无机厚膜电致发光显示器技术（TDEL）研发项目环境影响评价报告书.doc

艾费尔（烟台）新型显示器研发中心有限公司无机厚膜电致发光显示器技术（tdel）研发项目环境影响报告书（简本）建设单位：艾费尔（烟台）新型显示器研发中心有限公司编制单位：山东省环境保护科学研究设计院前 言艾费尔（烟台）新型显示器研发中心有限公司无机厚膜电致发光显示器技术（tdel）研发项目投资总额为6.6亿元人民币，是2012年由加拿大艾费尔集团公司（ifire）和烟台市福山区国有资产经营公司共同出资新建，其中烟台市福山区国有资产经营公司认缴出资额1.98亿元人民币（提供一期现金，二期土地、厂房等），占注册资本的30%；加拿大艾费尔集团公司以无机厚膜电致发光显示器(tdel)生产设备出资，折为4.62亿元人民币，占注册资本的70%。 厚膜介电无机电致发光显示器（tdel）是一个全固体的多层膜器件。所谓厚膜主要是指介质层较厚，其它层多是薄膜。tdel显示屏由玻璃基板、金属行电极、厚膜介质层、发光层、列电极和彩色转换层等组成。2003年，加拿大艾费尔科技有限公司在其独创的厚膜介质电致发光(tdel)技术上，结合电致发光和光致发光的原理发明了“蓝源成彩”技术，成功实现了无机电致发光的全彩显示。全彩厚膜介质电致发光(tdel) 显示技术的产业化不仅可完成特殊领域显示器的更新换代，而且还可开拓包括民用领域的应用，具有良好的市场前景。由于该显示器结构简单，采用无源驱动。生产成本及初始投资都远低于目前的tft液晶显示，将更符合中国未来显示器大规模工业化生产的需求。本项目即是加拿大艾费尔公司在华投资兴建的第一个项目，拟建项目位于烟台市福山区信息产业园内，规划用地65亩，进行无机厚膜电致发光显示器技术（tdel）的研发和相关技术人才的培养。拟建项目所研发的“厚膜介质电致发光(tdel)技术，”是一种全固体、全彩色、高亮度、无辐射、无闪烁、高清晰度、色彩逼真、低功耗的新型平板显示器技术，因此符合产业结构调整指导目录（2011年修正本）中的“一、鼓励类：二十八、信息产业：27、薄膜场效应晶体管lcd（tft-lcd）、等离子显示屏（pdp）、有机发光二极管（oled）、激光显示、3d显示等新型平板显示器件及关键部件”，因此属于国家产业政策鼓励类项目。本项目也不属于外商投资产业指导目录（2011修订）“限制类”和“禁止类”项目。项目组 目 录1 项目概况11.1 项目相关背景及建设地点11.2 无机厚膜电致发光显示器产品结构31.3 项目概况41.4 项目选址选线方案比选，与法律法规、政策、规划和规划环评的相符性112 项目周围环境现状122.1 项目所在地的环境现状122.2 项目环境影响评价范围133 项目影响预测及拟采取的主要措施与效果173.1 污染源分析173.2 环境保护目标203.3 预测结果213.4 敏感区的主要环境影响和预测结果223.5 污染防治措施达标情况及效果223.6 环境风险分析预测结果、风险防范措施及应急预案243.7 建设项目环境影响的经济损益分析结果313.8 项目防护距离内的搬迁所涉及的单位、居民情况及相关措施313.9 环境监测计划及环境管理制度324 公众参与344.1 公开环境信息344.2 公众参与结论465 环境影响评价结论466 联系方式476.1 建设项目的建设单位的名称和联系方式476.2 承担评价工作的环境影响评价机构的名称和联系方式47341 项目概况1.1 项目相关背景及建设地点1.1.1 项目相关背景艾费尔（烟台）新型显示器研发中心有限公司由加拿大艾费尔集团公司（ifire）和烟台市福山区国有资产经营公司共同出资兴建。拟建项目为引进加方tdel全套研发设备和专利，作为山东省光电显示技术产业化的研发平台，对无机厚膜电致发光显示器技术（tdel）进行规模性生产研发试验。考虑到tdel技术还处在实验室阶段，为了规避投资风险和科技成果产业化风险，艾费尔（烟台）新型显示器研发中心有限公司计划一期先行建设一条年产5万片（8英寸）无机厚膜电致发光显示器研发生产线，通过此研发生产线进一步探索tdel大规模生产的技术路线，掌握生产工艺过程的技术参数，使各个流程的管理更加合理化、科学化，为规模化生产打下坚实的基础。然后二期工程建设年产300万块普通tdel显示器件生产线，使该公司实现年产不同规格tdel平板显示器件315万块产能目标。