微机电结构动态参数的激光测量方法 编制说明

《微机电结构动态特性的激光测量方法》征求意见稿编制说明1《微机电结构动态特性的激光测量方法》征求意见稿编制说明国光电测量标准化技术委员会（TC487）与全国微机电技术标准化技术委员会（TC336）协商，双方同意项目号为20243096-T-491的《微机电结构动态参数的《微机电结构动态特性的激光测量方法》征求意见稿编制说明212余姚舜宇智能光学技术有限协助起草，从技术及应用角度对标准草案进3协助起草，从技术及应用角度对标准草案进4中国科学院空天信息创新研5协助起草，从技术及应用角度对标准草案进6杭州士兰微电子股份有限公司协助起草，从技术及应用角度对标准草案进7协助起草，从技术及应用角度对标准草案进8协助起草，从技术及应用角度对标准草案进9协助起草，从技术及应用角度对标准草案进协助起草，从技术及应用角度对标准草案进协助起草，从技术及应用角度对标准草案进《微机电结构动态特性的激光测量方法》征求意见稿编制说明3协助起草，从技术及应用角度对标准草案进协助起草，从技术及应用角度对标准草案进苏州明搞传感科技股份有限协助起草，从技术及应用角度对标准草案进协助起草，从技术及应用角度对标准草案进1负责人，负责制定计划和实施234567894段通过有效测试技术手段对微机电结构的动态进行精确测试并建立起相应的标《微机电结构动态特性的激光测量方法》征求意见稿编制说明5量方法亟需建立统一标准，这对MEMS领域企业对产品性能、成《微机电结构动态特性的激光测量方法》征求意见稿编制说明6形成了标准草案，根据实际应用状况进行了内容充实，并按GB/T1.1—2020要本标准根据微机电结构动态特性激光测量系统需求，以及微机电结构动态参数测试所需仪器现状，确数包括位移、速度、加速度、共振频率、品质因数、本标准适用于微机电结构动态参数激光测量相应地操作方法，因此本标准《微机电结构动态特性的激光测量方法》征求意见稿编制说明7 在本专业领域，动态位移一般是指微机电结构可动部件相对于静止部件的相对动态位移，由于微机电结构的尺寸非常小且振动频率非常高，根据GB/T面特征实施测量，故只能对平面的2维运动特性进行评定，且当微机电结构振动8本标准使用扫描显微激光多普勒测量装置，根据用户实际需要，选择进行单点或者区域多点扫描动态位移测量，通过多次不同测量点的位移-时间响应测在本专业领域，动态速度一般是指微机电结构可动部件相对于静止部件的相对动态速度，由于微机电结构的尺寸非常小且振动频率非常高，根据GB/T本标准结合标准编制组研究的最新显微成像和显微扫描激光多普勒技术，根据GB/T33929—2017《MEMS高g值加速度传感器性能试验方法》大部门MEMS器件需要在高真空、高精密环境中开展测试，冲击9在本专业领域，共振频率是指微机电结构在外部激励下产生最大振动响应其共振频率和品质因数的精确测量对性能评估至关重要。根据GB/T26112— 针对微机电系统工作振型测量的国际和国家标准尚未全面建立，国内一些针对微机电系统模态振型测量的国际和国家标准尚未全面建立，同工作振（1）社会效益：基于显微扫描激光多普勒测振技统的研制成功，必能打破国外公司的技术垄断，为国内MEMS器件（2）经济效益：该标准的实施将促进微机电结构动态特性4:1993，ISO16063-22：2005规定了振动与冲击传感器的校准方E2245-02、ASTME2246-06规定了使标GB/T34899—2017规定了微机标GB/T20485.41—2015规定了通常在0本标准符合我国有关现行法律、法规的相关规定，与我国现行法律、法规和相建议由全国