浙江华远微电科技有限公司年产20亿只5G移动通讯终端用射频声表芯片项目环评报告

1 13 27 35 41 53 55 84 浙江华远微电科技有限公司年产20亿只5G年产20亿只5G移动通讯终端用射频声表芯片项目/301、401号（东经120.169711°,北纬//吴兴区发展改革和经济信息化局以2101-330本项目属于通信终端设备制造（C3922）；对照《建设项目环境影响评价分类管理名录》（2021年版），本项目属于“三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业39；浙江华远微电科技有限公司年产20亿只5G浙江同成环境科技有限公司2），(2)《中华人民共和国环境影响评价法(2018年修订)》(第十三届全国人民代表大(3)《中华人民共和国水污染防治法(2017年修订)》(中华人民共和国主席令第八(5)《中华人民共和国环境噪声污染防治法(2018年修订)》(第十三届全国人民代表大会常务委员会第七次会议，2019.浙江同成环境科技有限公司3(9)《建设项目环境保护管理条例(2017年修订版)》(中华人民共和国国务院令第(14)中华人民共和国国务院第604号令《太湖流域管理条例》（2011.11.1）。(2)《浙江省大气污染防治条例(2020年修正)》(浙江省第十三届人民代表大会常(3)《浙江省水污染防治条例(2020年修正)》(浙江省第十三届人民代表大会常务(4)《浙江省固体废物污染环境防治条例(2017年修正)》(浙江省第十二届人民代表大会常务委员会第四十四次会议，2017.9(6)浙江省人民政府《浙江省人民政府关于印发浙江省水污染防治行动计划的通）；浙江同成环境科技有限公司4（1）项目名称：年产20亿只5G移动通讯终端用射频声表芯片项目浙江同成环境科技有限公司5东南西北浙江同成环境科技有限公司6应急池污水站危废仓库浙江同成环境科技有限公司7浙江同成环境科技有限公司8//实行“雨污分流”制；雨水通过市政雨水管业生活污水经化粪池预处理后纳管至污水厂；不含氮磷废含氮磷废水处理系统预处理后纳管至污水厂；含氮磷废水磷废水处理系统处理后回用于中央空调冷却塔，做冷却12浙江同成环境科技有限公司9123456789pcs/年工业酒精（浓度为99.5%）kg/年6//1243.01，蒸气压：0.13kPa(15.3℃)，沸点：158℃/无水，熔点：-2℃/无水，稳定性：稳定，危险标记：11(氧化剂)，20(刻蚀品)，主要用途：用于漂3易溶于水、乙醇、甘油，不溶于丙酮，密度：相对密度(水=1)2.12，稳定4雾硝酸；红雾硝酸；硝酸氢；硝镪水，分子式：HNO3，外观与性状：纯主要用途：用途极广,主要用于化肥、染料、国防、炸药、冶金、医药等5CAS号：7664-38-2，中文名称：正磷酸，英文名称：Phosphoricacid；Orthophosphoricacid，别名：磷酸，分子式：H3PO4，外观沸点：260℃,熔点：42.4℃/纯品，与水混溶，可混溶于乙醇，密度：相对密度(水=1)1.87(纯品)；相对密度(空气=1)3.38，稳定性：稳定，危险标记：20(酸性刻蚀品)，主要用途：用于制药、颜料、电镀、防6与水混溶，密度：相对密度(水=1)1.83；相对密度(空气=1)3.4，稳定性：稳定，危险标记：20(酸性刻蚀品)，主要用途：用于生产化学肥料工、医药、塑料、染料、石油提炼等工业也有广泛的7主要成分为四甲基氢氧化铵（TMAH标准当量浓度为0.26，密度8剂（15-20%）等不同的材料按一定比例配置而成，密度0.969CAS号：64-17-5，中文名称：乙醇，英别名：酒精，分子式：C2H6O；CH3