已阅读5页,还剩5页未读, 继续免费阅读
版权说明:本文档由用户提供并上传,收益归属内容提供方,若内容存在侵权,请进行举报或认领
文档简介
文件编号: 版号:1.0 第 10 页 共 10 页VAS作业指导书NO版次修订内容生效日期修订人11.0首次发行。2014-11-王晓玲拟制/面板厂王晓玲审核批准会签1 目的 指导和规范真空贴合机台生产作业,以保证生产的顺利进行。2 适用范围 适用于上海天马制造中心面板厂ODF VAS岗位员工3 定义 (1) VAS;真空贴合系统 Vacuum Assembly System的简写(2) EMO:紧急停止.(3) RUN:启动键.(4) Alarm:警报.(5) System:系统.(6) T/P:Touch Panel,触摸式操作屏.(7) Recipe:程序。4、 操作步骤:操作步骤具体说明注意事项1操作前准备2 操作步骤3 操作完成后1.1 Recipe选择1.1.1点击PC软件画面右上角的“Show Menu”如图1-1红框所示。 图1-11.1.2选择Recipe Setting,如图1-2红圈所示。 图1-21.1.3在弹出对话框中输入密码,根据工艺卡选择对应得Recipe,如图1-3所示。 图1-31.1.4点击Change Recipe,在界面右上角中确认当前Recipe是否已更改正确,确认无误后点击EXIT退出。 图1-4 1.1.6设备日常点检 对设备各参数进行点检,点检记录填写到设备维护保养记录表(日),若数值不在点检范围内,通知工程师处理。2.1原点复归2.1.1 在Touch Panel根目录中点击 “Run ”。如图2-1红圈所示: 图 2-1 2.1.2选择“Init”选项。进入如下2-2界面。图2-2 2.1.3点击“ Mode” 按钮,选择Auto模式,按“ Origin”,使机台完成原点复归。2.2机台自动运转2.2.1如图2-3所示选择“Auto Monitor”选项。 图 2-3 2.2.2点击Touch Panel下方的START按钮,机台左上角显示为“Run Process”。3.1设备停止 3.1.1设备中有基板时,按下Touch Panel下方的stop,设备做完当前动作后停止。 3.1.2设备中有基板时,按下Touch Panel上的Cycle stop,设备做完当片基板制程并排出后即停止,不再接收新的基板。 3.1.2设备中无基板时,按下Touch Panel下方的stop或Touch Panel上的Cycle stop设备均会停止自动运行。Origin闪烁说明在动作中,稳定在黄色后说明动作已完成只有在Auto Monitor界面下设备才能进入自动运行状态。只有在Press前Cycle stop才有效设备内不能有安全支柱,Cleaning棒等物品5 异常处理:5.1报警常规处理流程:5.1.1报警处理流程图参考1.2参考1.3 图 5-1 5.1.2查看报警内容5.1.2.1 VAS自动运转步骤如下图,当某一步骤条件不满足时,Alarm发生 图 5-2 5.1.2.2 Alarm发生后设备会发出报警音乐提醒操作者注意,同时设备状态指示灯变成红色,Touch Panel画面会弹出对话框,显示报警内容。 图 5-3 5.1.2.3也可以在根目录下点击Error查看报警记录,操作人员发现报警以后,要仔细阅读报警内容,以明确报警原因。 图 5-45.1.3观察设备状态5.1.3.1确认机台内基板的状态。5.1.3.2 Robot手臂的位置,设备之间通信状况等。5.1.3.3 确认此时操作是否安全。5.1.4解除Alarm 5.1.4.1根据具体的原因采取对应的操作,使不满足的条件得到满足,让机台正常完成动作。注意:对不知如何处理以及操作后不知会有何种后果的情况,一律不许操作,需立即与当班工程师联络询问处理方法。5.2对位异常处理流程5.2.1“粗Mark检出ERR”、“微Mark检出ERR”、“判定Mark检出ERR”的处置流程图如下: 图 5-55.2.2对位报警时Touch Panel会弹出如下对话框 图 5-6按下此键后,不论实际 手动对位的结果如何, 设备都认为是OK的 其中, Manual Align:在Inching下对mark的位置进行手动对位。对好后再进行Manual Align OK Retry操作,如下图。按下此键后,将对位步骤 跳过,不做对位直接照射 手动调节至 Mark清晰显 示后按下此键,设备会 再做一次自动对位确认 图 5-7 Mark Save: 在PC上对Mark进行登录处理。 