镀铜药液管理作业指导书.doc

4作业指导书作成审核批准编号DB-WI-H/PD-064扈炎荣版次A1页1/3生效日2009219名称电镀铜工序药液管理作业指导书一、目的为电镀铜工序的药液管理作业提供文件依据。二、范围本规范适合COF电镀铜工序，在操作此线时须遵守此规范。三、安全3.1开机时,必须确认各槽体液位正常，各阀门正确，防止药液外溢或外喷。3.2 出现紧急情况需要紧急停车时使用急停设施， 3.3 对药水操作时，必须佩戴相关防护用具，包括胶手套、口罩、目镜、面罩、防护服等。3.4 当一般药水溅到身体时，要及时清洗掉；当硫酸溅到身体时，要尽快先用抹布擦除后，用大量水冲洗；当药水溅入眼睛时，要尽快用喷流DI水冲洗并及时就医。所有药水不得饮食。四、工艺流程介绍4.1电镀铜工序工艺流程三溢流水洗镀铜（6位）活化三溢流水洗脱脂上料下料 水洗烘干 4.2 药水操作参数表：槽位槽名温度药水名称分析频率标准值标准范围槽体规格2除油405WT-3302次/周13%1015%470L9活化室温H2SO42次/周8%610%470L1015镀铜233CuSO45H2O2次/周75g/l6090g/L1300LH2SO4100ml/l80120ml/LCl-70ppm5080ppm放料水箱室温柠檬酸每天更新6%310%/修修改履历版 次作成时间修 改 原 因修 改 内 容 摘 要A020083242008.3.21新规作成-A12009219参数修改除油温度更改405（原为505）A12009219明确更换除油缸原只有铜含量指标作业指导书编号DB-WI-H/PD-064版次A1页2/3生效日2009219名称电镀铜工序作业指导书五、开线建浴5.1过滤机不装过滤芯，盖好，对角拧紧螺丝；5.2用35% NaOH洗槽2小时以上，要开打气循环搅拌；5.3用35% H2SO4 洗槽2小时以上，要开打气循环搅拌；5.4用DI水冲洗槽2次，每次要排净水，保证冲洗后槽内无固体杂质。5.5开始建浴： 对建浴槽放入约1/2液位的DI水，加入对应量的药水，然后补充到标准液位，充分搅拌后分析药水成分含量再做补充调整即可槽位槽名规格药水名称标准含量标准范围加药量2除油470LWT-33013%1015%60L9活化470LH2SO48%610%38L1015镀铜1300LCuSO45H2O75g/l6090g/L100kgH2SO4100ml/l80120ml/L140LCl-70ppm5080ppm按分析添加放料水箱5L柠檬酸6%310%300g六、药水分析补充6.1分析频率：2次/周；6.2分析项目：除油、活化、镀铜槽内所有在用药水；6.3补充办法：分析出结果后，并做相关表单记录；6.4对于含量突变的成分，必须做再分析确认，查找突变原因并在电镀铜药水分析记录表上做记录。七、药水保养7.1满负荷生产时，每月保养一次；经常间断性生产时由工程师判定保养时间7.1.1铜槽药水保养方法：将保养槽冲洗排放干净后，抽出铜槽药水到保养槽，清洗铜槽并排放后，抽回药水；7.1.2阳极保养方法：将阳极铜球倒出，用5%H2SO4+5%H2O2浸泡出红铜色后取出用DI水冲洗3遍以上，阳极篮和阳极袋同法处理；7.1.3脱脂、活化药水，每次更新时做保养。7.2 浸泡用柠檬酸：每日更新，以5L容量计，加入柠檬酸300g配制即可范围150500g作业指导书编 号DB-WI-H/PD-064版 次A1页3/3生效日2009219名称电镀铜工序作业指导书八、药水更新8.1 WT-330除油剂：铜