CH2OH，外观与性状：无色液体，有酒香，分子量：46.07，沸点：78.3℃,熔点：-114.1℃,与水混溶，可混溶于醚、氯仿、甘油等多数有机溶剂，密度：相对密度(水=1)1.43；相对密度(水=1)0.79，稳定性：稳定，危险标记：7(易燃液体)，主要用途：用主要为芳香醇、乙二醇醚、聚氧乙烯芳基醚、水等成分混合物，密度为1水2电3m3/a1台12台13台24台15台16台17台18台89台台AP-1000台1台台1台8台8台台1台1套1台3套1套1雨水经雨水管道收集后汇入附近河道，生活污水经化粪池预处理后纳管至污水磷指标处理达到《工业企业废水氮、磷污染物间接排放标准》（DB33/887-2013）后行《城市污水再生利用工业用水水质》(GB/T19923-2005)中“敞开式循环冷却水系浙江华远微电科技有限公司年产20亿只5G湖州市地处杭嘉湖平原，整个地势自西南向东北微微倾斜，地貌结构为“三山、一水、六分田”，地形以湖州城区为中心，纵贯南北，形成东西两部。西部为丘陵地带，浙江名山天目山支脉从安吉与德清东部向湖州市区延伸，峰峦起伏，丘陵绵湖州地区为典型的平原水网特征，区内水网密集，河道纵横，湖泊星罗棋布，本区域属亚热带季风气候区，夏半年(四～九月)主要受温暖湿润的热带海洋气团的影响，冬半年(十～三月)主要受干燥寒冷的极地大陆气团的影响，总的气候特点：季冷暖多变，春季多阴雨，秋季先湿后干。年平均气温为11.7℃,最热月(七月)平均丰富。植物资源主要有粮、油作物、经济作物、竹林。粮油作物以水稻、油菜为主，），5，行政区划包括浙江省湖州市吴兴区的织里镇、环渚街道、企业实现雨污分流，现有工业集聚区内工业企业废水必本项目所在地为“湖州市吴兴区高新区产业集聚重点管控单元（ZH33050220001场、垃圾场234（ZH33050220005）；本项目属于通信设备制造，废水纳1/2/护3/护4/护5/护6/7/8/9//////护区/护/护/护/护/护/护/护/护///该条例是“为了加强太湖流域水资源保护和水污染防治，保障防汛抗旱以及生活、生产和生态用水安全，改善太湖流域生态环境”而制定的。太湖流域县级以上地方人民第二十八条排污单位排放水污染物，不得超过经核定123在太湖流域新设企业应当符合国家规定的清规定的相关清洁生产要求进4新孟河、望虞河以外的其他主要入太湖河道，自河1000米范围内，禁止下列行为一）新建、扩建化工、医药生产项目二）新建、扩建污水集中处理设施排污口以外的排污口；（三）扩大水产养），5 回收场、垃圾场二）设置水上餐饮经营设施；畜禽养殖场五）新建、扩建向水体排放污染物1态保护红线等进行严格管理，依据相关法律政策规划实施强制性严格保护。严禁不符合能定位和主导生态功能的各类开发活动，区建工业和矿产开发项目不予环境准入，重大础设施项目应优先采取避让措施，强化生态），2），3要目标，加强水和土壤污染的统筹防控。提本项目位于湖州市吴兴区高新区中小微智能制造产业园4重点开发区。针对区域面临的水质达标、水资源开发程度及水生态保护的形势和压力，严控建设项目污染物排放，新、改、扩建项目主要水污染物及有河南、湖北、湖南、广东、广西、四川、贵州、云南、陕西、甘肃、新疆等地矿产资源开发活动集中区域，矿产资源开发项目执行重点污染物特别排放限值。对城市存在黑臭水体的区域，应制定更为严格的减量置换措施。合理开发和科学配置水资源，控制水资源消耗总量和强度，加强水资源保护。