项目一期投资一亿美元（折合人民币6.6亿人民币），是由加拿大艾费尔集团公司（ifire）和烟台市福山区国有资产经营公司共同出资新建，其中烟台市福山区国有资产经营公司认缴出资额1.98亿元人民币（提供一期现金，二期土地、厂房等），占注册资本的30%；加拿大艾费尔集团公司以无机厚膜电致发光显示器(tdel)生产设备出资，折为4.62亿元人民币，占注册资本的70%，由中心董事会领导。本报告针对一期研发规模约为5万片/年的无机厚膜电致发光显示器项目进行环境影响评价。1.1.2 建设地点和生产规模拟建项目位于烟台市福山区，福山分区规划的信息产业组团内的紫光路以南，金凤路以西，明珠路以北，项目厂址地理位置参见图1。生产规模：建设一条年产5万片8英寸无机厚膜电致发光显示器研发生产线。根据中华人民共和国环境影响评价法、中华人民共和国环境保护法、建设项目环境保护管理条例和建设项目环境保护分类管理目录等建设项目环境保护管理的有关法律法规，艾费尔（烟台）新型显示器研发中心有限公司无机厚膜电致发光显示器技术（tdel）研发项目需做环境影响报告书。比例尺：1:72000图1 建设项目地理位置图1.2 无机厚膜电致发光显示器产品结构厚膜介质无机电致发光显示器（tdel）是一个全固体的多层膜器件。所谓厚膜主要是指介质层较厚，其它层多是薄膜。tdel显示屏由玻璃基片、金属电极、厚膜介质层、荧光层、透明ito电极和色彩转换层等组成，显示屏加上驱动和控制电路即构成完整的显示器。tdel显示器的中心层是荧光层，当施加足够强的电场时，荧光层就会发光，荧光体两边是绝缘层，上电极和下电极则组成了基本的电容结构，其中至少一个电极必须透明，以便看到发射光。显示屏结构和各层作用见图2和表1。玻璃显示屏色彩转换层透明ito电极荧光层厚膜介质层金属电极玻璃基片图2 无机厚膜电致发光显示器(tdel)显示屏结构表1 无机厚膜电致发光显示器(tdel)显示屏结构序号结 构作 用1玻璃显示屏简单的全固体结构，成像好，速度快，视角宽。2色彩转换层色彩转换层是以独特的红绿两色波长转换材料以印刷法涂于透明ito电极之上，将荧光体所发出之蓝色光转变为红色和绿色光，并透过和改善蓝光。3透明ito电极以溅射法制成，并以激光刻版形成条状电极，与金属电极垂直。4荧光层荧光层在电场作用下将电能转换为蓝色可见光，荧光层以溅射法制成，为无结构二维平面层，无精度要求。5厚膜介质层用以控制显示器的工作电压及保护荧光体，以印刷法制成的介质层，厚20微米，加工工艺简单，不受粉尘影响，无需高超洁净生产环境。6金属电极金属电极与透明电极的交叉点形式显示器点阵，电极使用金属合金，成本低廉，适用于大批量生产的印刷法制成。7玻璃基板玻璃基片用的是标准的显示平板玻璃。1.3 项目概况1.3.1 主要原辅材料表2 主要原辅材料用量及最大储存量序号原材料名称单位年用量厂内存放量来源备注（主要成分）1基板张208337500日本玻璃材质，不含铅2掩膜涂料升10036北美/日本铝粉15%、其余有机成分（丙烯酸羟酯类）85%3电极浆料克5000018000日本ag粉75%，pt粉1%，玻璃粉3%，乙基纤维素2%，丁基卡必醇醋酸酯7%、松节油8%、松油醇4%4绝缘介质浆料克8600030960日本氧化镁粉7%和氧化铝粉73%、乙基纤维素2%，玻璃粉3%、松节油10%、松油醇5%5绝缘材料靶1个52日本氧化铝类材料6绝缘材料靶2个52日本氧化铝类材料7荧光材料靶个11日本钡铝合金材料8绝缘材料靶3个42氧化镁类材料9ito材料靶个218日本氧化铟锡，铟氧化物(in2o3) 和 锡氧化物(sno2)的混合物，其中质量比90%in2o3，10% sno210光刻胶升10040日本感光树脂、增感剂和溶剂（溶剂二甲苯40%）11溶剂1（甲醇）t3.3262 0.40国内不包括循环套用的量12溶剂2（甲苯）t1.7359 0.21国内不包括循环套用的量13溶剂3（乙酸丁酯）t2.6337 0.32国内 不包括循环套用的量14金属材料靶1个11日本al材15金属材料靶2个31日本baal合金16保护涂料升3010北美氨基甲酸乙酯树脂17cbb颜料kg5520欧洲硫氨基树脂18cbb树脂kg8030北美/日本聚氨基树脂19环氧树脂胶个（3克装）34801250日本环氧树脂20屏清洗剂升9311国内异丙醇21高纯氮气nm313016国内采用加氢纯化工艺自制22高纯氩气nm3152.0国内氩气，外购23硫化氢nm32.00.3国内h2s，外购24活性炭吨1.30.2国内外购25光刻版个21日本带薄膜玻璃26玻璃显示屏张100203600日本玻璃材质，不含铅27列驱动器组6045021800日本电路板28行驱动器组241808700日本电路板29控制器个96203500日本控制电路30下骨架个96203500国内工程塑料31psu电路板个96203500日本电路板32屏/涂刷器个208国内屏/涂刷器33定位器个6720国内定位器34袋子个96203500国内聚酯35干燥剂个96203500日本硅胶36包装盒个96203500国内纸质37真空泵密封油升4-国内半年购买一次，随用随买1.3.2 