恒诺微电子（嘉兴）有限公司2020年恒诺生产线智能化升级及扩大产能改造项目环评报告

恒诺微电子（嘉兴）有限公司2020年恒诺生产线智能化升级及扩大产能改造I 恒诺微电子（嘉兴）有限公司2020年恒诺生产线智能化升级及扩大产能改造2020年恒诺生产线智能化升级及扩大 目/是（本项目主要MICRO封装，IC封装生产线已安恒诺微电子（嘉兴）有限公司2020年恒诺生产线智能化升级及扩大产能改造定依据见表1-1。土壤、声环境不开展专项评价；本项目所在区否厂的除外新增废水直放否否否否2.环境空气保护目标指自然保护区、风景名胜区、居住区、文化无无无其他符合性分析本项目位于嘉兴市秀洲区新塍镇恒诺路18号，依），以改善环境空气质量、保障人民群众人体健康为基本出发点，结合嘉兴市家环境空气质量二级标准，其他污染物浓度持续改善，环境空气质量实现根本本项目塑封、打标粉尘经集气管收集后进入现塑封固化废气、模具清洗废气）经收集后进入现有经收集后进入现有水喷淋装置处理，上述废气经水其他符合性分析按照水环境质量“只能更好，不能变坏”的原则，基于水环境主导功能、上下游传输关系、水源涵养需求、需要重点改善的优先控制单元等内容，衔接本项目生产废水（制纯水浓水、切割废水、磨片废水、去溢料废水、喷淋塔更换水）经厂内现有污水处理站（沉淀池）处理后纳管，对地表水基本没有按照土壤环境质量“只能更好、不能变坏”原则，结合嘉兴市土壤污染防治重趋势得到初步遏制，农用地和建设用地土壤环境安全得到基本保障，土壤环根据《中共中央国务院关于全面加强生态环境保护坚决打好污染防治攻坚其他符合性分析根据《浙江省实行水资源消耗总量和强度双控行动加快推进节水型社会建衔接自然资源管理部门对土地资源开发利用总量及强度的管控要求，包括基本农田保护面积、城乡建设用地规模、人均城镇工矿用地等因素，作为土地基本农田保护面积259.50万亩。2020年嘉兴市建设用地总规模控制179.41万亩以内，土地开发强度本项目所在地属于秀洲区秀洲工业园区产业集聚重点管控单元（编码：恒诺微电子（嘉兴）有限公司2020年恒诺生产线智能化升级及扩大产能改造其他符合性分析ZH3304控制三类工业项目布局范围和支持产业导向的三类工业项目4、严格限制新、扩建医药、印包装印刷、塑料和橡胶等涉理厂建设及提升改造项目，推进工业园区（工业企业）“污水零直排区”建设，所有企业实现雨污分流。其他符合性分析本项目属于其他电子器件制造，不属于所在地禁止本项目不属于电力、化工、印染、造纸、化纤等本项目位于新塍镇工业功能区内，新增VOCs排放量实行本项目周边主要为工业企业、商铺、道路，与最近敏感控本项目严格落实总量控制制度，本项目新增生产废水、CODCr、本项目固化废气、塑封废气、模具清洗废气经现有集气进入水喷淋装置处理，波峰焊、波峰焊清洗废气、实验室废气经水喷淋装置处理，上述废气经处理后合并通入除雾器尘和打标粉尘经现有集气罩收集后进入除尘塔装置处水经污水处理站处理后纳管，污染物排放水平能达到生产废水经厂内污水处理站处理后纳入嘉兴市污水处其他符合性分析恒诺微电子（嘉兴）有限公司2020年恒诺生产线智能化升级及扩大产能改造其他符合性分析2.1.1建设项目符合《浙江省建设项目环境保护管理办法》（浙2021年修正）：建设项目应当符合生态保护红线、环境质量底线和生态环境准入清单管控的要求；排放污染物应当符合国家物排放标准和重点污染物排放总量控制要求。建设项目还应当），根据《建设项目主要污染物排放总量指标审核及其他符合性分析根据《鼓励外商投资产业目录（2022年版）》，本商投资产业目录-二十二、计算机、通信和其他电子市当前限制和禁止发展产业目录（2010年本）》、《秀洲区工业发（试行）》，本项目未列入限制类和淘汰类项目。