严格水功能区管理监督，根据重要江河湖泊水功能区水质达标要求，落实污染物达标排放措施，切实监5知》（浙长江办〔2019〕21号）由省推动长江经济带发展1钢铁、石化、化工、焦化、建材、有色等高2面清单2018年版）》的外商投资项目，一律不厂目前已建成一期规模50000m3/d，正常运行；服务范围包括湖州市东部新区CODCrBOD5NH3-N前其主要污染物出水水质基本满足《城镇污水处理厂污染物排放标准》（GB18918-2表2-10湖州中环水务有限责任公司2020年在线监测数据单位：mg/L,除pH外准3.1建设项目所在地区域环境质量现状及主要环境问题(环境空气、地表8NO2PM10PM2.5据引用监测结果可知，项目所在地环境空气中特征污染因子非甲烷总烃能达到浙江华远微电科技有限公司委托浙江爱迪信检测技术有限公司对项目所在地附NDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDND深化工业烟气治理，加强工业VOCs污染整治，持续推进工业实施燃煤电厂深度治理，全面提升锅炉烟气排放标准，提升重理，强化工业企业无组织排放管控，加强工业企业臭气异味综合整治；4、积极调整及综合整治；6、控制农村废气污染，加强矿山粉尘防治，强化秸秆综合利用和秸秆禁烧，开展农业面源污染治理，推进绿化碳汇工程，加强矿山粉尘防治；7、加强大为农业、工业用水区，目标水质Ⅲ类。为了解頔塘水环2019.8.24-2019.8.26在湖州中环水务有限责任公DOBOD5CODMnNH3-N上游500mpmpmpm下游500mpmpmpmCa2+Na+Mg2+SO42-HCO3-CO32-/项目所在地属于工业区，声环境执行《声环境质量标准》（GB3096-2008）中的本项目位于浙江省浙江省湖州市吴兴区高新区中小微智能制造产业园一期2幢XY学境/境用水区南/境用水区/境区西//////声环境境区///量标准》(GB3095-2012)二级标准及其修改单中标准限值(μg/m3）NO2/4/PM10/PM2.5//NOX特征污染因子非甲烷总烃参照《大气污染物综合排放标准详解》(国家环境保护局科技标准司)中环境浓度质量标准，硫酸雾执行《环境影响评价技术导则标准限值(μg/m3）空气质量浓度参考限值”根据《浙江省水功能区、水环境功能区划分方案》(2表水环境质量标准》（GB3838－2002）中的Ⅲ类标准，DOCODMnBOD5NH3-N6~9项目所在地属于工业区，四周声环境执行《项目乙酸雾参照执行上海市地方标准《大气污染物综合排放标方大气污染物排放标准的技术方法》（GB/T3840-91）中推荐的方法计算。排放速率采用计算公式：Q=Cm×R×Ke（Q为排气筒允许排放），）；控浓度值按照《大气污染物综合排放标准详解》，确定为A6本项目废水排放执行《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）中标准》（DB33/887-2013污水处理厂出水排放执行《城镇污水处理厂污染物排放标准》（GB18918-2002）CODCrCODCrBOD51aa：当敞开式循环冷却水系统换热器为铜质时，循环冷却系统中循环水的氨氮指标项目营运期厂界噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-20响评价技术导则-大气环境》大气污染建设项目评价工作等级的划分依据，本项根据HJ610-2016《环境影响评价技术导则－地下水环境》中对评价工作等根据《环境影响评价技术导则—土壤环境》(HJ964-2018)(HJ964-2018)表附总量控制根据《浙江省建设项目主要污染物总量准入审核办法（试行）》（浙环发VOCs0CODCrNH3-N0CODCrNH3-N//经含氮磷污水处理系统预处理后回用于中央空000CODcrNH3-NCODCrNH3-N浙江华远微电科技有限公司年产20亿只5G1、酸洗、碱洗、水洗：对采购回来的晶圆先用浓硫酸（浓度为98%）进行浸泡清洗，再用氢氧化钠与表面活性剂形成的混合液浸泡清洗，最后经三道水洗，水洗过程采用喷淋冲擦洗过程使用极少量酒精，该过程会产生乙醇废气。