项目主要设备清单表3 项目主要生产设备序号设备名称单位数量设备用途1日本真空顺列式垂直溅射机台1荧光体制膜2日本真空顺列式垂直溅射机台2介质膜、导电膜3anelva顺列式垂直溅射机台1多用途4日本真空团式溅射机台1导电膜、金属膜5日本真空烧结炉套1退火6koyo通道干燥炉套1干燥7noritake顺列式干燥炉套1干燥8noritake顺列式干燥炉套2干燥9micro-tec丝网印刷机台1印刷10daitron狭缝式旋涂机台1浆料、光刻胶旋涂11hakuto曝光机台1光刻曝光12evatech溶剂显影机台1光刻显影成型13evatech清边旋涂机台1浆料、光刻胶旋涂14shinkoseiki除污机台1显示器干洗15激光刻蚀机台1激光刻蚀16kurdex顺列式溅射机台1多用途17dynavac真空溅射镀膜机台1多用途18cpa顺列式溅射机台1多用途19galco顺列式溅射机台1多用途20cha真空溅射镀膜机台1多用途21edwards真空溅射镀膜机台1多用途22sierratherm通道炉套1厚膜烧结23sierratherm通道炉套1厚膜烧结24tempress通道炉套1厚膜烧结25mrlsequoia垂直烧结炉套1厚膜烧结26colt丝网印刷机台1印刷27hti丝网印刷机台2印刷28sawa丝网清洗机台1丝网清洗29sharp丝网清洗机台1丝网清洗30scs台式旋涂机台1浆料、光刻胶旋涂31oai平板曝光机台1光刻曝光32interserv矫准封装机台1封装33interserv矫准封装机台1封装34ohashi柔性电路联接机台1电路联接35ohashi柔性电路联接机台1电路联接36burkle幕涂机台1浆料幕涂37坐标测量仪/表面精测仪套1物理测量38bluem/gruenburg烘干炉套1干燥39tenny/thermotron环测箱套1环境测量40sdt热解重量分析仪套1材料分析41jeol电子显微镜台1物理分析42bruckerx光机台1晶相分析43tencor表面精测仪套1物理测量44cmix光厚度测量仪套1厚度测量45filmetric厚度测量仪套1厚度测量46rheometric流度计套1流度测量47ats自动测试机台1亮度测试48cpi自动化寿命测试台套1寿命测试49cpi自动化光致发光测试台套1光学测试50woolam椭圆分析仪套1光学测试51og激光修补机台1电极修补52lab-line干燥炉台1干燥53despatch干燥炉台1干燥54fisher冷藏库套1冷藏55coleparmer干燥炉台1干燥56nabertherm烧结炉台1厚膜烧结57olympus显微镜台1光学测量58olympus显微镜台1光学测量59visionlynx显微镜台1光学测量60edwards溅射机台1金属镀膜61asm分子镀膜机台1镀膜62photon光谱荧光计套1光学分析63convac基板清洗机台1基板清洗64blue-m干燥炉台1干燥65blue-m干燥炉台1干燥66pl测试系统套1测试67剥胶机台1剥胶68驱动键合系统套1组装69控制电路连接系统套1组装70板老化系统套1老化1.3.3 项目生产工艺流程1.3.3.1前道工序前道工序主要是背电极基板的处理，金属电极和厚膜介质的制作。（1）背电极基板处理背电极基板采用玻璃基板。玻璃基板的处理主要是清除基板表面的杂质，为电极和厚膜提供优良的载体，是背电极和厚膜制作的基础和质量保证。玻璃基板清洗采用全封闭式的自动化超声清洗机进行清洗。超声波清洗后再用纯水进行冲洗。（2）金属电极制作金属电极层制作采用的是丝网印刷技术。采用丝网印刷机在洁净的玻璃基板上涂刷上掩膜涂料。掩膜涂料是一种含有金属铝的胶化体。涂有掩膜涂料的玻璃基板进入焙烘炉中进行焙烘，焙烘炉采用的是全封闭式结构，电加热，使掩膜涂料固化在玻璃基板上。然后用丝网印刷机把电极浆料印刷到掩膜涂料上，进入带式炉进行预热烘干和烧结，带式炉采用电加热，检验合格进入下一工序。