本项目建设符合国家及省、2.1.2造成的环境影响符合建设项目所在地环境功能区划确定的经分析，项目污染物经治理达标排放后对周围环DA005排气筒排放；且废气、噪声目前能达标四性其他符合性分析五不批 其他符合性分析），根据《长江经济带发展负面清单指南（试行，2022则，本项目主要从事其他电子器件制造的制造，主要涉及I峰焊后清洗等工艺，不属于《指南》中所述的港口码头地的岸线和河段范围，不涉及Ⅰ级林地、一级国家级公水水源一级保护区、二级保护区、准保护区的岸线和河质资源保护区的岸线和河段范围；不涉及国家湿地公园涉及违法利用、占用长江流域河湖岸线；不属于在《长总体规划》划定的岸线保护区和保留区内投资建设除事不属于在《全国重要江河湖泊水功能区划》划定的河段及内投资建设不利于水资源及自然生态保护的项目；不涉设、改设或扩大排污口；不属于在长江支流、太湖等重改建、扩建尾矿库、冶炼渣库和磷石膏库项目；不属于化、建材、有色、制浆造纸等高污染项目；不属于国家业布局规划的项目；不属于新建、扩建法律法规和相关能项目；不属于新建、扩建不符合国家产能置换要求的其他符合性分析序号1VOCs含量限值不符合国家标准的替代品目录》，依法依规淘汰涉“有机溶剂清洗剂VOCs符合2业园区产业集聚重点管控符合3符合4符合5），VOCs含量原辅材料源头替代实施实施一批替代溶剂型原辅材料的项域逐渐推广使用低VOCs含量原辅符合6放VOCs产生点采取废气收符合节的管理。生产应优先采用密闭设7符合8设备清洗等非正常工况的环境管理储罐清洗作业等，减少非正常工况生产和污染排放控制要求。符合9理设施器加二级活性炭吸附处理符合的VOCs综合去除效率达到60%以上产设备“先启后停”的原则符合开启后应做好台账记录并及时向当地生态环境部门报告。符合1排污许可管理，对新建、改建、扩建2VOCs含量原辅材料的企业纳入正面清设备的制造，主要涉及的清洗剂为乙醇和丙酮，乙醇密度为789.3g/L，丙酮洗剂挥发性有机化合物含表1中“有机溶剂清洗剂要涉及的胶粘剂为银胶，符合《胶粘剂挥发性有机3制态、液态VOCs物料的设备与管线组件，密封点大于等于2000个的，按照涉VOCs废气收集后经水经15m高DA005排气筒排4VOCs重点行业“一行一策”方案制定治理设施（参考附件1低浓度、大炭吸附、减风增浓等浓缩技术，提高VOCs浓度后净化处理；高浓度废气，VOCs治理设施进行更换或升级改造，采用低效治理设施的企业强化监管力VOCs废气排放口拟安装装置能有效去除VOCs污恒诺微电子（嘉兴）有限公司2020年恒诺生产线智能化升级及扩大产能改造建设内容///序号造398，其他电子设备制造399除重点管理以外以上溶剂型涂料本项目为电子元件制造，根据《嘉兴市生态建设内容主体工程房辅助工程储运工程依托工程环保工程淋处理后和MICRO封装工序废气（本项目MICRO工序仅涉及波峰焊废气和建设内容公共工程序号1个02试个个3000恒诺微电子（嘉兴）有限公司2020年恒诺生产线智能化升级及扩大产能改造建设内容1/2/3/422/25/6/7/822/29ADT数控半导体材料切割机11/166/6ASM集成电路引脚冲切机11/1ASM集成电路引脚切割机11/1ASM开卷机11/1ASM装卷机11/1/BIOCOLD增湿箱11/1//11/1/77/722/211/1Fusion紫外线固化器11/111/1建设内容11/111/111/111/111/111/122/211/144/4MAESTRO线路板切割机11/111/111/111/199/922/2Nippin缠绕机11/122/211/111/133/311/111/111/1/55/5VS等离子清洗机11/111/111/111/111/1建设内容11/122/211/111/111/111/111/155/566/611/122/211/122/222/211/111/111/122/211/122/211/111/1/22/211/111/111/122/211/122/211/1建设内容11/122/211/111/122/233/333/311/111/111/111/111/111/111/111/111/133/322/2/11/122/233/355/520/010/020/020/050/050