路，电桥的一对角接4V直流电源，另一对角作为电桥的输出接差动放大器的二输入端，将W1电位器、r电阻直流调节平衡网络接入电桥中(W1电位器二固定端接电桥的4V电源端、W1的活动端r电阻接电桥的输出端)，如图示意接线。,检查接线无误后合上主电源开关，在机头上应变梁的振动台无砝码时调节电桥的直流调节平衡网络W1电位器，使电压表显示为0或接近0(有小的起始电压也无所谓，不影响应变片特性与实验)。,在应变梁的振动台中心点上放置一只砝码(20g只)，读取数显表数值，依次增加砝码和读取相应的数显表值，根据砝码数量的变化，记下实验数据填入表1中双臂电桥的数据。3、应变片全臂电桥特性实验：同上两步骤接线并记录全桥电路数据。,根据表1数据画出实验曲线并计算灵敏度SV/W（V输出电压变化量，W重量变化量）和非线性误差(用最小二乘法)，=m/yFS100式中m为输出值（多次测量时为平均值）与拟合直线的最大偏差：yFS满量程输出平均值，此处为200g。根据实验所得的结果进行单臂、半桥和全桥输出的灵敏度和非线性度分析比较（注意：实验一、二、三中的放大器增益必须相同）。实验完毕，关闭电源。,作业,P159三1,4实验报告1:准备1:传感器的标定(P151)准备2:电容式传感器的测量原理,分类和特点(P163)准备3:电容式传感器的测量转换电路(上网找)准备4:电容式传感器的应用(差动电容式差压变送器,上网找),1.利用全桥电路测量桥梁的上下表面应变,R1、R3与R2、R4感受到的应变绝对值相等、符号相反,R1t=R2t=R3t=R4t,因而应变片R1R4产生的电阻增量合并为4倍的R，Rt则相互抵消,2.3.7电阻应变片传感器的应用,2.应变式力传感器制成的电子秤工作示意图,电子秤中的各种弹性敏感元件,荷重传感器上应变片工作示意图,荷重传感器上的应变片在重力作用下产生变形。轴向变短，径向变长。,图2-18荷重传感器上应变片工作示意图,荷重传感器原理演示,荷重传感器上的应变片在重力作用下产生变形。轴向变短，径向变长。,应变式力传感器,应变式力传感器,F,F,F,F,各种悬臂梁,F,F,固定点,固定点,电缆,应变式荷重传感器的外形及应变片的粘贴位置,F,应变式荷重传感器外形及受力位置（续）,F,F,汽车衡,电子秤,磅秤,超市打印秤,远距离显示,电子天平,电子天平的精度可达十万分之一,人体秤,吊钩秤,便携式,应变式数显扭矩扳手,可用于汽车、摩托车、飞机、内燃机、机械制造和家用电器等领域，准确控制紧固螺纹的装配扭矩。量程2500N.m，耗电量10mA，有公制/英制单位转换、峰值保持、自动断电等功能。,电阻应变仪,下图所示的静态应变仪测量范围：19999；分辨率：1；电桥电压：直流2.5V；应变片：120或其他阻值；测量点数：8/16点；,材料应变的测量,斜拉桥上的斜拉绳应变的测量,返回本章目录,.,12.1传感器的静态标定和动态标定,12.1.1标定标定对新研制或生产的传感器进行全面的技术检定称为标定；校准将传感器在使用中或存放后进行的性能复测称为校准。传感器的标定是指在明确传感器的输出与输入关系的前提下，利用某种标准器具对传感器进行标度。标定的基本方法利用标准仪器产生已知的非电量（如压力、位移等）作为输入量，输入到待标定的传感器中，然后将传感器的输出量与输入的标准量相比较，获得一系列校准数据或曲线。有时输入的标准量是利用一个标准传感器检测而得，这时的标定实质上是待标定传感器与标准传感器之间的比较。,.,传感器的标定系统一般由以下几部分组成：,（1）被测非电量的标准发生器，如活塞式压力计、测力机、恒温源等；（2）被测非电量的标准测试系统，如标准压力传感器、标准力传感器、标准温度计等；（3）待标定传感器所配接的信号调节器、显示器和记录器等，其精度是已知的。,.,为了保证各种量值的准确一致，标定应按计量部门规定检定规程和管理办法进行。各种标准量值都有一个传递系统，图12-1给出了力值传递系统。