（3）厚膜介质制作厚膜介质层制作采用的是丝网印刷技术。采用丝网印刷机将绝缘介质浆料涂在上述工序制成金属电极后的玻璃基板上，然后进入焙烘炉中烘干来改善绝缘介质的密度，并使浆料中的有机物挥发，在cip设备系统中对涂有绝缘介质的基板进行碾压，使绝缘介质平整，然后进入带式炉中进行预热烘干和烧结使绝缘介质定型并固化在基板上。用厚度测量系统对绝缘介质层进行测量，使绝缘介质层的厚度为20微米，然后用丝网印刷机把掩膜涂料涂到基板上。涂有掩膜涂料的基板进入焙烘炉烘干，使浆料中的有机物挥发，然后用cd显微镜对基板进行检测后进入下一道荧光层制作工序。1.3.3.2 发光膜（荧光层）制作工序荧光层制作采用的是磁控溅射镀膜工艺。用密闭的荧光物质溅射机在纯氩气气氛中把绝缘材料靶1（氧化铝类材料）、绝缘材料靶2 （氧化铝类材料）和荧光材料靶（钡铝合金材料）分别溅射到基板的厚膜介质层上。在荧光材料靶（钡铝合金材料）溅射时注入少量硫化氢。剩余硫化氢连同保护气体氩气一同被负压真空系统抽出，经活性炭吸收装置处理后排放。溅射完成后基板进入电加热退火炉进行退火处理，消除层与层和层内的应力。退火处理后用紫外线荧光系统对荧光层进行测试，用厚度测量系统对荧光层的厚度进行测量。然后转入下一道彩色滤光膜制作工序。1.3.3.3 彩色滤光膜工序彩色滤光膜包括ito透明电极层和彩色转换层两部分。（1）ito透明电极层ito透明电极层制作采用的也是溅射工艺。用ito电极溅射机在纯氩气气氛中把绝缘材料靶3（氧化镁类材料）和ito材料靶（纳米铟锡金属氧化物）依次溅射到荧光层上，氩气被负压真空系统抽出后直接排放。然后进入密闭的ito列电极激光刻蚀机中把ito材料刻蚀成列，刻蚀下来的废ito材料统一收集后外送具有相应危废处理资质的单位统一处理。然后再进入光刻工序，光刻工序共包括涂光刻胶、曝光、显影等工段，首先再用旋涂机把光刻胶涂到基板上，通过紫外光曝光使光刻胶固化在透明ito材料之间，厚度与透明ito材料相同，剩余没有固化的部分依次通过有机溶剂甲苯、甲醇、乙酸丁酯清洗下来。经过上述光刻处理后的基材进入金属溅射机中，在纯氩气气氛中分别把金属材料靶1（al材）、金属材料靶2（baal合金）溅射到基板的透明ito材料上，形成透明ito电极，氩气被负压真空系统抽出后直接排放。用光学显微镜进行显微检测，用光电测量系统对基板进行光电测量，用集成测试和修理器对基板进行短路、断路测量和修理，再用丝网印刷机把保护涂料涂到测量合格的基板上。（2）色彩转换层色彩转换层制作采用的是丝网印刷技术。在涂有保护涂料的基板上用涂胶/曝光/显影处理系统在纯氮气条件下分别用旋涂机涂印cbb颜料和cbb树脂混合物，通过不同的光刻版对cbb进行曝光，并分别用不同的溶剂依次溶解没有曝光的cbb颜料和cbb树脂，使基板的每个像素上分别留下红光转换层、绿光转换层和蓝色滤光层。氩气和挥发的有机废气被负压真空系统抽出，抽排至活性炭吸收装置经吸附处理后排放。有机溶剂循环使用。用面板自动显微检测器进行显微检测，对合格的基板用金刚石切割系统把基板上的边角切割下来，并用旋转切削机对基板边缘进行处理，用pl测试系统对基板进行连续测试后进入封装工序。1.3.3.4 封装工序玻璃显示屏在封装前首先要经过超声波干洗。基板盖上经过超声波干洗后的玻璃显示屏，采用封装机在真空条件下进行封装。用粘贴胶把玻璃显示屏和玻璃基板粘贴在一起，然后自然晾干。用剥胶机剥下多余的粘贴胶（s14），在驱动键合系统中连接上列驱动器和行驱动器，用控制电路连接系统连接上控制器，在基板老化系统中对屏幕进行老化处理，用屏清洗剂对整个屏幕进行擦拭清洗，安装下骨架和psu电路板，用袋子包装成品并放入干燥剂装入包装盒即可。拟建项目生产工艺流程见图3。图3 拟建项目工艺流程及产污环节图1.3.4 项目组成 拟建项目由研发生产厂房、原料气罐区、综合楼、行政办公楼等组成。拟建项目的基本组成情况见表4。表4 项目组成一览表序号设施名称内 容备注1主体工程研发生产厂房一座，主体一层，局部两层，占地面积7026m2，建筑面积9381m2，划分为各个生产分区和综合动力区、仓库区、辅助分区等。其中生产分区包括：厚膜区、发光膜制作区、彩色滤光膜制作区、设备灰区、封装测试区等。综合动力区包括：制冷站、空压站、纯水站、循环水站、真空气站以及气瓶间等。仓库区包括原材料库、成品库、产品临时仓库等。辅助分区包括车间办公室、展厅、接待室、更衣间、培训室等。2动力工程研发生产厂房内的综合动力区。