扩散炉安装说明书

1、扩散炉安 装 调 试 说 明 书中联科利2009年2月目 录1概述（2）2设备的标识（2）3设备的安装（2）31机械安装（2）311安装要求（2）312安装程序及注意事项（3）32电气安装（3）321安装要求（3）332安装程序及注意事项（4）4关键部件的装调（5）41 sic桨及石英炉门的装调（5）411装调步骤（5）412注意事项（6）42 恒温区的调试方法及验收判据（6）5调试时的安全要求（17）1概述为了加强产品在安装调试过程中的质量控制、规范操作，确保设备合格率以及防止安全事故的发生，特制定高温扩散/氧化系统安装调试说明书；设备在出所前的装配调试以及调机人员在用户现场的安装调试均应严

2、格按照此执行。2.设备的标识1 在设备的安装、调试及检验过程中，应在设备整体左端1.5米高处挂上设备的工作状态标识。2 设备的铭牌统一钉在净化操作台的后盖板底部。3 在设备中的强电裸露处和气源柜内应有相应的警示标识。4 在设备的安装、调试及检验过程中，视用电情况应在配电箱上设置“严禁拉闸”或“严禁合闸”标识。3.设备的安装3.1机械安装3.1.1安装要求1 设备应该在相对洁净的场地安装，装配人员在进入安装现场前应先换鞋；气路安装应在洁净度更高的专用房间内进行，非装配人员不得随意进入。气路安装应严格按照气路装配间管理规章制度和高温扩散/氧化系统气路装配技术规范执行。2 装配前要由相应设计人员对送

3、来的机架、门板以及机加工件等仔细核对尺寸、检查外观质量，如果不符合设计要求，应拒绝签收，同时与品质部联系下一步的处理办法。设计者本人不在时，由项目组长指定人员验收。3 设备机架就位时应摆放整齐，注意与现场其他设备的位置协调一致。4 装配工具及标准件等要整齐放置,不得随意乱丢。工作场地要随脏随扫，在安装过程中如果局部产生粉尘、铁屑等，应及时用毛刷及吸尘器将尘埃清理干净。5 装配过程中遇到标准件不足等情况时，应及时向项目组长反映，不得随意以其他不同规格的标准件替代。6 装配过程中非攻丝螺钉的安装，必须加装平垫和弹簧垫片。7 装配过程中如果发现问题,应及时通知设计人员或项目组长；如问题较复杂或涉及面

4、较广,应上报公司设计部和管理工程部相关领导，召开联合会议讨论解决方案,并作好详细记录。8 为防止污染及受潮,高效过滤器在所内安装时不得拆开塑料包装，到用户现场进入净化间且设备均已清理干净后方可拆包重新安装。9 装配过程中的所有紧固件必须确保拧紧，以防被安装的部件掉落伤人或运输途中受震动脱落损坏。10整机安装完毕,应用吸尘器、洁净布等对设备彻底清洁一遍。3.1.2安装程序及注意事项1 设备进入厂房前，请仔细搞好卫生，里里外外用毛刷、吸尘器、抹布彻底清扫干净。2 对照设备平面安装图的布局，将设备的四大部件摆成一条直线（用户要求将电控柜放置在炉体一侧的除外），调节地脚螺钉，使各部件的高度协调一致。3

5、 安装电阻加热炉体及炉体两端的保温棉堵头。注意棉堵头为偏心设计，装配中应适当转动堵头，确保堵头的下内壁高于炉丝绝缘子6mm左右，从而在炉膛内放入哈呋片后可与棉堵头基本齐平。 5 装好工控计算机及触摸显示器。6 打开净化操作台的后盖板，去掉高效过滤器的塑料包装后重新安装好。7 反复调整净化台导轨固定部件、sic桨座部件及炉体的相对位置，使sic桨平行于炉膛轴线。8 接好气路进气管道以及源瓶前后的软管及单向阀等，通气试压，确保无漏气点。9 接好水冷散热器及恒温槽的进、出水管道，通水试压，确保无漏点。10配合用户接入抽风、排毒管道。3.2电气安装3.2.1安装要求1 电气部件的装配应在相对洁净的场地