按此系统，只能用上一级标准装置检定下级传感器及配套的仪器。如果待定的传感器精度较高，可以跨级使用更高级的标准装置。工程测试所用传感器的标定应在与其使用条件相似的环境下进行。有时为了获得较高的标定精度，可将传感器与其配用的电缆、放大器等测试系统一起标定。有些传感器标定时还应注意规定安装技术条件。,图12-1力值传递系统,.,12.1.2静态标定,静态标定是指在静态标准条件下，对传感器的静态特性、静态灵敏度、非线性、迟滞、重复性等性能指标的确定。1.静态标准条件静态标准条件是指没有加速度、振动、冲击（除非这些参数本身是被测量），环境温度一般为（205），相对湿度不大于85%，大气压力为101.3087.998KPa的情况。,.,2.标准仪器设备的精度等级的确定,按照国家规定，各种量值传递系统在标定传感器时所用的标准仪器及设备至少要比被标定的传感器的精度高一个等级。只有这样，通过标定确定的传感器的静态性能才是可靠的，所确定的精度才是可信的。（1）标准器：标准器应有足够的精度，其允许的基本误差不应超过被校传感器允许基本误差的1/51/10，并具有计量部门周期检定的合格证书。（2）电源：按传感器要求配备，其稳定度按传感器技术要求确定，一般应为被校传感器精度的1/51/10。（3）读数记录和数据处理装置，要求其精度为被校传感器精度的1/31/10。对以上三部分设备的共同要求是：具有合适的测量范围，性能稳定可靠，操作使用方便。,.,3.对被校传感器的要求,（1）外观完整，并附有生产厂家按技术条件所规定的技术指标或铭牌，铭牌应标明传感器名称、制造厂、型号、规格、出厂编号、出厂年月。（2）传感器电源输入线和输出线应有明显区别，并给出线路连接图，标定时应同时将与传感器配套的设备，电缆一起标定。,.,4.标定过程及步骤,（1）将传感器全量程（测量范围）分成若干个等间隔点；（2）按照等间隔点，由小到大逐一输入标准量值，并记录下与各输入值相对应的输出值；（3）再由大到小逐一输入标准量值，同时记录对应的各输出值；（4）按（2）、（3）所述过程，对传感器进行正、反行程反复循环多次测试，将得到的输出、输入测试数据用表格列出或画成曲线；（5）对测试数据进行必要的处理，根据处理结果，可以确定传感器的线性度、灵敏度、滞后和重复性等静态特性指标。,.,12.1.3动态标定,传感器的动态标定主要是研究传感器的动态响应及与动态响应有关的参数。对一阶传感器只有一个时间常数对二阶传感器则有固有频率和阻尼比两个参数。,.,1.标准仪器设备的精度等级的确定,对于动态校准系统，除具备静态标定对仪器设备精度等级要求外，还必须具有足够的动态响应范围。一般要求动态系统的工作频率范围应大于被校准传感器的510倍，上升时间应小于被校准传感器上升时间的1/5。如：标准传感器的精度为0.01%，被校传感器的精度可在0.03%0.05%之内；标准传感器的精度为：0.1%，被校：0.3%0.5%。,.,2.传感器进行动态标定常用的标准激励源,（1）周期性函数，如正弦波、三角波等，以正弦波信号为常用；（2）瞬变函数，如阶跃函数、半正弦波等，以阶跃信号为常用。,.,3.标定方法,对被标定传感器输入标准激励信号，测得输出数据，做出输出值与时间的关系曲线。由输出曲线与输入标准激励信号比较可以标定传感器的动态响应时间常数、幅频特性及相频特性等。,2.5.4电容式传感器测量转换电路,电容式传感器把被测物理量转换为电容变化后,还要经测量转换电路将电容量转换成电压或电流信号，以便记录、传输、显示、控制等。常见的电容式传感器测量转换电路有桥式电路、调频电路、运算放大器电路等。,.,2.5电容式传感器,电容式传感器是指能将被测物理量的变化转换为电容变化的一种传感元件。电容式传感器的测量原理框图如图2-33所示。,图2-33电容式传感器的测量原理框图,一个平行板电容器，如果不考虑其边缘效应，则电器的容量,上式中，哪几个参量是变量？可以做成哪几种类型的电容传感器？