制冷站：冷源采用电制冷的方式，设置两台离心机组。同时，设置两台对应的冷却塔、水泵系统，冷冻水泵使用一次泵的方式，因为本项目的系统比较小，设备集中，层高较小，使用一次泵完全能够满足使用，也方便控制、维护，节约成本。循环水站：用于气动系统循环冷却水的补充用水、空调制冷循环冷却水的补充用水。本项目根据工艺要求，设置了两套独立的循环冷却水系统：空压机、干燥机、氮气纯化设备所需循环水供/回水温32/37。冷冻水供/回水温32/37。循环水量300t/h。空压机站：选用2台无油螺杆式空压机，一用一备。储气罐选用1 个，和空压机组成单元配置，单个储罐材质为碳钢。压缩空气外置冷冻干燥和吸附式组合干燥装置和经三级过滤器过滤处理，达到工艺要求的品质要求。空压机用冷却水采用冷却塔降温循环供应。纯水站：采用采用反渗透水处理设备制备纯水。真空气站：清扫真空系统是满足工艺设备和洁净区内清洁工作使用，真空机组设置在研发生产厂房辅助动力区内。真空系统包含真空泵、管袋式分离器、移动式收集桶、排气消音器、管道及阀门附件等。3储运工程原料气罐区氮气罐区：根据工艺设备负荷需求的要求，采用外购液态氮，经气化后减压和氮气纯化处理，氮气纯化采用加氢纯化工艺。氢气罐区：氮气纯化采用加氢纯化工艺。所需的氢气存放在氢气罐区内。研发生产厂房内的仓库区工艺气体钢瓶供气系统：硫化氢、氩气、氮气供应系统。采用气瓶柜供气，气瓶柜为自动方式。研发生产厂房内原材料库：一座，建筑面积191m2，主要存放玻璃基板以及其他原料。成品库：一座，建筑面积191m2，主要存放成品。并设有产品临时库房两处。成品库内划定一定的区域做为危废间。4环保工程废水处理系统项目产生的清洗废水和生活污水一起经市政管网进入套子湾污水处理厂进行处理。-废气处理系统对生产中产生的各种有机废气采用活性炭吸附处理后经一根20m排气筒达标排放。事故水池容积为500m3的事故水池一座，并进行防渗处理。其它废液、废渣收集系统；绿化、雨水管网系统。5公用工程供水用水来自市政自来水管网，水源为福山区的芝阳水厂。-供热依托空调取暖。供电来自福山区电网，厂内新建10/0.4kv变电所一座，内设高、低压配电室、控制室和变压器室等。6生活、办公设二层行政办公楼、三层综合楼各一座1.3.5建设周期和投资本项目计划建设期为1.5年。投资：项目总投资6.6亿元人民币，其中环保投资420万元人民币，环保投资估算表见表5。表5 环保设施及投资估算污染因素污染源处理措施数量（台套）投资（万元）控制目标废气介质浆料烘干或烧结过程产生的有机废气；涂印、曝光、显影过程中溶剂挥发废气及荧光物质溅射剩余h2s活性炭吸附3160恶臭污染物排放标准表2、大气污染物综合排放标准二级废水生活污水、生产废水化粪池、事故水池25进套子湾污水处理厂噪声噪声设备隔声、减振、消声等若干80控制厂界噪声达标和关心点噪声达标固废危废临时存储库160安全处理，满足危险废物贮存污染控制标准和一般固废贮存、处置场控制标准所有固废送供货方或协议单位处置-绿化厂区60风险防范措施55合计环保投资4201.4 项目选址选线方案比选，与法律法规、政策、规划和规划环评的相符性1.4.1 产业政策相符性分析拟建项目所研发的“厚膜介质电致发光(tdel)技术，”是一种全固体、全彩色、高亮度、无辐射、无闪烁、高清晰度、色彩逼真、低功耗的新型平板显示器技术，因此符合产业结构调整指导目录（2011年修正本）中的“一、鼓励类：二十八、信息产业：27、薄膜场效应晶体管lcd（tft-lcd）、等离子显示屏（pdp）、有机发光二极管（oled）、激光显示、3d显示等新型平板显示器件及关键部件”，因此属于国家产业政策鼓励类项目。根据外商投资产业指导目录（2011年修订）“第一类、鼓励类：三、制造业：（二十一）通信设备、计算机及其他电子设备制造业：27、薄膜场效应晶体管lcd（tft-lcd）、等离子显示屏（pdp）、有机发光二极管（oled）、激光显示、3d显示等新型平板显示器件及关键部件，因此属于外商投资产业政策鼓励类项目。1.4.2 其它法规、政策相符性分析根据逐条分析，本项目的建设符合中华人民共和国水污染防治法、关于进一步落实好环评和“三同时”制度的意见(鲁环发2007131号)、山东省环境保护厅关于印发的通知（鲁环函2012263号）、关于进一步加强环境影响评价管理防范环境风险的通知（环发201277号）和关于切实加强风险防范严格环境影响评价管理的通知（环发201298号）等有关法规和政策的要求。