电子显微镜PPT.ppt

1、电子显微镜,一、透射电子显微镜,（1）透射电子显微镜工作原理 透射电子显微镜在成像原理上与光学显微镜类似。它们的根本不同点在于光学显微镜以可见光作照明束，透射电子显微镜则以电子为照明束。在光学显微镜中将可见光聚焦成像的玻璃透镜，在电子显微镜中相应的为磁透镜。由于电子波长极短，同时与物质作用遵从布拉格方程，产生衍射现象，使得透射电镜自身在具有高的分辨率的同时兼有结构分析的功能。,（2）透射电子显微镜构造,透射电镜的光路图,电子光学系统,电子显微镜的电子光学系统的核心是磁透镜。电子光学系统是一个透镜组。上端是电子枪部分，下端是观察和照相部分，中间则为成像系统和样品室。,照明系统由电子枪和第一聚光镜

2、、第二聚光镜组成。它的作用是提供一个亮度高、尺寸小的电子束。电子束的亮度取决于电子枪，电子束直径的尺寸则取决于聚光镜。电子枪又分为阴极灯丝、栅极、加速阳极三部分，是电镜的照明光源。灯丝通过电流后发射出电子，栅极电压比灯丝负几百伏，作用是使电子会聚，改变栅压可以改变电子束尺寸。加速阳极系统具有比灯丝高数十万伏的高压，其作用是使电子加速，从而形成一个高速运动的电子束。,聚光镜是使电子束聚焦到所观察的试样上，通过改变聚光镜的激磁电流，可以改变聚光镜的磁场强度，从而控制照明强度及照明孔径角大小。 样品室在照明系统下面，放置被观察样品，并使样品沿x、y、z方向移动。,样品室下面是成像系统。它是由物镜、中

3、间镜和投影镜组成。物镜是电镜的重要部分，它的作用是形成样品的第一级放大像，并对像进行聚焦。物镜中还有一个可变光阑和物镜消像散器，其作用是减少物镜像散，提高分辨本领。物镜所产生的任何缺陷都将被随后的中间镜和投影镜放大，所以透射电镜分辨本领的高低主要取决于物镜。通常用强磁透镜作为物镜，其放大率为100200倍。,中间镜的作用是把物镜形成的第一级放大像再进行二级放大。中间镜一般用弱磁透镜，要求电流的可调范围比较大。改变中间镜的激磁电流可以改变中间镜磁场强度，从而改变中间镜的放大倍数，进而改变整个成像系统总的放大倍数。 投影镜的作用是把上述所形成的电子图象进一步放大并投影到荧光屏上。要求荧光屏有较高的

4、放大倍数，一般用强磁透镜。,设物镜的放大倍数为M0，中间镜的放大倍数为M1，投影镜的放大倍数为Mp，这时成像系统的总的放大系数M为：M= M0 M1Mp 在电镜的设计、制造中，采用改变中间镜的放大倍数来改变总的放大倍数。,（3）透射电镜分辨率与放大倍数,分辨率 点光源通过理想透镜（无像差）成像后，不能得到一个完整的点像，而是得到一个具有一定尺寸中央亮斑及其周围明暗相间的圆环所组成的所谓埃利斑（Airy）。通常埃利斑的大小以第一暗环的半径r表示。根据衍射理论推导，点光源通过透镜产生的埃利斑半径r的表达式为： 式中：是照明束波长，是透镜孔径半角，n是物方介质折射率，nsin或NA称为数值孔径。,分

5、辨本领 孔径越大，分辨率越高。孔径角越大，收集的信息越多，得到的图像越少受衍射的影响，越接近点像。 波长越短，分辨率越高。电子波长取决于加速电压V： 人眼睛的分辨本领0.10.2mm 光学显微镜的分辨本领200nm 电子显微镜0.10.2nm,放大倍数,电镜最大的放大倍数等于肉眼分辨率（约0.2mm）除以电镜的分辨率0.2nm，因而在106数量级上。,（4）透射电子显微镜图像的衬度原理,每张电子显微镜照片都是用明暗不同而形成像的。当电子束通过薄样品时，由于电子与试样的相互作用，电子通过样品后即发生电子散射、电子衍射和干涉等物理过程。用于透射电子显微镜分析的样品必须很薄，避免样品被吸收。电子显微

6、镜照片的反差即衬度，有散射衬度、衍射衬度和相位衬度三种。, 散射衬度,由于样品对入射电子的散射而引起的。它是非晶态物质形成衬度的主要原因。,散射衬度的形成, 衍射衬度,这是样品对电子的衍射引起的，是晶体样品的主要衬度。,衍射衬度形成示意图,位相衬度,由于散射波和入射波在像平面上干涉而引起的衬度。是超薄样品和高分辨像的衬度来源。,（5）透射电子显微镜的样品制备, 金属载网和支持膜 支持膜应具有良好的电子透明性，能经受电子轰击，并有较高的热稳定性和化学稳定性，一般采用聚乙烯醇缩甲醛、硝酸纤维素、聚乙烯醇和醋酸纤维素的溶液在蒸馏水表面成膜。近来常用的是蒸镀一层20nm厚的碳膜。因为碳的原子序数低，碳