,.,电容式传感器的分类及特点,特点：电容式传感器的结构简单，分辨率高，工作可靠，非接触测量，并能在高温、辐射、强烈振动等恶劣条件下工作，易于获得被测量与电容量变化的线性关系，可用于力、压力、压差、振动、位移、加速度、液位、料位、成分含量等测量。,平板形圆柱形,变间隙式变面积式变介电常数式,分类,.,电容式传感器的各种结构,图2-35电容式传感元件的各种结构类型,.,当动极板受被测物体作用引起位移时，改变了两极板之间的距离d，从而使电容量发生变化。,实际使用时，总是使初始极距d0尽量小些，以提高灵敏度，但这也带来了变间隙式电容器的行程较小的缺点。,2.5.1变间隙式电容传感器,.,变间隙式电容传感器的特性曲线,从图中可以看到，为了提高灵敏度，应使当d0小些还是大些？当变间隙式电容传感器的初始极距d0较小时，它的测量范围变大还是变小？,a）结构示意图b）电容量与极板距离的关系1定极板2动极板,.,为了提高测量的灵敏度，减小非线性误差，实际应用时常采用差动式结构。,图2-38差动式电容器结构,输出灵敏度提高了一倍,.,变极距式电容传感器特点,起始电容在20100pF之间，只能测量微小位移（微米级，25200um）。d0过小时，电容容易击穿，可在极板间放置云母片来改善，云母片的相对介电常数是空气的7倍，击穿电压不小于1000kV/mm，而空气仅为3kV/mm。有了云母片，极板间起始间距可大大减小，传感器的输出线性度可得到改善。d0：25200um1，而(1+A)CfCa+Cc+Ci时，放大器输出电压可以表示为,其他电荷放大器外形,面板式电荷放大器,压电传感器只能应用于动态测量,由于外力作用在压电元件上产生的电荷只有在无泄漏的情况下才能保存，即需要测量回路具有无限大的输入阻抗，这实际上是不可能的，因此压电式传感器不能用于静态测量。压电元件在交变力的作用下，电荷可以不断补充，可以供给测量回路以一定的电流，故只适用于动态测量（一般必须高于100Hz，但在50kHz以上时，灵敏度下降）。,2.4.4压电式传感器的应用,被测力通过传力上盖使压电陶瓷片受压力作用而产生电荷。压电陶瓷片通常采用两片（或两片以上）粘结在一起。这种传感器主要用于变化频率不太高的动态力的测量。,1.压电式单向测力传感器,2.压电式振动加速度传感器,传感器的输出电荷即与被测物体的振动加速度成正比。结构中的弹簧是给压电晶片施加预紧力的，预紧力应适中。,.,.,3玻璃破碎报警装置,采用高分子压电薄膜振动感应片，如图2-32所示，将其粘贴在玻璃上，当玻璃遭暴力打碎的瞬间，会发出几千赫兹甚至更高频率的振动。压电薄膜感受到这一振动，并将这一振动转换成电压信号传送给报警系统。这种压电薄膜振动感应片透明且小，不易察觉，所以可用于贵重物品、展馆、博物馆等橱窗的防盗报警。,图2-32高分子压电薄膜振动感应片,压电式动态力传感器以及在车床中用于动态切削力的测量,压电式动态力传感器在体育动态测量中的应用,压电式步态分析跑台,压电式纵跳训练分析装置,压电传感器测量双腿跳的动态力,地震的巨大威力,地震波形,压电式振动加速度传感器的,横向振动测振器,纵向振动测振器,地震是引发海啸的主要原因之一。地震中断层移动导致断层间产生空洞，当海水填充这个空洞时产生巨大的海水波动。这种海水波动从深海传至浅海时，海浪陡然升到十几米高，并以每秒数百米的速度传播。海浪冲到岸上后，将造成重大破坏。海啸预警系统通过海底的振动压力传感器记录海浪变化的数据，并传送到信息浮标，由信息浮标发送到气象卫星，再从气象卫星传送到卫星地面站。,海啸预警系统,.,气象接收及发射天线,振动压力传感器,6000m海底,浮标,深海地沟,.,作业,准备0:压电式传感器测量电路及应用准备1:通用量具的种类及应用场合准备2:通用量具游标卡尺及使用准备2:通用量具外径千分尺及使用准备3:电位器式位移传感器,2.7压阻式压力传感器,压阻式压力传感器的压力敏感元件是压阻元件，它是基于压阻效应工作的。压阻效应-半导体材料的受外力或应力作用时，其电阻率发生变化的现象。