1.4.3 规划相符性分析拟建项目位于烟台市福山分区规划（2006-2020）中规划的信息产业组团内，用地属于福山分区规划的工业用地，因此符合福山区城市总体规划的要求。拟建项目所研发的“厚膜介质无机电致发光显示器 (tdel)”是一种全固体、全彩色、高亮度、无辐射、无闪烁、高清晰度、色彩逼真、低功耗的新型平板显示器，属于福山区信息产业城控制性详细规划规划的鼓励类产业，而且位于规划中的信息产业用地，因此项目的建设符合福山区信息产业城控制性详细规划的要求。2 项目周围环境现状2.1 项目所在地的环境现状1、环境空气根据本次环境质量现状监测结果，拟建项目所在区域环境空气质量现状较好，各监测点位的so2、no2、pm10和tsp的小时浓度与日均浓度均不超标，能够满足环境空气质量标准(gb3095-1996)中的二级标准要求， h2s、甲醇、甲苯、二甲苯、非甲烷总烃、乙酸丁酯、异丙醇等特征污染物均未检出。 2、地表水根据搜集的内、外夹河上例行监测断面（仉村河、水闸下、大沙埠）2012年3月、5月、7月和8月的监测资料，各监测断面的ph、do、生化需氧量、高锰酸盐指数、化学需氧量、氨氮、氟化物、六价铬、砷、氰化物、挥发酚、阴离子表面活性剂等监测指标均能满足地表水环境质量标准(gb3838-2002)中的类标准要求，且六价铬、砷、氰化物、挥发酚、阴离子表面活性剂等几项指标均未检出，说明内、外夹河现状水质较好。3、地下水根据环境质量现状监测评价结果，本次环评选取的七个监测点的ph、总硬度、高锰酸盐指数、六价铬、总大肠菌、氯化物、硫酸盐、氨氮、ss、硝酸盐、亚硝酸盐、阴离子合成洗涤剂等监测项目均能满足地下水质量标准(gb/t14848-93)中类标准要求，甲苯、二甲苯、松节油也能满足参考的地表水环境质量标准（gb3838-2002）集中式生活饮用水地表水源地特定项目标准限值的要求。说明项目附近地下水水质较好。4、噪声根据环境质量现状监测评价结果，拟建厂址所在区域除北厂界昼间噪声出现超标现象外，其他厂界和厂区附近敏感目标昼夜间噪声均符合声环境质量标准(gb3096-2008)中的2类标准要求。北厂界噪声出现超标现象主要是由于北厂界紧邻英特尔大道，车流量较多，交通噪声引起的厂界超标。2.2 项目环境影响评价范围2.2.1 评价等级根据环境影响评价技术导则（hj/t2.1-2011、hj2.2-2008、hj/t2.3-93、hj2.4-2009与hj/t169-2004）要求及拟建项目污染物种类与排放量、所处地理位置、区域环境特征等特点，确定该项目各专项评价等级。环境影响评价等级见表6。表6 环境影响评价等级一览表专题等级的判据等级确定环境空气根据环境影响评价技术导则大气环境（hj2.2-2008）本工程废气污染物主要为甲醇、甲苯、乙酸丁酯、二甲苯、非甲烷总烃、硫化氢等，按导则（hj/t2.2-93）中等标排放量计算式进行计算确定。计算得到有组织排放各污染物的等标排放量pi 值均小于10%。三级地表水废水去向本项目仅排放少量的显示器清洗废水和生活废水（总量16.6 m3/d），在满足接管标准后排入烟台市套子湾污水处理厂，套子湾污水处理厂排水经排海管道排入黄海。本项目废水不直接排入地表水体，本环评重点对本项目废水进入套子湾污水处理厂处理的可行性和可靠性进行分析。影响分析地下水（1）根据hj 610-2011，本项目属于类建设项目；（2）拟建项目基础选型以层粉质粘土做天然地基持力层，单层厚度大于1m，根据试验结果结合当地经验综合确定该层渗透系数为k=1.5910-5cm/s （0.0137m/d）。且分布连续、稳定。确定包气带防污性能为中。（3）场区勘察深度内地下水类型为孔隙潜水，孔隙潜水主要赋存于层中砂、层角砾及中，局部赋存于层粉质粘土的下部，勘察期间实测稳定水位埋深7.40m带岩性（如粗砂、砾石等）渗透性强的地区，利于地下水中污染物稀释、自净；场区位于内夹河和外夹河之间，位于地表水的补给径流区，属于地表水和地下水联系密切的地区；本区无多个含水层。综上，确定建设项目场地的含水层污染特性为易。（4）拟建项目所在区域属于烟台市内夹河饮用水源准保护区，故地下水环境敏感程度定为敏感。（5）建设项目污水排放量属于“小”（污水排放量为16.6m3/d。污水中污染物类型数=1，需预测的水质指标6，故建设项目水质复杂程度属于“简单”。