7、膜对电子束的透明度高，又耐电子轰击，其强度、导电、导热和迁移性均很好 。, 超薄切片技术,用超薄切片机可获得50nm左右的薄试样。如果要用透射电子显微镜研究大块聚合物样品的内部结构，可采用此法制样。纤维、薄膜、颗粒状或小块试样，须用树脂包埋后进行超薄切片。常用的包埋剂有邻苯二甲酸二丙烯酯、甲基丙烯酸甲酯与甲基丙烯酸丁酯的混合单体及环氧树脂等。经包埋后再切片，就不会切削过程而使超微结构发生变形。 一般来说，由超薄切片得到的试样还不能直接用来进行透射电镜的观察。因为其衬度较低，需要通过染色或蚀刻的方法来改善切片试样的图像衬度。但不要采用投影的方法，因为切片的表面总有刀痕，投影以后会引入假象。,分散

8、聚四氟乙烯粉粒的超薄切片像, 蚀刻,蚀刻的目的是除去一部分结构，从而可以突出需要的结构。蚀刻方法主要有三种：溶剂蚀刻、酸蚀刻和等离子蚀刻。溶剂蚀刻是靠溶剂的溶解除去易溶性分子；酸蚀刻是用强酸选择性氧化某一相，使高分子断裂为碎片而被除去；等离子或离子蚀刻是用等离子或离子带电体攻击聚合物表面，除去表面的原子或分子，由于除去速度的差异而产生相之间的反差。,125结晶的等规聚丙烯薄膜的蚀刻表面的复型照片, 投影,利用真空镀膜的方法把重金属以一定的角度沉积到试样表面上去当试样表面存在凹凸起伏的表面形貌时，面向蒸发源的区域沉积上一层重金属，而背向蒸发源的区域会凸出部分挡掉，沉积不上重金属，从而形成对电子束

9、透明的“阴影区”，使图像反差大增，立体感加强。, 染色,所谓染色处理实质上就是用一种含重金属的试剂对试样中的某一个相或某一组分进行选择性的化学处理，使其结合上或吸附上重金属，而另一部分则没有，从而导致它们对电子的散射能力的明显差异。,SBS嵌段共聚物挤出条横截面超薄切片的电子显微像（OsO4）染色,1）OsO4染色，可染-C=C-双键、-OH基、-NH2基。其染色反应是：,2）RuO4染色： 克服了OSO4染色的局限性。对大部分聚合物都能染色，对PVC、PMMA、PAN、PVF不能染色。对不同的聚合物的染色速率不同。,用2%RuO4水溶液熏1540min。, 冷冻脆断,除了切片以外，块状聚合物

10、样品的内部结构还可以通过冷冻脆断的方法来显示。具体做法是先将样品在液氮或液态空气中浸泡一段时间，待液氮表面不再有气泡时，表明样品内外均已冷冻到液氮温度。这时将样品取出，迅速折断。折断后如果表面粗糙，可用扫描电镜观察。如果表面不太粗糙，也不能直接放入透射电镜中观察。只能先复型，后观察。, 复型,先将试样的一个表面打磨抛光，形成平整的表面，选择适当的蚀镂剂将试样表面侵蚀，再用适当的方法将蚀镂过的表面复制下来，复制物作透射电镜观测，从而了解试样的形态结构。,1） 塑料一级复型,样品上滴浓度为1%的火棉 胶醋酸戍酯溶液或醋酸纤维 素丙酮溶液，溶液在样品表 面展平，多余的用滤纸吸掉， 溶剂蒸发后样品表面

11、留下一 层100nm左右的塑料薄膜。 分辨率低（1020nm），电子束照射下易分解和破裂。,碳一级复型,样品放入真空镀膜装置中， 在垂直方向上向样品表面蒸镀 一层厚度为数十纳米的碳膜。 把样品放入配好的分离液中进 行电解或化学分离。 分辨率高（25nm）， 电子束照射下不易分解和 破裂，样品易遭到破坏。,2） 二级复型,先一次复型，然后进行二 次碳复型，把一次复型溶去， 得到第二次复型。 为了增加衬度可在倾斜 15-45的方向上喷镀一层 重金属，如Cr、Au等。,塑料-碳二级复型,塑料-碳二级复型结合两种一级复型的优点。不破坏样品原始表面；最终复型碳膜，稳定性和导电导热性都很好，电子束照射下不