Retry:重新再做一次对位动作。 Stop: 退出自动运转注意:手动对位禁止触按“Align Invalid”与“Manual Align OK”按键,只允许按下“Manual Align OK Retry”按键5.3 Unmatch报警处理流程5.3.1 Unmatch报警处理流程图 图 5-85.4 机台发生掉片或破片的处理流程5.4.1要立即将机台停止,通知设备担当工程师处理。5.5基板排出超时处理5.5.1基板排出超时处理流程图 图 5-95.6其它异常的处理5.6.1机台动作异常 5.6.1.1机台运行过程中如果出现异常动作,可能对人员,产品或设备造成损害时,要立即按下EMO将机台停止. 5.6.2制品发生不合格时5.6.2.1停止机台,通知工程师,询问在制品的处理方法。详细记录基板ID、发生时间、所发生异常的信息。 注意:在解决问题的同时要注意找到问题发生的根本原因,例如当制品因机台内有异物而造成不良时,要仔细确认异物的成分,以确认其发生源。基板在此工序停滞时间稍长便会造成大量不良,所以发生不知如何解决的问题时要立即联系工程师询问对策。6 安全环境注意事项 6.1 无特殊情况,Pump应始终处于ON的状态,设备出故障需要重新启动时,要先将Pump关闭,再切断电源。 6.2 禁止触碰带电元件,否则可能会发生触电。 6.3安全支柱比较重,在使用时要注意安全,防止在转移时从手脱落对人或对设备造成损伤。另外安全支柱是专门用于对真空贴合设备进行定盘清扫和维护的安全保障工具,不具备任何其他功能,不能在任何其他场合使用。 6.4 Cleaning棒是专门用于对真空贴合设备定盘清扫的工具,不具备任何其他功能,不能在任何其他场合使用。 6.5设备的Interlock取消操作非常危险,取消之后设备本身的安全限制将全部失效,有可能对人员及机台造成严重伤害。只有设备担当工程师在有维护保养的时候才能进行此操作,其他任何人员不可进行Interlock取消操作;若有保护作用的Sensor失效、带电部件损坏或线路老化时及时通知工程师进行更换。 6.6禁止酒后上班、疲劳作业 、带病工作,按规定进行着装穿戴以免引
温馨提示
- 1. 本站所有资源如无特殊说明,都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
- 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等,如果需要附件,请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
- 3. 本站RAR压缩包中若带图纸,网页内容里面会有图纸预览,若没有图纸预览就没有图纸。
- 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
- 5. 人人文库网仅提供信息存储空间,仅对用户上传内容的表现方式做保护处理,对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑,并不能对任何下载内容负责。
- 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容,请与我们联系,我们立即纠正。
- 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。
最新文档
- 房地产公司办公费用控制
- 机电工程人工费施工合同
- 中心站服务改进战略
- 工程公司职工胸牌管理办法
- 网络安全招投标小组职责探讨
- 农场兽医服务合同范本
- 《Excel数据获取与处理实战》 课件 第7章 函数的应用-1
- 2022年大学生物工程专业大学物理下册月考试题A卷-含答案
- 防盗门锁系统
- 2022年大学能源动力专业大学物理下册开学考试试题-含答案
- 配电设备的日常管理及维护保养(PPT41页)
- 电子琴伴奏及音色中英文对照表
- 苏教版初中化学常见气体的检验与除杂教案
- 网络教研——开辟校本教研新模式
- 火灾报警系统技术规范书
- 鱼塘租赁合同
- 教材自编传统节日校本课程
- 楼宇自控系统调试方案
- hydac压力继电器说明书
- 中成药上市公司组织架构及部门职责
- 《教育学原理》课程教学大纲
评论
0/150
提交评论