一级噪声声环境功能区域2类二级噪声源工业噪声，项目建设前后噪声级增加小于3db(a)且受影响人口变化不大生态周围3.0km范围内不存在敏感的自然保护区、森林保护区等敏感生态目标，无珍稀濒危物种，故影响区域生态敏感性为一般区域，影响面积以厂区占地为主即0.043km2。确定本次生态环境影响评价为三级。三级环境风险拟建项目原料及产品储存量不构成重大危险源，故确定环境风险评价等级为二级。二级2.2.2 评价范围根据当地的气象、水文地质条件和拟建项目污染物排放情况及厂址周围敏感目标分布特点，确定拟建项目环境影响评价范围和重点保护目标见表7、8和图4、5。表7 评价范围一览表序号项目评价范围1环境空气拟建项目厂址四周3km的范围内。2地表水项目附近内夹河与外夹河上游500m至下游2km处范围。3地下水厂址周围4km范围、地下水取水口及内、外夹河河沿岸。4噪声厂界外1m及附近200m范围内的声环境敏感目标。5环境风险以拟建厂址为中心，半径3km的范围。表8 评价范围内重点保护目标一览表环境要素环境保护对象名称方位距离（m）评价范围环境空气、地下水（风险）南关n1730地下水为以厂址为中心半径4km的范围（环境空气、风险3km范围）福山县城n1870前埠n735曾家庄nw1660大沙埠ne2650房家疃e710西玉树庄e2735葛家庄se1615南涂山村se280家后村se2260家后村等五个村se2050崇义村s1640两家庄村s2870仉村张村sw2815仉村王村sw2880吕格庄sw1770东留公w1685西留公w2630兴华庄nw2700两甲庄村s2750小梁家庄ne3150小沙埠村ne3720西车村ne3190东玉树庄村e3420套口村ese3910蔡家夼sse3160东周格庄sw3900仉村周庄w3970南十里堡w3980蔡家夼se3720水环境外夹河e1930内、外夹河流域内夹河w930项目附近供水水厂、地下水取水井-厂址附近1000m的范围声环境厂址附近200m范围（没有村庄等敏感目标）生态项目厂区占地范围内图4 拟建项目附近敏感目标分布图图5 拟建项目附近水厂以及地下取水井敏感目标分布图3 项目影响预测及拟采取的主要措施与效果3.1 污染源分析3.1.1 废气污染物以及治理措施拟建项目有组织废气污染源主要有各种介质浆料烘干或者烧结过程中产生的有机废气，有机溶剂在清洗过程中挥发产生的溶剂废气，集气罩收集效率可达90%,其余不能收集的10%作为无组织废气排放；光刻工序产生的光刻废气；荧光物质溅射过程在纯氩气气氛中进行，通入少量的h2s参加反应，未反应的h2s废气和氩气作为废气排放。上述几股废气经引风机引到两级活性炭吸收装置吸收后最终通过20米高排气筒排放。通过采取活性炭吸附处理措施后，排气筒排放废气均能满足相应标准的要求：硫化氢排放浓度和速率能够满足恶臭污染物排放标准（gb 14554-93）20m排气筒对应的标准要求；甲醇、甲苯、二甲苯、非甲烷总烃排放浓度和速率满足大气污染物综合排放标准（gb16297-1996）二级标准（20m排气筒）要求；乙酸丁酯排放浓度满足工作场所有害因素职业接触限值化学有害因素(gbz2.1-2007)相应标准限值。年有组织废气排放量：甲醇7.47 kg/a；甲苯3.48 kg/a；乙酸丁酯4.68 kg/a；二甲苯0.012 kg/a；非甲烷总烃41.27 kg/a；硫化氢1.49 kg/a。本项目研发生产厂房内的无组织废气排放量为非甲烷总烃11.49 kg/a、甲醇4.97kg/a、甲苯2.59kg/a、乙酸丁酯3.92kg/a。3.1.2 废水污染物以及治理措施拟建项目排水按照雨污分流、清污分流的原则，设有生产废水排水系统、雨水排水系统等。本项目研发生产过程中产生的废水主要是玻璃基板超声波清洗后再用纯水清洗产生的清洗废水，其余生产环节均无生产废水的产生。此外还有循环系统冷却排水、纯水制备浓水和办公生活区的生活废水等。各股废水产生情况参见下表。表9 拟建项目废水产生及处理情况一览表种类编号产生工序废水量(t/d)污染物产生浓度(mg/l)排放方式与去向phcod氨氮ss异丙醇表面活性剂生产废水w1基板清洗废水3.87910010202510套子湾污水处理厂生活污水w4生活区、办公区12.86935035200/合计16.669293291595.72.3套子湾污水处理厂设计进水水质6965045450-循环冷却排污水w2循环冷却系统12/直排雨水管网浓缩废水w3纯水制备系统1.6/可见，拟建项目排水满足套子湾污水处理厂的设计进水水质要求，送套子湾污水处理厂进一步处理。