12、易分解和破裂；分辨率和塑料一级复型相当。 适于粗糙表面和断口的复型。,二级复型照片,（6） 透射电子显微镜的应用,1）结晶性高分子,(a),PE单晶的电子显微像（a）和电子衍射谱（b） 0.01%的PE二甲苯稀溶液，80,型古塔胶单链单晶的形态及电子衍射图,PEO球晶,PE球晶,PE串晶,尼龙66树枝晶,2）多相高分子体系 共混物,高抗冲尼龙的相结构 （a）相差显微镜照片（450 x）；（b）TEM照片（5140 x）； （c） TEM照片（5790 x）TEM切片样品都经RuO4蒸汽染色,橡胶组分形成连续相，尼龙为分散相, 嵌段共聚物的结构形态,a,b1,b2,苯乙烯与异戊二烯、苯 乙烯与丁

13、二烯嵌段共聚， 按共组分含量不同，可 形成球状、柱状、层状等各种聚集态。图a为球状形态，图b1为双螺旋形态图b2为年轮型层状形态。,3） 高分子乳液颗粒形态,PMMA/SPS乳液粒子的TEM照片,三、扫描电子显微镜（SEM）,扫描电子显微镜（Scanning electron microscope-SEM）是以类似电视摄影显像的方式，通过细聚焦电子束在样品表面扫描激发出的各种物理信号来调制成像的显微分析技术。 扫描电子显微镜以较高的分辨率（3.5nm）和很大的景深清晰地显示粗糙样品的表面形貌，并以多种方式给出微区成份等信息，用来观察断口表面微观形态，分析研究断裂的原因和机理，以及其它方面的应用

14、。,（1）电子束与固体样品相互作用时产生的信号 具有高能量的入射电子束与固体样品表面的原子核及核外电子发生作用，产生如下物理信号。,入射电子束轰击样品产生的信息, 背散射电子（backscattering electron)背散射电子是指被固体样品中的原子核或核外电子反弹回来的一部分入射电子。 二次电子(secondary electron)在入射电子作用下被轰击出来并离开样品表面的样品原子的核外电子。它是一种真空自由电子 。 由于原子核和外层价电子间的结合能很小，因此，外层的电子较容易和原子脱离，使原子电离。 一个能量很高的入射电子射入样品时，可以产生许多自由电子。其中90%来自于外层价电子

15、。, 吸收电子(absorption electron)入射电子进入样品后，经多次非弹性散射，能量损失殆尽，最后被样品吸收。 透射电子(transmission electron)如样品足够薄，则会有一部分入射电子穿过样品而成透射电子。 俄歇电子(Auger electron)如果原子内层电子在能级跃迁过程中释放出来的能量E并不以X射线的形式发射出去，而是用这部分能量把空位层的另一个电子发射出去（或空位层的外层电子发射出去），这一个被电离的电子称为俄歇电子。 每种原子都有自己的特定壳层能量，所以它们的俄歇电子能量也各有特征值。, 特征X射线(characteristic X-ray)指原子的内

16、层电子受到激发后，在能级跃迁过程中直接释放的具有特征能量和特征波长的一种电磁波辐射。 特征X射线的波长和原子序数间的关系服从莫塞莱定律。 Z原子序数， K、常数 原子序数和特征能量，特征波长之间有对应关系，据此可进行成分分析。,（2）扫描电子显微镜的成像原理 由电子枪发射的能量最高可达30keV的电子束，经会聚镜和物镜缩小、聚焦，在样品表面形成一个具有一定能量、强度、斑点直径的电子束。在扫描线圈的磁场作用下，入射电子束在样品表面上将按一定时间空间顺序做光栅式逐点扫描。由于入射电子与样品表面之间的相互作用，将从样品中激发出二次电子。由于二次电子收集极的作用，可将各方向发射的二次电子汇集起来，再经

17、加速极加速射到闪烁体转变成光信号，经过光导管到达光电倍增管，使光信号再转变成电信号。这个信号又经视频放大器放大，并将其输出送至显象管的栅极，调制显象管的亮度。因而在荧光屏上便呈现一幅亮暗程度不同的、反映样品表面起伏程度（形貌）的二次电子像。,扫描电镜成像过程示意图,入射电子束在样品上的扫描和显象管中电子束在荧光屏上的扫描是用一个共同的扫描发生器控制的，这样就保证了入射电子束的扫描和显象管中电子束的扫描完全同步，保证了样品台上的“物点”与荧光屏上的“像点”在时间和空间上一一对应。,（3）扫描电镜的构造,扫描电镜结构原理图,（a）电子光学系统(镜筒) 由电子枪、电磁透镜、扫描线圈和样品室等部件组成

