UMSG107-1000W射频电源使用说明书(07修正版).doc

UMSG107-1000W型射频电源及匹配器使 用 说 明 书编 制：何 学 飞审 核： 批 准： 2007年10月UMSG107-1000W型射频电源及匹配器使 用 说 明 书中国电子科技集团公司第四十八研究所二OO七年十月UMSG107-1000W型射频电源使用说明书一、 概述UMSG107-1000W型射频电源包括射频源和射频匹配器。射频源采用石英晶体它激振荡电路产生13.56MHz的射频信号，功率推动级对该信号进行耦合放大推动输出级，功率输出级采用金属陶瓷四极管FU-100F，电子管板极供电采用电抗器调压，电子管与功率源输出电缆之间采用固定的L型匹配网络，确保电子管与电缆之间良好匹配。电缆与负载之间的匹配由可调式L型网络匹配器来实现，匹配状态由通过式功率计指示。本电源具有频率稳定性高、可靠性好、效率高、功率大、体积小、调节方便等特点。二、 使用环境与条件1. 电源：220V/50Hz，1.5KVA2. 环境温度：5403. 相对湿度：704. 大气压强：86KPa106KPa5. 具有独立的接地点，接地电阻46. 环境净化等级：优于10000级三、 主要技术性能1. 输出功率：100W1000W逐级可调2. 频率：13560KHz3. 板极电压：300V2500V4. 板极电流：0.5A5. 板极直流消耗功率：1.3kW6. 阻抗匹配范围：(2.745)j(070)7. 具有手动调节网络参数达到匹配功能8. 网络参数由调谐，调谐的刻度直读9. 具有入射功率和反射功率指示10. 具有高压通断外控四、 使用与操作1. 检查l 按装箱单检查包装箱内各构件、配件是否齐全l 打开箱盖检查各构件及连接件是否紧固l 如有疑问请与供方联系2. 安装l 安装时注意轻拿轻放。l 电源箱底部应有导轨，且应留有大于50mm的冷却风道。3. 接线l 检查“预热”开关应处于释放状态。l 按标识连接供电电源线、信号线、功率传输电缆线。外控插头：“高压”外控1，2脚接常闭触点“高压关”，3，4脚接常开触点“高压关”。l 接线图如下：l 注意：射频电缆的接头要拧紧，电缆弯曲尽量自然些。4. 操作程序a) 逆时针调板压电位器旋钮到最低位置（旋钮上的刻度线在左下方45左右），功率计开关置于2KW档位。b) 插上电源插头，按下预热开关（橙色按钮），按钮里面的指示灯亮，同时板压开关（红色按钮）里面的指示灯也亮，预热510分钟。c) 按一下板压开关（绿色按钮），按钮里面的指示灯亮，同时红色按钮里面的指示灯灭，缓缓调节板压，板流，功率计也会有指示，然后反复调节匹配器调谐、调谐，直到反应室起辉。继续调节调谐、调谐，使反射功率减到最小。d) 调节板压到所需功率，注意随时调节调谐、调谐，使反射功率最小。e) 工作完毕后，板压调到最低，按一下板压开关红色按钮关断板压，510分钟后，再按一下橙色按钮关断灯丝。5. 联调在确认射频源正常后，即可上机带真实负载进行调试。第一次起辉时，将板压调到约为500V，如果没起辉，反射功率会很大，调节匹配器调谐、调谐使之起辉，暂不管反射功率有多大。如果不起辉，可降低真空度，真空度低些容易起辉。如还不起辉，可采取短时间加大功率的方法。比如板压加到700V，如果不起辉，马上把板压降一点，再调节调谐和调谐，再略加高板压，如此重复进行，直到起辉为此。即调匹配器 升高板压 降低板压调节匹配器要按一定规律进行，调谐可固定几点，比如200、300、500，调谐从小到大，或从大到小调节。如果再不起辉，应检查反应室及接线部分是否有问题。起辉后，调节匹配器的调谐、调谐使反射功率减至最小。如果起辉时真空度较低，起辉后可逐渐提高真空度，同时跟踪调节匹配器使之匹配。6. 加功率在起辉正常后，可提高功率，这里要注意的是，在初次起辉时，可能由于反应室或工作气体不干净，设计上欠合理等因素使反应室内打火，这种情况功率不能提高。五、 维护保养及注意事项1. 应建立随机档案，及时记录电源运行参数，掌握电源及负载的变化情况。做到有据可查。2. 定期清洁，检修。特别是接地电阻和绝缘电阻。3. 需要长时间待机时，应每周上电预热通风一小时以上。4. 避免在700W以上直接起动。且更换负载后应避免在300W以上直接起动。5. 电源正常工作时，板流不要超过0.5A，板压不要超过2500V。6. 避免在高反射功率状态下使用。7. 切勿在通电状态下开启机箱。8. 当出现异常响动时，应立即关高压，或降低板流板压。9. 电源一定要轻拿轻放，以免损坏电子管及其他元件。10. 建议用户最好配备一台高频（100MHz）示波器，以便维护用。11. 电源在托运发货时必须用牢固的木箱包装，里面用海绵或泡沫保护。六、 常见故障分析与排除序号故障现象故障原因分析排除方法1“预热”开不上电(1) 保险管断(2) “预热”开关坏(1) 更换保险管(2) 更换开关2“高压”开而无功率输出(1) 功率调节旋钮在最低位(2) A3板插头松动接触不良(1) 调节旋钮(2) 重新插紧插头3功率最大只能加到500W左右，甚至更低，继续网上调节旋钮功率、板压、板流均无变化(1) A2板损坏(2) 环形变压器损坏(3) 负载阻抗不匹配(1) 更换A2板(2) 更换环形变压器(3) 调节匹配器4板压低而板流过大(1) 预热时间不够(2) 电子管损坏(3) 电源镀银电感短路(4) 电源其它故障(1) 延长预热时间(2) 更换电子管(3) 调整镀银电感(4) 维修电源5板压高而板流过小(1) 电极与外壳短路(2) 电子管损坏(3) 电源其它故障(1) 检查负载电路(2) 更换电子管(3) 维修电源6有板流板压而无功率显示(1) 功率转接线脱落(2) 功率转接线接触不良(1) 连接功率转接线(2) 维修插头插座7有辉光而无功率显示(1) 信号线脱落(2) 偶合电路损坏(1) 连接信号线(2) 维修偶合电路说明：1、 除常见故障外的电源问题，请在专业人员指导下进行维修。切忌私自改动电路、替换元件，否则由此引起的后果将由客户自行承