套子湾污水处理厂出水达到城镇污水处理厂污染物排放标准(gb18918-2002)一级a标准后通过排海管道深海排放。拟建项目年排入套子湾污水处理厂的污染物量为：废水量0.415万t/a；cod：1.22t/a、nh3-n：0.12t/a；经套子湾污水处理厂处理后排入深海的的污染物量为cod：0.21t/a、nh3-n：0.021t/a。3.1.3 噪声源以及治理措施拟建项目主要噪声设备为废气吸附处理装置风机、车间中央通风风机、空压机以及循环水泵、真空泵等，噪声值在8080db（a）之间，噪声设备及治理措施见表10。本项目对噪声的控制主要采取了以下措施：设计中尽量选用高效能、低能耗、低噪声的设备；在水泵吸水管和出水管上设置可曲挠橡胶接头；通风、空调系统风管上均安装消声器或消声弯头；对产生强噪声的动力设备，采取设备减振、接管处加装橡胶或金属软管接头隔振，在吸气、排气处设置消声过滤器等措施；利用墙体屏蔽、建筑隔声降噪，空压机、风机等噪声较大的设备设置隔声间。表10 拟建项目主要设备噪声一览表设备名称数量声级值（dba）处理措施降噪效果等效室外源强废气吸附处理装置风机493基础减振，安装消声器，室内安装，设置隔声间2073车间中央空调风机890基础减振，安装消声器，室内安装，设置隔声间2070空压机285基础减振，室内安装，设置隔声间2065真空泵482基础减振，室内安装1765循环水泵885基础减振，室内安装17683.1.4 固废拟建项目固废产生及处置情况见表11。表11 拟建项目固废产生及处置情况一览表序号产生节点编号固废污染物主要成分属性产生量(t/a)处置方式1s1废清洗剂异丙醇hw42危废0.0147烟台环球环保设备有限公司统一处理2s2、s4废掩膜涂料丙烯酸羟烷酯等脂类hw16危废0.0063s3废绝缘介质浆料-hw16危废0.00434s5废ito材料锡氧化铟hw16危废0.003755s6、s7、s8废有机溶剂甲苯、甲醇、乙酸乙酯、光刻胶hw42危废3.88446s9废保护涂料氨基甲酸乙酯树脂hw16危废0.001587s10、s11、s12废有机溶剂甲苯、甲醇、乙酸乙酯、光刻胶hw42危废3.89628s14封装后剥离胶环氧树脂hw13危废0.00249s13废基板边角料废弃印刷电路板hw49危废0.08854青岛新天地固体废物综合处置有限公司统一处理10s15基板擦拭废弃手套含异丙醇等hw49危废0.0511s16废绝缘材料靶1、靶2、靶3、废荧光材料靶、废ito材料靶、废金属材料靶1和靶2-hw49危废0.00312s17有机废气处理产生的废活性炭-hw49危废1.6813s18印刷丝网残留浆料清洗用溶剂工业酒精hw42危废0.06烟台环球环保设备有限公司统一处理14s19破碎的玻璃基板玻璃一般固废0.05物质回收站回收15s20空压站和氮气加氢纯化站废过滤器芯-一般固废0.10供货单位回收16s21空调过滤系统废过滤器芯-hw49危废0.08青岛新天地17s22氮气加氢纯化站含钯废催化剂-一般固废0.005供货单位回收18s23废真空泵油油脂类hw08危废0.004外送烟台环球环保设备有限公司19-生活垃圾-一般固废50环卫部门清运项目固废产生量合计59.9339t/a；其中一般固废：50.155 t/a；危险固废：9.7789 t/a3.2 环境保护目标据初步调查，项目周边的敏感点的具体分布见前文表8和前文图4、5。3.3 预测结果3.3.1 大气环境影响预测评价结果根据预测结果，有组织排放的甲醇、甲苯、乙酸丁酯、二甲苯、非甲烷总烃、硫化氢最大落地浓度均符合标准要求，各评价点的预测浓度叠加现状值以后也能够达标；从无组织排放污染物预测结果来看物非甲烷总烃、甲苯、甲醇、乙酸丁酯最大落地浓度均和厂界浓度也能符合相应的标准要求。3.3.2 水环境影响分析结果（1）地表水项目废水采取“雨污分流和清污分流”的原则，设厂区雨水、生产生活废水两个废水收集系统，各系统自成独立管网。生产、生活污水经市政污水管网进入烟台套子湾污水处理厂处理后深海排放，清净下水直接排入厂区雨水管网。项目计划于2014年8月投产，届时套子湾污水处理厂二期扩建工程估计已经建成投产，因此能够有余量收纳拟建项目排放的约16.6m3/d的废水；即使套子湾污水处理厂二期扩建工程在拟建项目投产前尚未投产，由于拟建项目废水排放量较小，占污水厂现有处理规模的0.0083%，因此拟建项目的投建对套子湾污水处理厂的冲击不大，其还能接受拟建项目排放的废水。拟建项目建设对夹河水源地等地表水环境和海洋