18、，它的作用是获得一个细的扫描电子束，作为使样品产生各种物理信号的激发源。为了获得较高的信号强度和扫描像(尤其是二次像)分辨率，扫描电子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径。,扫描电镜的电子光学系统结构示意图,1）电子枪发射电子束。 扫描电镜中使用的电子枪有三种：场发射电子枪、发叉式钨丝热阴极电子枪及六硼化镧阴极电子枪。 阴极发叉式钨丝加热后可发射热电子。 栅极将发射的电子束会聚起来，在阳极附近形成一个最小电子束。改变栅极的负偏压，可改变电子束强度。 阳极通过高压电源在阴极与阳极之间形成加速电场拉出热电子。,2）电磁透镜：聚焦电子束 A、会聚透镜（强透镜）： 作用：缩小电子束斑。 透镜光阑可挡

19、掉无用的杂散电子以保证获得微细的扫描电子束，还可防止绝缘物带电。 B、物镜（弱透镜）： 作用：进一步缩小束斑，并将其聚焦在试样表面（调节图像聚焦）。 物镜光栏限制电子束张开角，孔径越小，焦深越大。,3）扫描线圈：使入射电子束与CRT同步扫描。 作用：使电子束在试样表面扫描，从而获取各种信号。改变扫描线圈电源锯齿波的频率可改变扫描速度，改变锯齿波的振幅可改变放大倍数。 4）样品室：大空间可安装各种检测器探头和各种试样台。可对试样除作X、Y方向的平移外，还可升降、倾斜和旋转。 （b）电源电路系统： 提供扫描电镜各部分所需的电源。 （c）信号检测及放大系统： 检测二次电子信号并放大。由收集极、闪烁体

20、、光导管、光电倍增管、视频放大器组成。,（d）真空系统 真空系统的作用是为保证电子光学系统正常工作，防止样品污染提高高的真空度，一般情况下要求保持10-210-3Pa的真空度。 （e）显示系统 图像显示和记录系统的作用是将信号检测放大系统输出的调制信号转换为能显示在阴极射线管荧光屏上的图像或数字图像信号，供观察或记录，将数字图像信号以图形格式的数据存储在硬盘中，可随时编辑或用办公设备输出。,（4）扫描电子显微镜的主要性能 1）放大倍数 如果入射电子束在试样表面的扫描幅度为A1，阴极射线管中电子束在荧光屏上的扫描幅度为A2，那么图像的放大倍数就是 M= A2/ A1 目前大多数商品扫描电镜的放大

21、倍数均可以从20倍连续调节到20万倍左右。,2）分辨率 具体的测定方法有两种：一种是测量相邻两条亮线中心间的距离，所测得的最小值除以总放大倍数，就是分辨率；另一种是测量暗区的宽度，把测得的最小宽度除以总放大倍数定为分辨率。 影响分辨率的三大因素：1、电子束束斑大小；2、检测信号类型；3、检测部位原子序数,SEM的分辨率高低与检测信号种类有关。,3）景深：透镜物平面允许的轴向偏差定义为透镜的景深。 从原理上讲，当透镜焦距、像距一定时，只有一层样品平面与透镜的理想物平面重合，能在透镜像平面上获得该层平面的理想图像，而偏离理想物平面的物点都存在一定程度的失焦，它们在透镜像平面上将产生具有一定尺寸的失

22、焦圆斑，如果失焦圆斑尺寸不超过由衍射效应和像差引起的散焦斑，那么对透镜像分辨本领并不产生影响。 焦深：透镜像平面允许的轴向偏差定义为焦深。 当透镜焦距、物距一定时，像平面在一定的轴向距离内移动，也会引起失焦。如果失焦尺寸不超过由衍射效应和像差引起的散焦斑，那么像平面在一定的轴向距离内移动，对透镜像分辨率并不产生影响。,电磁透镜的景深与焦深,（5）衬度原理 1）表面形貌衬度：利用与样品表面形貌比较敏感的物理信号作为显像管的调制信号，所得到的像衬度称为表面形貌衬度。二次电子信号与样品表面变化比较敏感，但与原子序数没有明确的关系，其像分辨本领也比较高，所以通常用它来获得表面形貌图像。二次电子信号主要来自样品表层510nm深度范围，它的强度与原子序数没有明确的关系，而仅对微区刻面相对于入射电子束的位向十分敏感，而且二次电子像分辨率比较高，特别适用于显示形貌衬度。,二次电子到达电子检测器的轨迹,在扫描电子显微镜中，二次电子检测器一般安装在与入射电子束轴线垂直的方向上。,2）原子序数衬度 原子序数衬度是由于试样表面物质原子序数（或化学成分）差别而形成的衬度。扫描电子束入射试样时产生的背