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文档简介

1、2020/8/12，1，第2章电阻应变传感器，1。电阻应变传感器的工作原理。电阻应变效应，导体电阻的相对变化：dl/l=:轴向应变，单位：微应变DA/A=2DR/R=-2:-材料金属材料的电阻应变效应主要是尺寸变化，辅以电阻率变化，康铜：0.3，C1 (1 2)1.6 C(1-2) 0.4，轴向力，拉伸/压缩，电阻变化，L，A，变化，2020年8月1 2日，2，半导体材料：比例，半导体应变敏感系数：轴向应力e:弹性膜量k:压阻系数电阻应变传感器结构，1。敏感栅：敏感元件、金属线/箔、电阻值超过100、康铜/硅、P44 2-基板：保持敏感栅的形状、尺寸和位置，并传递应变。使用时：基板的被测部分传

2、递应变。(1)金属电阻应变仪的结构和类型金属电阻应变仪的基本结构如图3.1所示。它由覆盖层、敏感栅极、衬底和引线组成。敏感栅格可以由金属线或金属箔制成，金属线或金属箔是一种转换元件并粘贴在基板上。用粘合剂粘附在传感器的弹性元件或试件上的应变计通过基底将应变传递到敏感网格，基底起绝缘作用。覆盖层起到绝缘保护的作用。焊接在敏感格栅两端的导线用于连接测量导线。图3.1 2020年8月12日应变电阻传感器1敏感栅2基底3引线4盖5胶结构原理示意图。目前常用的金属电阻应变片主要有线应变片、箔应变片和金属薄膜应变片。金属丝应变仪的敏感栅由金属丝缠绕而成。金属丝材料是一种具有高电阻率和低电阻温度系数的材料。

3、线应变计的规格一般用敏感栅的面积(Lb)和电阻值来表示。电阻值一般在501000范围内，常用值为120。箔式应变仪是通过光刻和蚀刻制成的非常薄的金属栅，厚度为0.003-0.010毫米。它的优点是表面积与横截面积之比大，散热条件好，允许电流大，所需形状多种多样，便于大规模生产。金属薄膜应变仪是通过真空溅射或真空沉积制成的，它直接在弹性元件上沉积可变形的金属或合金，而不用粘合剂。这样，应变计具有更好的性能和更高的灵敏度。薄膜是指厚度为0.1m或更小的金属薄膜。厚度约为25米的厚膜箔应变仪是厚膜。2020/8/12，5，3，电阻应变传感器的特性，(1)静态特性：灵敏度系数：传感器灵敏度系数，敏感网格的灵敏度系数？横向系数：横向效应系数，电阻变化率，灵敏度系数，传感器=敏感栅衬底盖的粘合引线，2020/8/12/6，机械滞后：应变极限：非线性误差达到10%的应变值，过载能力，蠕变和零漂移：(2)动态特性：滞后，正弦响应：粘附-过热/过载残余变形，预载/重复加载，错位，内应力，滑移，固化，增加弹性膜量，粘附，2020/8/12，7，4，电阻应变传感器的测量电路，功能：组成U:电源初始状态：R1 R3=R2 R4平衡输出U0

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