所引起的电阻相对变化为：,半导体材料的压阻效应是由于在外力作用下，原子点阵排列发生变化，即晶格间距改变，导致载流子迁移率及载流子浓度的变化，从而引起电阻率的变化。利用压阻效应制成的压阻式传感器，可用于压力、加速度、重量、应变、拉力、流量等参数的测量。,半导体材料的电阻率,沿某晶向的应力,材料的弹性模量,沿某晶向的应变,沿某晶向的压阻系数,图2-74是压阻式压力传感器的结构示意图。压阻芯片采用周边固定的硅杯结构，封装在外壳内。在一块圆形的单晶硅膜片上，用半导体工艺中的扩散掺杂法做四个等值电阻，两片位于受压应力区，另两个位于受拉应力区，它们组成一个全桥测量电路。硅模片用一个圆形硅杯固定，两边有两个压力腔，一个和被测压力相连，为高压腔，另一个是低压腔，为参考压力，通常和大气相通。当存在压差时，膜片产生形变，使两对电阻阻值发生变化，电桥失去平衡，其输出电压反映膜片两边承受的压差的大小。,图2-74压阻式压力传感器的结构示意图,压阻式压力传感器的压力测量实验,一、实验目的：了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理和标定方法。二、基本原理：扩散硅压阻式压力传感器的工作机理是半导体应变片的压阻效应，在半导体受力变形时会暂时改变晶体结构的对称性，因而改变了半导体的导电机理，使得它的电阻率发生变化，这种物理现象称之为半导体的压阻效应。一般半导体应变采用N型单晶硅为传感器的弹性元件，在它上面直接蒸镀扩散出多个半导体电阻应变薄膜（扩散出敏感栅）组成电桥。在压力（压强）作用下弹性元件产生应力，半导体电阻应变薄膜的电阻率产生很大变化，引起电阻的变化，经电桥转换成电压输出，则其输出电压的变化反映了所受到的压力变化。,三、需用器件与单元：机头静态位移安装架、压阻式压力传感器、传感器输入插座、引压胶管、铜三通、手捏气泵、压力表；主板中的FV表、+4V直流电源、压阻输出口、差动放大器。,四、实验步骤：1、将压阻式压力传感器安装在机头静态位移安装架上，并连接好引压胶管、压力表和手捏气泵等。如图所示，并松开手捏气泵的单向阀。,2、在主板上按图接线（注意：压阻的电源端VS与输出端Vo不能接错），将FV表量程切换开关切到2V档。将差动放大器零。,3、锁紧手捏气泵的单向阀，仔细地反复手捏(注意：用力不要过大)气泵并同时观察压力表，压力上升到3KPa左右时调节差动放大器的调零电位器，使电压表显示为相应的0.3V左右。再仔细地反复手捏气泵压力上升到19KPa左右时调节差动放大器的增益电位器，使电压表相应显示1.9V左右。4、仔细地慢悠悠松开手捏气泵的单向阀，使压力慢慢下降到3KPa时锁紧气泵的单向阀，调节差动放大器的调零电位器，使电压表显示为相应的0.300V。再仔细地反复手捏气泵压力上升到19Kpa时调节差动放大器的增益电位器，使电压表相应显示1.900V。,重复步骤4过程，直到认为已足够精度时调节手捏气泵使压力在319KPa之间变化，每上升2KPa气压分别读取电压表读数.6、画出实验曲线计算本系统的灵敏度和非线性误差。,.,准备,准备1：通用量具的种类及应用场合使用注意事项（上网找）准备2：游标卡尺原理、读数及使用（上网找）准备3：外径千分尺原理、读数及使用（上网找）准备4：自感式传感器工作原理和测量电路（上网找）准备5：差动变压器式传感器工作原理和测量电路（P169）准备6：电感式传感器的应用（上网找）准备7：电涡流式传感器及其应用（P90，上网找）,.,第三章电感式传感器及应用,本章主要介绍自感式传感器、差动变压器式传感器、电涡流式传感器。掌握电感式传感器的特点及应用、测量转换电路的形式。了解自感式传感器结构、工作原理；差动变压器式传感器的结构、工作原理、测量电路；电涡流传感器的结构、工作原理、测量电路及应用。,.,3.1自感式传感器,先看一个实验：,将一只380V交流接触器线圈与交流毫安表串联后，接到机床用控制变压器的36V交流电压源上，如图4-1所示。