擦洗后再用氮气进行干燥，用氮气是以防产品被氧化，同时达到干燥的效果。氮气用制氮机制成，制氮原理为空气压缩制氮，制氮涂完胶的晶圆在流水线上的烘干部分进行烘干，烘干温度约102℃,烘干时间约2分钟，烘光部分的胶膜，出现需要的图形，此过程产生显影废液以及显影完成后喷淋冲洗所产生的废光刻胶，就可到设计的图形。刻蚀过程使用硝酸、磷酸、醋酸（硝酸、磷酸、醋酸的浓度分浙江华远微电科技有限公司年产20亿只5G），10、划片：利用划片机装置对晶圆进行切割，划片后用酒精超180℃,加热时间为3-4小时，加热采用电加热。此过程中产生有机废气。来制备，具体工艺为“原水-原水加压泵-多介质过滤器-活性炭过滤器-软水器-精密过滤器-第一级反渗透-pH调节-中间水箱-第二级反渗透(项目刻蚀使用的酸需要进行配制，配酸过程在配酸间中使用配酸机操作，配酸过程会产NOxNaOH等本项目清洗工序用到浓硫酸，刻蚀工序用到硝酸、乙酸、磷酸，因磷酸挥发性极小，因此本项目对此不进行定量分析。故项目清洗和刻蚀工序产生的酸雾有硫酸雾、硝酸雾和乙酸通过计算可知，本项目酸雾产生量分别为硫酸雾0.032t/a、硝酸雾0.009t/a、乙酸雾/////①乙醇：本项目擦拭工序中用到乙醇，擦拭后用氮气吹干，乙醇100%挥发，根据企业提供的资料，擦拭工序乙醇用量约为0.005t/②涂胶废气：本项目涂胶过程中用到光刻胶，光刻胶使用量③覆膜加热废气：本项目需对树脂膜进行加热，树脂膜加热过程会产生一定量有机废气），片/////项目生产废水包括清洗废水、显影废水、刻蚀废水、剥离废水、超纯水设备浓水及碱喷淋废水。其中刻蚀工序使用硝酸和磷酸，产生的废水为含氮磷废水，其余生产废水为不含氮刻蚀产生刻蚀废液和刻蚀清洗废水，刻蚀废液作为危废委托危废单位处置。刻蚀清洗废水为含氮磷废水，该废水经企业含氮磷废水处理系统处理后回用于中央空调冷却塔，做冷却冲洗，喷淋冲洗与上述刻蚀冲洗基本相同，废水按上述刻蚀废），综上，不含氮磷废水产生量约12240t/a，不含氮磷废水经企业不含氮磷废水处理系统处本项目生活污水经化粪池预处理，不含氮磷废水经企业不含氮磷污水处理系统预处理，1m3/aCODCrNH3-N52m3/aCODCrNH3-N//5//3经含氮磷污水处理系统处理后回用于中央空调冷却塔，做11处213241516178911811131本项目生产过程中产生一定量的不合格品，根据企业提供的本项目超纯水制备过程中和氮磷废水处理过程中均用反渗透装置，超纯水制备反渗透装置内反渗透膜每年更换一次，氮磷废水处理反渗透装置内反渗透膜每半年更换一次，类比其），），本项目乙醇用量0.24t/a，根据工程分析，乙醇挥发量为0.076t/a，则乙醇废液产生量本项目酸、碱等液体原辅料瓶（桶）装，用完后产生空瓶（桶），根据分析，项目1234理567NaOH等891副产物名称产生工序主要成分是否属判定依据1是2是3是4是5是6是7NaOH等是8是9是是是是是4.3f是副产物名称产生工序主要成分是否属判定依据1否/2否/3否/4是5是6是7是8NaOH等是9是是是是是是12液等3NaOH等NaOH等4液液剂T5液液剂6液洗7炭1炭T89等胶胶剂T102030405060708NaOH等090001000浙江华远微电科技有限公司年产20亿只5G物CODCrNH3-NCODCrNH3-N经含氮磷污水处理系统预处理后回用于中央空调冷却塔，物000000000000根据实