/050/050/0建设内容80/020/010/010/020/010/010/010/000220011001100110011001100110011001100110011001100110011001100110011001100440011002200110011建设内容00110044001100330000330022001100220011ASM全自动固晶机0077002200110022001100220011NI仪器0011ASM全自动固晶机001100002200110033001100220055004400330000550022建设内容00110022001100220011003300330011ME08测试治具00110011001100110011001100110011005500660022002200770011001100110022001100110011002200110066建设内容序号100否200000用否300000否400否5否6是建设内容700否828是9是00是00000料否00否建设内容否000增否000增是m3/a000燃是00000是/否/否/否/否/否/否/否否建设内容/否/否/否/否/否4631579046315790PCB板否00否00/否00/否00/否00/否00/否00/否00/否00/否4446628044466280/否/否/否否建设内容偏00000否00000否00000否100000清胶否00000否00000及否00000否建设内容0提 是0是0是0是水m3/a//电kWh/a//恒诺微电子（嘉兴）有限公司2020年恒诺生产线智能化升级及扩大产能改造建设内容焊锡丝：一种熔点较低的焊料，用于MICR恒诺微电子（嘉兴）有限公司2020年恒诺生产线智能化升级及扩大产能改造建设内容和设备原件遮挡保密作用，原理是将树脂（A部分）与硬化剂（B部分）混合，本项目员工从现有项目中调剂，不新增员工，实恒诺微电子（嘉兴）有限公司2020年恒诺生产线智能化升级及扩大产能改造建设内容88建设内容本项目主要从事其他电子器件的生产，具体生产工艺流程及产污环节见图污环节IC封装生产工艺简介：购置的晶圆（IC工艺流程和产排污环节工艺要求，磨片过程中采用超纯水冲洗降温加工工艺要求，切割过程中采用超纯水冲洗入库或用于MICRO生产：经电性能测试合格的IC芯片打包入库或用于工艺流程和产排污环节240°,波峰焊过程中产生焊条和助焊剂受热产生波峰焊废气。工艺流程和产排污环节增小型电子实验室，对部分产能进行焊接组水MICRO封装波峰焊MICRO封装波峰焊后清洗气用与项目有关的原有环境污染问题与项目有关的原有环境污染问题委托嘉兴市环境科学研究所有限公司编制了恒诺微电子（嘉兴）有限恒诺微电子（嘉兴）有限新增一台4T备恒诺微电子（嘉兴）有限12与项目有关的原有环境污染问题"cIC封装·超纯水银胶、框架氩气等"cIC封装·超纯水银胶、框架氩气等板t↑ttt要求，回流焊后新增波峰焊工艺（委外加工本项目实施后新增波峰焊工艺，封装内，故MICRO封装中IC封装部分工艺污染物不再单独列出。与项目有关的原有环境污染问题////与项目有关的原有环境污染问题超纯水、氢氧化钠环氧树脂塑封料超纯水、氢氧化钠环氧树脂塑封料1水CODCrNH3-N1234与项目有关的原有环境污染问题烃5洗6气7NOX812件3456晶圆磨片、晶圆切割、去溢料清洗、生产制纯水、锅炉制软水、冷却塔冷却水更换、喷淋与项目有关的原有环境污染问题气MICRO封装手工组装项目实施后，废水排放标准改为执行《电子工业水污染物排放标准》与项目有关的原有环境污染问题5根据企业提供的数据及企业水平衡图，企业2见表2-14，因本项目IC封装部分已实施，故企业2021年废水排放量包含现有已与项目有关的原有环境污染问题与项目有关的原有封过程中，塑封料中部分单体挥发会产生少量的有机废气，按非甲烷总烃计。