半导体、太阳能级单晶硅棒、硅片生产一期项目可行性研究报告

XXXX硅能科技有限公司半导体、太阳能级单晶硅棒、硅片生产一期项目信息产业电子第XX设计研究院有限公司XXXX硅能科技有限公司半导体、太阳能级单晶硅棒、硅片生产一期项目总工程师：信息产业电子第XX设计研究院有限公司2半导体、太阳能级单晶硅棒、硅片生产一期项目 1 1 1 5 8 8 3半导体、太阳能级单晶硅棒、硅片生产一期项目 4半导体、太阳能级单晶硅棒、硅片生产一期项目 5半导体、太阳能级单晶硅棒、硅片生产一期项目第一章总论半导体、太阳能级单晶硅棒、硅片生产一期项目二十年来，世界半导体工业生产及其技术水平迅速发展，市场规传统的燃料能源正在一天天减少，对环境造成的危害日益这个时候，全世界都把目光投向了可再生能源，希望可再生能源能够改变人类的能源结构，维持长远的可持续发展。太阳能作为一种新能源被广泛应用于航天航空、并网发电、居发用电、汽车、游艇、高速资源开发利用的潜力非常广阔。我国地处北半球，南北距离和东西距第一章总论第一章总论及费用分摊管理办法。国家的这些扶植政策和措施将大力促进我佳华香港有限公司紧跟国家发展政策，密切关注世界半导体及能源行业的形势，成立了全资子公司XXXX硅能科技有限公司，在江苏省XX经济开发区内建设年产1200万片8英寸半导体、承办单位：XXXX硅能科技有限公司现在，中国已经成为全球最大的单一半导体需求市场。根据市场集成电路产业的主要生产基地仍然集中在美国、日本、韩国和中国台基于集成电路的重要地位，发达国家和许多发展中国家(地区)都第一章总论成电路中长期发展规划，抢占制高点，以掌握未来信息技术核心的主能源是国民经济发展和人民生活水平提高的重要物质基础，而能源资源的有限性和开发利用带来的环境问题，严重制约着经济和社会无论从世界还是从中国来看，常规能源都是很有限的，中国的一发展中国家工业化进程加快，因此全球未来能源消耗态势仍将以快速2半导体、太阳能级单晶硅棒、硅片生产一期项目第一章总论度增长。能耗平均呈指数增长趋势所带来的后果是十分严重，一方面变暖，生态环境恶化，自然灾害及其造成的损失逐年增加。另一方面将愈来愈快地消耗掉常规化石能源储量。有数据表明，世界化石燃料耗尽时间从现在开始只有几十年的时间。能源的潜在危机和生态环境中，太阳能发电是发展最快的，也是各国竞相发展的重点。太阳能发电无污染、安全、寿命长、维护简单、资源永不枯竭、不受资源分布增速度发展。与国际上蓬勃发展的光伏发电相比，我国落后于发达国3半导体、太阳能级单晶硅棒、硅片生产一期项目第一章总论超过了印度。在今后的十几年中，太阳电池的市场走向将发生很大的向并网发电系统，包括沙漠电站和城市屋顶发电系统。在国家各部委立项支持下，目前我国实验室太阳能电池的效率已达21%我国阳能光伏电池生产成本已大幅下降，这对国内太阳能市场走向壮使得太阳能电池产业具有较高的投资价值和发展潜力。目前，太阳能电池及其相关产业成长性好，是非常好的投资机会，因此抓住太阳能电池市场发展的机遇，建设具有国际先进工艺技术水平的生产线，迅速提升公司在市场竞争中的有力地位，以有限的投资确保在竞争中取半导体集成电路和太阳能电池行业是世界增长速度较高的两大领港有限公司为了尽快占领半导体及光伏电池市场制高点，适时调整产际先进工艺技术水平的生产线，打造一流的半导体、太阳能级单晶硅4半导体、太阳能级单晶硅棒、硅片生产一期项目第一章总论第一次以国务院的文件形式对单一产业规定政策措施。文件对集成电路项目立项审批、税收优惠、政策扶持、知识产权保护等方方面面进改善宏观调控，进一步转变经济增长方式，推进产业结构调整和优化高性能计算机及网络设备等信息产业群，加强信息资源开发和共享，味着中国可再生能源的发展将获得更大助力。我国政府一直十分注意可再生能源的发展，在党的十四届五中全会上通过的《中共中央关于施的《中华人民共和国节约能源法》明确提出，国家鼓励开发利用新能源和可再生能源。在建设部目前推行的"5半导体、太阳能级单晶硅棒、硅片生产一期项目第一章总论国家鼓励个人和单位使用太阳能光伏发电系统，这将加速这场以太阳能等可再生能源利用为核心的新能源革命，从而降低成本，扩大可再生能源应用规模，步入良性循环。