这时毫安表的示值约为几十毫安。用手慢慢将接触器的活动铁心（称为衔铁）往下按，我们会发现毫安表的读数逐渐减小。当衔铁与固定铁心之间的气隙等于零时，毫安表的读数只剩下十几毫安。,.,电感传感器的基本工作原理演示,F,220V,准备工作,.,电感传感器的基本工作原理演示,气隙变小，电感变大，电流变小,F,.,电感传感器的基本工作原理,当铁心的气隙较大时，磁路的磁阻Rm也较大，线圈的电感量L和感抗XL较小，所以电流I较大。当铁心闭合时，磁阻变小、电感变大，电流减小。,2-50电感式传感器工作原理框图,2.6电感式传感器,电感传感器的基本原理是电磁感应原理。利用电磁感应将被测非电量(如压力、位移等)转换成电感量的变化输出。（被测量的变化引起线圈自感或互感系数的变化，从而导致线圈电感量改变这一物理现象来实现测量的）。分类：根据转换原理，电感式传感器可以分为自感式和互感式两大类。主要有变气隙式电感传感器、差动螺线管式、差动变压器式、电涡流式电感传感器等。,电感式传感器特点,电感式传感器结构简单、工作可靠、灵敏度高、分辨率大，能测出0.1微米甚至更小的机械位移变化，测量精度高，线性度好，可以把输入的各种机械物理量如位移、振动、压力、应变、流量、比重等参数转换成电量输出，在工程实践中应用十分广泛。但电感式传感器自身频响低，不适于快速动态测量。本节主要介绍自感式、互感式电感式和电涡流式3种传感器,2.6.1自感式传感器（也称变磁阻式电感传感器）,自感式传感器种类繁多，常见的有变隙式、变截面式、螺线管式及差动式4种。用来测量位移，主要由线圈、铁心、衔铁等组成。,1.自感式传感器的工作原理,自感式传感器是利用自感量随气隙而改变的原理制成的，图2-52是最简单的自感传感器。当衔铁受到外力而产生位移时，磁路中气隙的磁阻发生变化，从而引起线圈的电感变化，这种电感量的变化与衔铁位置相对应。因此，只要能测出电感量的变化，就能判定衔铁位移量的大小，这就是自感式传感器的基本工作原理。,图2-52闭磁路式自感传感器结构,根据磁路的基本知识，线圈的自感为:,因为气隙厚度较小，可以认为气隙磁场是均匀的，则磁路中的总磁阻为铁心磁阻、衔铁磁阻和空气隙磁阻之和。,由于导磁体的导磁率远远大于空气的导磁率，所以铁心磁阻、衔铁磁阻远远小于空气隙磁阻,图2-52闭磁路式自感传感器结构,图2-53变气隙式电感传感器输出特性曲线,所以，铁芯磁阻、衔铁磁阻远远小于空气隙磁阻,所以,电感的相对变化量为,当衔铁受外力作用使气隙厚度减小时，线圈电感量变,当衔铁受到外力的作用，使气隙变大时，电感的相对变化量为,当,为了减小非线性，气隙的相对变化量要很小，该类传感器只适于微小位移的测量，即max1/50为了减小非线性误差，提高测量灵敏度，常采用差动测量技术。,衔铁随被测量移动而偏离中间位置，使两个磁回路中的磁阻发生大小相等、符号相反的变化，导致一个线圈的电感量增加，另一个线圈的电感量则减小，形成差动形式。,假设当衔铁往上移动时，则两个线圈的总的电感变化量为,差动电感式传感器,图2-54差动式电感传感器,电感的相对变化量,差动式输出是单线圈输出的两倍，减小了非线性误差，提高了测量精度,自感式传感器实现了将被测非电量转变为电感量的变化。还需要测量转换电路将电感量的变化转换为容易测量的电压或电流信号。常用的测量转换电路有桥式测量电路、调幅、调频、调相电路，在自感式传感器中，用得较多的是桥式测量电路和调幅电路。,2.自感式传感器的测量转换电路,图2-55交流电桥测量电路,1.交流电桥测量电路交流电桥是电感式传感器的主要测量电路，它的作用是将线圈电感的变化转换成电桥电路的电压或电流输出。前面已提到差动式结构可以提高灵敏度，改善线性，所以交流电桥也多采用双臂工作形式。图2-55是交流电桥测量电路，通常将传感器作为电桥的两个工作臂，电桥的平衡臂可以是纯电阻，也可以是变压器的二次侧绕组。