MICRO封装模具清洗工序采用丙酮，模具清洗过程中少量丙酮挥发产生模具清洗废气，按非甲烷总烃计。以上废气经各自生产与项目有关的原有环境污染问题浙江新鸿检测技术有限公司出具的废气检测报告（编号：ZJXH(HJ)-2204387/烃///废气有组织产生量为1.879t/a，有组织排放量为0.792t/a，水喷淋处理系统物mg/m3洗烃洗废气产生量和排放量包含IC封装现有已建部分和IC封装本项目已实施部分。现有项目和本项目IC封装工艺完全相同，故固化、塑封、模具清洗废气现有已建部分与项目有关的原有环境污染问题物无组织排放量t/a洗烃物mg/m3洗烃测技术有限公司出具的废气检测报告（编号：ZJXH(HJ)-2204387废气排气筒//3与项目有关的原有环境污染问题物mg/m3物量和排放量包含IC封装现有已建部分和IC封装本项目已实施部分。现有项目和物无组织排放量t/a物物mg/m3物与项目有关的原有环境污染问题（编号：ZJXH(HJ)-220438///锡/////锡/-6/污染物mg/m3颗与项目有关的原有环境污染问题粒物非甲烷总烃锅炉烟气：企业三台锅炉目前使用天然气为燃料，天然气使用量为mg/m31//物//硫//2//物//硫//3//物//硫//烟废气经环保认证的油烟净化装置处理后通至屋顶高空排放，风量50000m3/h，油烟去除率85%，企业每天运行时间约5小时，则处理后油烟排放浓度约与项目有关的原有环境污染问题位率限值标/否物/否硫/否/否物/否硫/否/否物/否硫/否否否否否否根据监测，企业废气有组织排放浓度和排放速与项目有关的原有环境污染问题根据监测，企业无组织废气排放速率能达到《大气污染物综合排放标准》1/2MICRO车间3本评价委托浙江首信检测有限公司对本项目厂界1234与项目有关的原有环境污染问题9废电路板PCB分板9废电路板PCB分板（吨/年）123456789序号1/2型/3接/4/年5/678与项目有关的原有环境污染问题包装物用、机修/1水CODCrNH3-N1放2放3放4DA003排放NOX51收与项目有关的原有环境污染问题2型3456789物套备1水CODCrNH3-N1烃与项目有关的原有环境污染问题23组装废气烃4NOX51料2型3接456789用、机修包装物与项目有关的原有环境污染问题污染物流焊组装颗粒物非甲烷总烃量110220310420520650750850与项目有关的原有环境污染问题 废气键压贴片2贴片1去溢料/切筋老化/点亮/外观检/测试切筋/弯折/焊电阻注塑（二次塑封）包装出货废气废气打标机废气 废气键压贴片2贴片1去溢料/切筋老化/点亮/外观检/测试切筋/弯折/焊电阻注塑（二次塑封）包装出货废气废气打标机废气95080201010201010101234567189金线环氧树脂、硅树脂与项目有关的原有环境污染问题CODCrNH3-NCODCr、NH3-N、氮氧化物、二氧化硫：企业现有CODCrNH3-NVOCs与项目有关的原有环境污染问题排气筒排放，因废气出口VOCs浓度较低，二级活性炭吸附效率按50%计。恒诺微电子（嘉兴）有限公司2020年恒诺生产线智能化升级及扩大产能改造（t/a）1CODCrNH3-N1气烃/23装废气烃0004气0000NOX005烟001程料200300备5集006007008009板0000用00修00修00修00修0000活00恒诺微电子（嘉兴）有限公司2020年恒诺生产线智能化升级及扩大产能改造2021年嘉兴市区城市环境空气质量达到二级标准次评价采用嘉兴市区2021年环境空气NO2PM10PM2.54mg/m3NO2PM10PM2.54mg/m3NO2PM10PM2.54mg/m3及修改单中的二级标准限值要求。因此，项00位：富园新村北区第25号，距离企业西北侧约320m；采样时间：2021年10mg/m3mg/m300点位：富园新村北区第25号，距离企业西北侧约320m；采样时间：2021年3mg/m3物号00合排放标准详解》中关于锡及其化合物居住区大气个百分点。