对中国最终成为可再生能源发展大要技术可行、成本可接受，如此巨大的太阳能资源的开发利用量是没6半导体、太阳能级单晶硅棒、硅片生产一期项目第一章总论红好黄硅、多晶硅等半导体生产厂家保持着良好的合作关系，诸如，德国质量管理、安全管理制度；已经建立强大的销售网络。企业在扩张的7半导体、太阳能级单晶硅棒、硅片生产一期项目第一章总论道路上，完善的管理制度与强大的销售网络，将成为项目建设的有利化的重点之一是高效率、低成本的太阳能光伏电池8半导体、太阳能级单晶硅棒、硅片生产一期项目第一章总论亩人KW%%3业。是我国近期重点发展项目，产品方向符合国家产业导向，并且是9半导体、太阳能级单晶硅棒、硅片生产一期项目第一章总论尽可能保持公司技术水平与国际水平同步，以争取先进产品的边际利润。项目引进先进技术与设备，市场以内销为主，出口为辅；既确保第二章项目承办企业基本情况第二章项目承办企业基本情况b、佳华香港有限公司与SuntechPower有限公司以及镇江环太硅科第三章市场需求和产品大纲第三章市场需求和产品大纲单晶硅具有金刚石晶格，晶体硬而脆，具有金属光泽，能导但导电率不及金属，且随着温度升高而增加，具有半导体性质。单晶型半导体结合在一起，单晶硅经过切片后，不仅可以做出小到线宽全球半导体市场包括集成电路、分离器件、光电器件等，主要地年来，世界半导体工业生产及其技术水平迅速发展，市场规模平均增第三章市场需求和产品大纲AmountsAmountsinUS$M200620072008200944,91242,81845,90348,70439,90441,18443,75246,12946,41848,61350,66252,576116,482124,620140,247150,503247,716257,235280,564297,9135,3395,1555,5385,874209,510219,414239,294254,81736,93936,61240,99142,79253,93956,25462,22366,31760,15866,70673,48176,42658,47359,84162,59869,282247,716257,235280,564297,91320065.38.98.89.38.7-1.44.320.58.92007-4.73.24.73.8-2.5-3.54.7-0.94.32.33.8AnalogMemoryTotalProducts-$M美国亚太地区合计分离器件光电器件传感器集成电路5.43.82.55.94.44.04.29.18.49.14.69.1Growth2008Spring20072009YearonYear现在，中国已经成为全球最大的单一半导体需求市场。根据市场基于集成电路的重要地位，发达国家和许多发展中国家(地区)都成电路中长期发展规划，抢占制高点，以掌握未来信息技术核心的主太阳能电池产业的发展速度之快，是现代工业中罕有的。全球太第三章市场需求和产品大纲但即便如此，目前太阳能发电占全球能源消耗总量之比仍是微不强力推动下呈快速、增速发展。最近十年的整个产业的发展速度达到一直是世界增长速度最高和最稳定的领域之一，这个领域里单晶硅将凭借它独特的优势稳步发展。太阳能单晶硅占太阳能市场的第三章市场需求和产品大纲 万片。集成电路产业的主要生产基地仍然集中在美国、日本、韩国和业在前几年高速增长的基础上依旧保持了较快增长的势头。在IC卡、第三章市场需求和产品大纲球芯片代工市场持续增长以及国内设计业规模不断扩大的带动下，芯随着世界集成电路技术及应用的发展，集成电路细化，整个产业逐步分化为设计业、制造业、封装测试业以及为整个产业提供专用设备和材料为主体的支撑业等相对独立而又相互关联的第三章市场需求和产品大纲300025002000024702470213021502220483200220032004200520062007全球半导体(亿美元)中国半导体(亿美元)全球半导体(亿美元)中国半导体(亿美元)近年来，我国光伏产业得益于国外市场的增长，进入了快速发展纯度的多晶硅，再以高出原料价数十倍甚至近百倍的市场价格，卖给第三章市场需求和产品大纲(1)生产能力与产量根据不完全统计，全国硅单晶的生产能力(2)直拉与区熔单晶的比例根据有关统计资料显示，我国国内我国分立器件仍占很大比例，在世界范围内区熔单晶仅占硅晶体材料材料的需求很大，作为太阳能电池的最重要原料，太阳能级单晶硅片第三章市场需求和产品大纲第三章市场需求和产品大纲中相当大一部分是分立器件用硅片。