6、进行，装配人员在进入安装现场前应先换鞋。装配过程必须严格按照电气装配细则执行。2 装配工具及元器件、电线等要整齐摆放,不得随意乱丢。工作场地要随脏随扫。3 为防止烫伤及引发火灾，电烙铁、电热枪等应放置在安全处。4 装配人员离开装配现场时，应拔下用电器插头，关闭接线板电源开关。5 电气装配部的安全员，应定期检查各接线板、插头、插座以及用电器具的安全状况，下班时负责切断电源总开关。6 电装人员和设计人员在装配前，应对所装配器件的型号、规格及质量作最后的检查核对，不合格的产品一律不得使用。7 电气装配人员不得擅自对所装配的电器部件通电。相关设计人员必须将已装配的部件对照原理图和接线图逐点逐线检查无误

7、后，方可做部件通电试验。8 整机通电前必须先进行分部件通电试验。各部件设计人员除认真检查自己所负责的内部接线外，还应仔细检查与他人转接电路处的接口配合是否正确，在所有送入和送出的信号通道均确认无误后，方可进行整机通电。9 设备首次通电试验时应有二人以上在场。10 各项技术指标经自测合格后方可向厂品质部申请出厂检测，同时应根据自测结果如实填写“产品合格证申请表”。11 装配过程中应认真填写“电装质量履历表”，详细做好装配记录。12 在用户现场要按日如实填写“安装调试记录”。3.2.2安装程序及注意事项1 先接好设备四大部件各柜内的内部连线，再接好各柜之间的相互连线。2 在各炉体侧壁上装入控温及保

8、护热电偶，接好热电偶补偿导线。注意应保持各热电偶的前端只高出炉丝1mm左右，伸出太多在拆装石英管时容易碰断。3 用摇表检测设备总进线火线对设备外壳的绝缘电阻应在5m以上。4 仔细检查炉体、可控硅、变压器、转接端头的压接螺钉，应无松动现象。5 确认各部分连接无误后，接好电源总进线（要求总进线为三相380v+零线+地线），注意火线、零线及地线的位置，不可接错。6 逐柜、逐层上电，检查各部件上电情况，注意检查机壳是否带电。7 控制柜及气源柜上电，检查计算机、温控仪、温度保护仪、各控制开关、指示灯、电磁阀、质量流量控制器等是否正常。在计算机手动操作屏上逐一试验，看对各器件的控制是否正确无误。6 推舟净

9、化机构中，逐一检查照明、排风及净化送风是否正常。配合计算机检查自动进出舟、行程限位是否正确以及舟速是否可调。7 查可控硅散热风扇及水冷散热器排热风扇等工作是否正常。8 根据用户使用温度要求设置好温控仪各参数。9 按下炉体加热“开”按钮，炉子开始升温，观察温控仪温度显示情况及功率部件、炉体等有无异常，尤其要仔细检查炉体的引出接头及引线是否与炉壳、机壳短路（使用中要长期留心注意，因高温下，接头与瓷件易产生变形位移）。10根据合同技术指标的要求，测试设备的恒温区。4.关键部件的装调4.1 sic桨及石英炉门的装调4.1.1 装调步骤 1. 将洗净好的石英管放入炉膛，两人抬取石英管时，每人负责看管一端