83个断面主要污染物高锰酸盐指数、氨氮和总磷平均值浓度分别首要任务完成，项目所在区域附近地表水体水环境质量将会得到进一步的改本项目不属于“新建或改建、扩建广播电台、差转台、电视塔台、卫星地1K++2+2+32-3--pH、氨氮、硝酸盐、亚硝酸盐、挥发性酚类、氯化物、总大肠菌群、细菌总数、石油类、锡23≤0.05mg/LK+Na+Ca2+Mg2+HCO3-CO32-SO42-出（GB/T14848-2017）Ⅲ类标准。相对误差小于±序号123值况况况砷镉铜铅汞镍烷烷烯烷烷烷烷苯䓛蒽萘 锡注：1#、2#锡执行《污染场地风险评估技术导则》（DB（DB33/T892-2013）表A表A.1部分关注污染物的土壤风险评估筛坐标/º保护对象1居住区户E2居住区户区E居住区户E6居住区户居住区户居住区户医院人居住区W医院人NW居住区户NW居住区户NW居住区户NW区居住区户N寓居住区户NE居住区户NE居住区户NE境////////////////准准浓度mg/m3筒mkg/h>8/硫/物/气//准///8/4DB33/2146-201816准CODCrBOD5NH3-N/81/和填埋污染控制标准》(GB18599-2020）中的相关规定。危NOX。根据《建设项目主要污染物排放总量指标审核及管理暂行办法》(环发CODCrNH3-NVOCs000/000/000/恒诺微电子（嘉兴）有限公司2020年恒诺生产线智能化升级及扩大产能改造施气污染物排放，生活污水利用现有厂房卫生设施产生量均很小，较难进行准确定量计算，因此，本环评以非甲烷总烃进行表征，对单体废气不进行定量分析，仅提出防治措施。模具清洗使用丙酮，清有项目，具体见表2-18中本项目已实施部分，固化、塑封、模具清洗废气及其化合物产生量极小，故锡及其化合物不作定量分析。助焊剂使用量为清洗利用现有清洗间，不新增收集风量，收集效故去除率按0%计）处理后，则波峰焊、波峰焊清洗废气VOCs产生量为为提高废气处理效率，减少对环境空气的影响，本项目拟将经水喷淋处量为0.046t/a，VOCs有组织排放量为1.246t/a，颗粒物有组织排放量为物kg/hmg/m3烃物生少量的混料粉尘，IC封装芯片采用激光打标，此工序会产生少量的粉尘，混料、打标工序在现有混料、打标间内，粉尘利用现有混料、打标间整恒诺微电子（嘉兴）有限公司2020年恒诺生产线智能化升级及扩大产能改造嘉兴优创环境科技有限公司运营期环境影响和保护措施物mg/m3物考虑DA004排气筒对应的除尘塔装置、DA005排气筒对应的水喷1室（DA005）112另外参考《关于印发[浙江省工业涂装工序挥发性有机物排放量计算暂行方法]的通知》中“采用吸附抛弃法，吸附剂为活性炭时，VOCs质嘉兴优创环境科技有限公司运营期环境影响和保护措施3322000m3/hDA004348500m/h3嘉兴优创环境科技有限公司运营期环境影响和保护措施算方法算方法物类比法类比法封装、烃类比法+除雾器+二类比法气烃物料衡算法物料衡算法物类比法0类比法间物类比法////排污系数法////烃比物料衡算////嘉兴优创环境科技有限公司运营期环境影响和保护措施法XY1525烃），立器件制导体照明光电子器他电子器件制造排是是是是是嘉兴优创环境科技有限公司运营期环境影响和保护措施根据上述分析，经采取相应废气防治措施后，本项目有组织废气排放源污33///），嘉兴优创环境科技有限公司运营期环境影响和保护措施VOCs无组织排放限值综上分析，本项目针对废气采取了有效收集治理措施，各类废气经收集治理后分别通过15m高排气根据水平衡图图2-3和图2-4，类比现有项目，本项目废水主要为制纯水浓水、CODCr本项目工序产生废水污染源源强核算结果及相关参数见表4-12，综合污水处理厂废水污染源h%嘉兴优创环境科技有限公司运营期环境影响和保护措施装/水CODCr法池/法CODCr法NH3-N///51厂是放量/值/(mg/L)1CODCrNH3-N5嘉兴优创环境科技有限公司运营期环境影响和保护措施厂是本项目污水处理站处理规模为1000