TTCH 002-2022 废湿电子化学品再生液 光刻胶稀释剂

ICS13.030.50CCSG17TCH团 体 标 准T/TCH002—2022Regenerationsolutionofwastewetelectronicchemicals Photoresistdiluent2022-06-28发布 2022-07-01实施陕西省合城产开发用促会 发布T/TCH002T/TCH002—2022II目 次前 言 II1范围 32规性用33术和34一要求 35试方法 46检规则 47包、志贮和5参考文献 6T/TCH002T/TCH002—2022IIII前 言本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。本文件起草单位：陕西省环境科学研究院、西安石油大学、陕西高科环保科技有限公司、蒲城祥火环保新能源有限公司、陕西明瑞资源再生有限公司。本文件主要起草人：荆维、杨博、张保军、申斌、岳秀伟、冯铁锁、崔博、李宝锋、宋江波、鱼涛、李金灵。本标准为首次发布。T/TCH002T/TCH002—2022PAGEPAGE3废湿电子化学品再生液光刻胶稀释剂范围本文件适用于以半导体和平板显示器等制造及生产过程中所产生的废光刻胶稀释剂混合液或单一物质溶液（丙二醇单甲醚醋酸酯等）为原料，经处理后所得的再生液。下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB190危险货物包装标志GB12463GB13690GB15258GB17914易燃易爆性商品储存养护技术条件GB/T3143HazenGB/T6283·GB/T6324.2化工产品采样总则GB/T6680液体化工产品采样通则GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定GB/T9722化学试剂气相色谱法通则GB/T9724化学试剂pH值测定通则SJ/T11637电子化学品电感耦合等离子体质谱法通则下列术语和定义适用于本文件。3.1湿电子化学品wetchemicals指微电子、光电子湿法工艺制程中使用的化工材料的统称。3.2再生液regenerationsolution指湿电子化学品在使用过程中产生的废液经过一定工艺处理后，得到的具备原湿电子化学品主要功能的再生品。3.3废光刻胶稀释剂溶液wastephotoresistdiluent指不同成分和配比的光刻胶稀释剂产品使用过程中产生的含有相应成分的废液。外观常温下为透明液体，无机械杂质及悬浮物。要求1表1 光刻稀剂合技要求质量控制项目指标要求试验方法再生电子级再生工业级再生基础级有效成分含量/wt.%≥99.5≥99.0≥95.0GB/T9722水分/wt.%≤0.1≤0.3≤0.5GB/T6283蒸发残渣/wt.%≤0.001≤0.01≤0.01GB/T6324.2色度/Pt-Co色号≤10≤10≤20GB/T3143pH4~8GB/T9724Na、Mg、Al、KCaCrMnFe、Ni、Cu、Zn、Ag、Cd、Pb等金属离子杂质含量/μg·kg-1≤15≤40-SJ/T11637（）2表2 丙二单醚酸技要求（1-Methoxy-2-propylacetate,PAM）质量控制项目指标要求试验方法再生电子级再生工业级再生基础级PMA含量/wt.%≥99.5≥99.0≥95.0GB/T9722水分/wt.%≤0.05≤0.1≤0.3GB/T6283蒸发残渣/wt.%≤0.001≤0.01≤0.01GB/T6324.2色度/Pt-Co色号≤10≤20≤20GB/T3143pH4~8GB/T9724Na、Mg、Al、KCaCrMnFe、Ni、Cu、Zn、Ag、Cd、Pb等金属离子杂质含量/μg·kg-1≤15≤40-SJ/T11637警示试验方法规定的一些实验过程可能导致危险情况。操作者应当具备适当的安全和防护措施。外观常温常压条件下，将50mL待测定溶液加入100mL比色管中，室内观察应采用日光灯光源，室外观察应采用日光光源轴向观察。2。12采样采样产品采样应按GB/T6678和GB/T6680的相关规定进行。出厂检验应依据表1和表2的相关参数执行。1GB/T8170光刻胶稀释剂的包装、标志、贮存和运输应满足规定如下：GB12463——标志按GB13690、GB1