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文档简介

摘要 近年来，随着现代超薄层材料生长技术 以分子束外延m b e 和 金属有机化合物气相沉积m o c v d 等技术为典型代表 和各种超精 细加工技术的发展，小尺度半导体微腔 s e m i c o n d u c t o rm i c
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