m3/d，处理工艺为嘉兴市污水处理一期工程30万m3/d已于2003年4月投入运行，二期工本项目废水排放量约为396t/d，各污染物浓度均能满足纳管要求，污水量相对嘉兴联合污水处理厂60万m3/d的处理能力来说嘉兴优创环境科技有限公司运营期环境影响和保护措施序号离/m入损失/dB(A)XYZ/dB(A)11213141嘉兴优创环境科技有限公司运营期环境影响和保护措施机516MICRO间17MICRO间/18MICRO间/19MICRO间/1MICRO间机/1MICRO间/1/1/1/1/1机/1嘉兴优创环境科技有限公司运营期环境影响和保护措施机/1/1/1/1ASM全自动/1/1ASM全自动/1机/1机/1机/1/1/1/1/1/1嘉兴优创环境科技有限公司运营期环境影响和保护措施/1MICRO间焊/1机/1/1MICRO间/1嘉兴优创环境科技有限公司运营期环境影响和保护措施Lp1i(T)=10lg(∑j1100.1Lp1ij)式中：Lp1i(T)—靠近围护结构处室内N个声源i倍频带的叠加声压级，dB（ALp1ij—室内j声源i倍频带的声压级，dB（ALp2i(T)=Lp1i(T)−(TLi+6)（公式式中：Lp2i(T)—靠近围护结构处室外N个声源i倍频带的叠加声压级，dB（A嘉兴优创环境科技有限公司运营期环境影响和保护措施Lw=Lp2(T)+10lgs（公式4）度梯度、雨、雾等均作为预测计算的安全系数而不计，故：∑Ai=Aα+Ab。定义δ=SO＋OP－SP为声程差，N＝2δ/λ为菲涅尔数，其中λ为声波波长。嘉兴优创环境科技有限公司运营期环境影响和保护措施LAi—i声源在预测点产生的等效连续ALeq=10lg(100.1LeqI+100.1Leqb)（公式7）本次评价噪声预测采用环安科技在线模型计算平台的环安噪声环境影响评价系统，该系统是根据《环境影响评价技术导则声环境》（HJ2.4-2021）构建，基于GIS的三维噪声影响评价系统。软件综合考虑预测区域内所有声嘉兴优创环境科技有限公司号00000000恒诺微电子（嘉兴）有限公司2020年恒诺生产线智能化升级及扩大产能改造根据上述预测结果，本项目投产后，东侧、南侧、西侧、北侧厂界噪声为确保本项目厂界噪声稳定达标，本环评建议建设单位采用如下治理措施：尽可能选择低噪声设备，并对强声源设备采用防震、消声、隔声等降噪措施；加强生产设备以及废水、废气治理设施的维修保养，确保设备处于良好的运转状态，杜绝因设备不正常运转而产生的高噪声现象；加强车间管理和对操作工人的培训，合理安排高噪声作业时间，文明操作，轻拿轻放；对生产车间合理布局，废气处理设施尽可能远离周边住户，水泵、风机外安装隔声罩，设备下方加装橡胶减振垫，风机配置消声器；加强厂区绿化，在各厂界种植高密集树木，车间周围加大绿化力度，从而使噪声最大限度地随距经采取上述噪声防治措施后，预计本项目厂界噪声能达到《工业企业厂污单位自行监测技术指南电子工业》（HJ1253-2022），本项目噪声监测计本项目产生的固废主要为一般废包装材料、废边角料、锡渣、废纯水制备树脂、粉尘、沾染危险废物的废包装物、废丙酮、实验室废物、报废电子量1234年562789量1/2/3/4/年5/627HW068物常9HW49本项目一般废包装材料、废边角料、锡渣、废纯水制备树脂、粉尘属于一般固废，一般废包装材料收集后在厂区一般固废仓库内暂存，进行外卖综合利用，废边角料、锡渣、废纯水制备树脂、粉尘收集后在厂区一般固废仓库内暂存，委托处置；沾染危险废物的废包装物、废丙酮、实验室废物、报废电子设备、废活性炭属于危险废物，收集后在厂区危废仓库内暂存，定期序号量1装物2程等等T置2等等R3常属T4属T5炭炭T恒诺微电子（嘉兴）有限公司2020年恒诺生产线智能化升级及扩大产能改造运营期环境影响和保护措施///22///恒诺微电子（嘉兴）有限公司2020年恒诺生产线智能化升级及扩大产能改造序号生量1是2是3是4是5是6物2是7是8常是9备是是1、固废贮存场所（设施）管理要求。