地踏勘，本项目位于浙江省湖州市吴兴区高活动，区域生态系统敏感程度较低，项目的实施对生浙江华远微电科技有限公司年产20亿只5G浙江华远微电科技有限公司年产20亿只5G本项目位于浙江省项目位于浙江省湖州市吴兴区高新区中小微智能制造产业园VOCSNOx/////1//2//3E度4N度5Hm6Dm7V8TK9HrH/kg/h/kg/h/kg/h/VOCsQVOCskg/h/1//12//3UTMXm4UTMYm5m6Lwm7/m/8Hm9HrH/kg/hkg/hVOCsQVOCskg/h（AERSCREEN），计算软件采用三捷环境工程咨询（杭州）有限公司开发的大气环(μg/m3)地浓度D10%/(mg/Nm3)10Ⅲ20Ⅲ30Ⅲ4VOCS0Ⅲ D10%/(mg/Nm3)10Ⅲ20Ⅲ3VOCS0Ⅲ序号1234VOCSVOCS序号1VOCS《挥发性有机物无组织控制《大气污染物综合排放标/2《大气污染物综合排放标/《大气污染物综合排放标/VOCS1234VOCS根据《环境影响评价技术导则大气环境》（HJ2.2-2018），在无组织排放源场界查√□□ADMS□□□□□□预测因子()值值k≤-20%□k>-20%□VOCs:(0.035）t/a总磷执行《工业企业废水氮、磷污染物间接排放标准》（DB33/887-2013），污水处理厂出水排放执行《城镇污水处理厂污染物排放标准》（G滤液回流滤液回流-pH0/0///本项目生产废水中含氮磷废水经企业含氮磷废水处理系统处理后回用于中央空00006066006000000066/1项目含氮磷废水经处理后可达到《城市污水再生利用工业用水水质》(GB/T项目废水经预处理后由厂区污水管网统一送湖州中环水务有限责任公司集中处理，城市污水处理厂尾水排放标准执行《城镇污水处理厂废水类别、污染物及污染治理设施信息（表7-14）。序号编号1CODCrNH3-N厂间歇连续池放2CODCrNH3-N统气浮+□温排水排放间处理设施3水CODCrNH3-N放/施 +气浮2+砂滤+超滤+反///序号（t/a）值/(mg/L)1DW/CODCrNH3-N1DW001CODCr《电子工业水污染物排放标准》（GB392NH3-N1DW001CODCr2NH3-NCODCrNH3-N水污染影响型√;水文要素影响型。其它。三级B√现状调查源拟替代的污染源。其它。现状评价河流：长度（）km；湖库、河口及近岸海域：面积（）km2（pH、DO、BOD5、氨氮、CODMn、石油类、CODcr、总磷、氟化物）水环境控制单元或断面水质达标状况：达标√;不达标。流域（区域）水资源（包括水能资源）与开发利用总体状流量管理要求与现状满足程度、建设项目占用水域空间的与河湖演变状况。影响预测河流：长度（/）km；湖库、河口及近岸海域：面积（/）km2/影响评价排放口混合区外满足水环境管理要求。满足区（流）域水环境质量改善目标要求。水文要素影响型建设项目同时应包括水文情势变化评价、主要水文特环境合理性评价。满足生态保护红线、水环境质量底线、资源利用上线和环境准入清单管CODCrNH3-N//CODCr、NH3-N//生态水位：一般水期（/）m；鱼类繁殖期（/）m；其它（/）m防治措施手动□;自动□;无监测□手动□;自动□;无监测□////√可以接受√;不可以接受□根据《国民经济行业代码》，本项目属于“通信终端设备制造（C3922）ℽ,同时根据导则《环境影响评价技术导则—地下水环境一一二一二三二三三研究区内地下水除直接受大气降水补给外，还有部分地表水(包括灌溉水)补给。