,交流电桥,当衔铁受力而发生移动时，其中一个线圈电感量增加，另一个减小，变化量大小相等，方向相反，设,一般很高，即,交流电桥的输出电压与传感器线圈电感的相对变化量是成正比的，与气隙的变化量成正比,传感器阻抗,单个线圈铜电阻,电感传感器的品质因数,图2-55交流电桥测量电路,电桥的输出,电桥的输出,左图所示为变压器电桥电路。相邻两工作臂Z1、Z2是差动电感传感器的两个线圈阻抗。另两臂为变压器的次级绕组,当衔铁处于中间位置时,由于线圈完全对称,因此L1=L2=L0，Z1=Z2=Z0,电桥桥路平衡,输出电压U0=0,（2）变压器式交流电桥,当衔铁上、下移时,图2-56变压器式交流电桥,当负载阻抗为无穷大时，桥路输出电压为,输出电压,2.6.2互感式电感传感器差动变压器式传感器,互感传感器本身就是变压器，有一次绕组和二次绕组。一次侧接入激励电源后，二次侧将因互感而产生电压输出。当绕组间互感随被测量变化时，输出电压将产生相应的变化。这种传感器二次绕组一般有两个，接线方式又是差动的，故又称为差动变压器。,当活动衔铁处于初始平衡位置时，必然会使两二次绕组磁回路的磁阻相等，磁通相同，互感系数M1=M2，根据电磁感应原理，由于两二次绕组反向串联，因而差动变压器输出电压为零。,工作原理,图2-58螺线管式差动变压器原理图,中产生的感应电动势,二次绕组,当活动衔铁向二次绕组N21方向（向上）移动时,当活动衔铁向二次绕组N22方向（向下）移动时,一次绕组激励电流,正负号表示输出电压与激励电压同相或反相。,差动变压器输出电压为：,设,零点残余电压,应该指出的是，当衔铁处于初始平衡位置时，变压器的输出并不等于零，而是有一个很小的电压输出，如图所示，这个输出称为零点残余电压。这主要是因为差动变压器的两个次级线圈的电气参数和几何尺寸的不对称造成的。另外导磁材料存在铁损、不均质，初级线圈有铜损耗电阻，线圈间存在寄生电容，这均使差动变压器输入电流与磁通不同相。可采用提高加工工艺精度，以及外电路补偿法来减小零点残余电压。,差动变压器输出特性曲线,反串联电路直接把两个二次线圈反向串接,桥路,R1、R2是桥臂电阻，RP是供调零用的电位器,2.测量电路,当不考虑电位器,时，设,则输出电压为：,电桥输出是差动变压器输出的1/2，但其优点是可利用调零电位器RP进行调零，不再需要另配调零电路。但由于差动变压器输出的是交流电压，若用交流电压表直接测量，只能反映衔铁位移的大小，而不能反映移动方向,差动整流电路,为了达到能辨别移动方向及消除零点残余电压的目的，实际测量时，常采用差动整流电路和相敏检波电路，这种电路是把差动变压器的两个二次绕组的输出电压分别整流，然后将整流电压或电流的差值作为输出，再经滤波放大电路，输出直流电压。图中的RP是调零电位器。差动变压器式传感器特点：结构简单、灵敏度高、测量精度高、性能可靠、测量范围宽，可以测量1100mm的机械位移。,.,准备,准备1：电感式传感器的应用（上网找）准备2：电涡流式传感器及其应用（P90，上网找）准备3：接近开关的特点和特性（P88)准备4：霍尔元件原理（P92）准备5：霍尔集成电路（P93）准备6：霍尔传感器的应用（上网找）,2.6.3电感式传感器的应用,电感传感器不仅可以直接测量位移的变化，也可以测量与位移有关的任何机械量，如振动、加速度、应变、压力、张力、比重、厚度等参数。1.振动与加速度测量图2-62所示为测量加速度的差动变压器原理图，传感器由悬臂梁和差动变压器构成。悬臂梁起支撑与动平衡作用。测量时，将衔铁与被测振动体相连，其它部位固定。当被测体发生振动时，衔铁随着一起振动，从而使差动变压器的输出电压发生变化，输出电压的大小及频率与振动物体的振幅与频率有关。应该指出的是，用于测量振动物体的频率与振幅时，激励频率必须是振动频率的十倍，这样测量结果才精确。一般可测振动物体的振幅为0.10.5mm，振动频率一般为0150Hz。,图2-62差动变压器测量加速度的原理图,2压力测量,如图2-63差动压力传感器结构原理图。它是用于测量