10、，负责尾部者严禁直接用手抬尾气管，以免该管发生断裂，抬石英管时将石英管尾部的三根小管朝向净化台外侧，待石英管放进炉膛后转动石英管直至石英管内三个固定圈朝下，用卷尺量好从不锈钢盖板至石英管口的距离。2. 把密封圈嵌入石英门密封槽中，密封圈应压紧压平。3. 将送片座上的波纹管前端的锁紧圈拧松（最好是不要拧下来）。4. 将装好密封圈的石英门安装在悬臂桨上，安装时要用力均匀，防止将石英门上的圆筒与桨碰撞。5. 首先把桨夹座两边的四氟锁紧螺钉拧松，将装有石英门的悬臂桨一起放入送片座上的桨夹座中，把石英门上的圆筒伸至四氟波纹管中，拧紧锁紧螺母，注意拧紧波纹管时石英门与桨的位置要垂直。6. 将石英匀流板放在

11、悬臂桨最前端，进舟至匀流板位于管口位置，调节好桨的上下位置（桨的前后位置一般不会变动，用户可根据实际情况进行调节）使得匀流板基本处于石英管中心，调节时只需调节桨夹座后面的调节螺母。7. 边进舟边观察匀流板的位置，打开废气室侧壁的观察窗口，待进舟到最前端时检查石英门与石英管之间的位置，石英门与石英管之间是否完全密封，可在石英炉门与石英管口之间放一张薄纸，炉门关紧后纸张应抽不出来。同时，在石英门盖住石英管口后，调节压紧石英门的四氟波纹管及支撑石英门的弹簧使之有一定的压缩量。8. 退舟，安装炉尾的保温棉圈及不锈钢盖板。9. 将尾气管、热电偶管从石英管尾部插入石英管中，安装时注意将热电偶管及尾气管从固

12、定圈中通过。然后将热偶管盖盖住另一个管口，用不锈钢夹子夹好。10. 放入石英隔热包块和前挡板等，由于密封圈使用温度为220250之间，因此在升温前一定要安装隔热包块。同时在拆卸隔热包块时应在温度250左右，不要等隔热包块完全冷却再拆卸。（因在冷却状态下偏磷酸容易粘在隔热包上而取不下来）。11. 连接好石英管尾部的进气管及尾气处理装置。4.1.2 注意事项1. 整个装调过程均应小心操作，在sic桨未调整好以前，切忌快速进出舟，以防损坏器件。2. 考虑到装满工艺片后，sic桨会向下有少量弯曲，为防止桨触碰石英管底，空载调试时，应调成让桨的前端适当上扬（上扬幅度10mm）。3. 调好的石英炉门在进舟

13、到位后，其压缩量应控制在510mm之间，太小关不紧，太大有可能压坏石英炉门。4. sic桨装调好以后，各定位螺钉均不得随意旋动。清洗石英管或sic桨时，只需拧松桨座上盖的四个压紧螺钉便可将桨抽出。5. 桨的位置调好以后，应将调节桨俯仰的上、下螺母做好标记，防止在在使用或清洗桨的过程中，不小心动了该螺母而引起桨与石英管擦碰甚至造成器件损坏。4.2恒温区的调试方法及验收判据扩散炉恒温区精度的测量及验收判别按中华人民共和国第四机械工业部部颁标sj2065/82半导体器件生产用扩散炉测试方法的相关条款进行检测。我司扩散炉采用的是内外联合的控温方式，炉体内置5段控温热电偶，实时实地检测和控制炉内温度，从根本上保证了规格书中给出的恒温区长度、精度和温度稳定性，彻底改变了常规扩散炉（炉外单控模式）必须靠不断拉恒温区，校准炉外温控仪与炉内实际温度的偏差来保证恒温区的控温方式。检验恒温区的具体步骤如下：1 根据工艺要求在计算机上设置好所需的温度值。2 将炉体的炉口用保温棉圈堵好（静态、闭管）。3 保证内置热电偶的5个监测点与炉外5个热电偶的位置一一对应。4 按下面板上的加热“开”按钮。5 当炉温达到设定温度并稳定1小时以上，将中间3个温控仪（分别监测恒温区的头部、中部、尾部3个位置的温度）测得的温度最大值减去最小值，然后再除以2，得到的结果即为所测恒温区的精度