1、正常状况下地下水影响分析：本项目污水处理设施（包括化粪池、氮磷废水2、非正常状况下地下水影响分析：根据《环境影响评价导则--地下水环境》(HJ610-2016)中三级评价要求，本项目采用解析法进行地下水环境影响分析与评价，预测方法采用附录D-地下水溶质运移解析法中一维稳定流动二维水动力弥散问题，废水中污染物的扩散速度进行预测。这样假定的理由是：1、有机污染物在地下水中着困难；2、从保守性角度考虑，假设污染质在运移中不与含水层介质发生反应，可弥散作用。在国际上有很多用保守型污染质作为模拟因子的环境质量评价的成功实c、含水层的平均有效孔隙度n：评价区地下水以粘土层中的孔隙潜水，n值为（1）源头控制措施：采取先进的生产工艺，生产过程中加强管理，尽量做到密（2）分区防治措施：各类废气妥善收集、处理后高空排放；化粪池、氮磷废水易弱难项目主要生产设备位于厂房内，根据《环境影响评价技术导则—声环境》（HJ2.4-2009）采用室内声源等效室外声源声功率级计算方法将其等效为室外声源，A=Adiv+Aatm+Agr+Abar式中：Leqg—建设项目声源在预测点的将生产区域作为整体声源，预测项目厂界噪声。本项目房屋隔声量取25dB，围业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348－2008）3类功能区处置去向1/2/3/4567891废活性炭列入《国家危险废物名录》，需委托有资质的危废处理单位进行安全处置，项目涉及的危险废物主要以委托有资质单位处置的方式处理，因此项目产生固废的暂存处置须按照《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2④贮存场所及设施应设计堵截泄漏的裙脚，地面与裙脚所围建的容积不低于堵截①贮存设施都必须按《环境保护图形标志-固体废物贮存（处置）场》（GB1556对于一般固废要求按照《一般工业固体废物贮存和填埋污染ⅣⅢⅢⅣⅢⅢⅡⅢⅢⅡⅠ注：Ⅳ+为极高环境风险当Q≥1时，将Q值划分为1）1≤Q＜102）10≤Q＜1003）Q≥100。12345/6/7/8/9///1///一二三不属于环境敏感地区，根据HJ169-2018《建设项目环境风险评价技术导则》中评价硫酸等液体原料泄漏后若未采取措施及时解除泄漏事故或未对泄漏的液体进行根据相关要求，事故应急池应满足正常生产中每天（24h）以上废水处理量，即需配浙江华远微电科技有限公司年产20亿只5G移动通讯终端用射频声表芯片项（吴兴）区项目使用的原辅材料涉及危险物质有硫酸、硝酸、磷酸、乙酸环境风险源的事故类型主要为废气处理装置失灵，废气超标排放求止阳光直射，应与易燃或可燃物分开存放。搬运时轻装轻卸，防照明和疏散指示标志均应符合安全要求；严禁未安装灭火星装置的c.在涂料贮存仓库设环形沟，并进行了地面防渗；发生大量泄入环形沟收容；用泡沫覆盖，抑制蒸发；小量泄漏时应用活性炭或其它d.合理规划运输路线及时间，加强危险化学物品运输车辆的管理，低温，防止机械由于摩擦、撞击、故障等原因而产生火花或异常的高b.在危险部位设置自动的烟感器或爆炸抑制装置，早期发现并抑制。e.参照GB50483-2009《化工建设项目撞击不产生火花的材料，并采取静电接地保项目使用的原辅材料涉及危险物质有硫酸、硝酸、磷酸、乙酸等，集中在车目生产、运输、使用和贮存过程中涉及的部分物料存在潜在的泄漏和火灾危险，不构成重大危险源，项目拟建地属吴兴区高新区工业用地，不属于环境敏感地区，HJ169-2018《建设项目环境风险评价技术导则》中评价工作等级的划分依据，分析结论：本项目不存在重大危险源，环境风险主要是物料泄漏、火灾及废气放事故，具有潜在事故风险。企业要从建设、生产、污染防治、贮运等多方面积极采取防施，加强风险管理，通过相应的技术手段降低风险发