但是我国硅工业所面临的形势是国内太阳能电池市场迅速打开，国内的太阳能电池的生产能力还会有本项目最终产品为单晶硅片，是整个产业链中的中间环节，根据产品大纲，项目满产后本项目能满足产业链的需求，有很好的规模效20半导体、太第三章市场需求和产品大纲121半导体、太第四章技术与装备第四章技术与装备单晶硅的制法通常是先制得多晶硅或无定形硅，然后用直拉法或悬浮区熔法从熔体中生长出棒状单晶硅。切片就是将单晶硅棒去头去尾后，用切割机切成所需要尺寸的单晶硅片。其主要生产技术佳华香港有限公司自行提供，佳华香港有限公司技术专家团队在单晶领域积累了丰富的生产经验和雄厚研发能力，培养了大批生产人员和研发人12345678922半导体、太第四章技术与装备种。由于成本和性能的原因，CZ材料应用最广。本项目采用的是直单晶硅的生产是采用高纯度多晶硅为原料，在直拉单晶炉内将多晶硅熔化，熔融的单质硅在凝固时硅原子以金刚石晶格排列成许多晶核，如果这些晶核长成晶面取向相同的晶粒，则这些晶粒平行结合起满足得到不同的中间产品，主要生产工艺：原料→碎料→腐蚀、清洗→干燥加料→熔化→缩颈生长→放肩生长→等径生长→尾部生长→切真空后充入高纯氩气使之维持一定压力范围内，然后打开石墨加热器电源，加热至熔化温度（1420℃)以上，将多晶硅原料熔化。23半导体、太第四章技术与装备成一个交角，只要缩颈够长，位错便能长出晶体表面，产生零位错的那么效应力将使得晶棒出现位错与滑移线。于是为了避免此问题的发生，必须将晶棒的直径慢慢缩小，直到成一尖点而与液面分开。这一将单晶硅棒去头去尾后，用切割机切成所需要尺寸的单晶硅片，在经过倒角、腐蚀清洗、检测等工序后，包装入库。主要生产工艺程序为多晶硅棒→切断→外径滚磨→平边或V型槽处理→切片→倒角→24半导体、太第四章技术与装备分，将单晶硅棒分段成切片设备可以处理的长度，切取试片测量单晶2)外径磨削：由于单晶硅棒的外径表面并不平整且直径也比抛光晶片所规定的直径规格大，通过外径滚磨可以获得较为精确的直4)倒角：指将切割成的晶片税利边修整成圆弧形，防止晶片边缘5)清洗：在单晶硅片加工过程中很多步骤需要用到清洗，25半导体、太第四章技术与装备清洗多晶料干燥加料缩颈生长放肩生长等径生长尾部生长生长完成送检26半导体、太第四章技术与装备单晶棒单晶棒切断外径滚磨平边V型槽切片清洗晶片检验、包装、入库本项目的工艺设备选型原则：在保证产品质量和生产能力以及研27半导体、太第四章技术与装备工艺设备主要为国产，部分设备为进口，设备生产能力和技术指序号序号设备名称型号规格产地单位数量价格（万元）序号设备名称型号规格产地单位数量价格（万元）28半导体、太第六章建仓条件与园区布置第五章物料供应和公用设施本项目是使用多晶硅的边角料来做生长单晶硅的原材料，大幅度1吨2升3吨4只5吨6吨7吨8吨9只轴片第六章建仓条件与园区布置3KW本项目原材料及成品的厂外运输主要由汽车和铁路运输。运输力量主要委托社会运输部门承担，本项目不另购买运输车辆。生产过程第六章建仓条件与园区布置第六章建厂条件与园区布置区域位置图）是长三角经济圈中的重要城市之一，历史悠久，人文荟萃。XX经济开发区是1992年成立的省级经济开发区，处于XX市主城第六章建仓条件与园区布置集了德国、日本、韩国、港澳台地区以及国内的大量高端企业。XX江苏XX经济开发区现有光纤网络，供电，水，蒸汽，天然气等第七章项目建设方案第七章项目建设方案本项目为建设太阳能级单晶硅片生产建设项目。项目设计范围主要为单晶硅棒生产厂房、单晶硅片加工生产厂房、仓库、废水处理站等相关的总图、工艺、土建、给水排水、通风空调、气体动力、电气太阳能级单晶硅片生产环境对产品的良品率有一定影响，故在充分保证工艺生产环境需要的基础上，并结合职业安全和卫生的需要，第七章项目建设方案32＃办公楼（一期）33＃单晶车间（一期）24＃车间（一期）2切割车间（一期）2腐蚀车间（一期）2按功能分区大致可分为厂前区、生产区部分。根据太阳能级多晶硅片生产的工艺特点，并考虑环保以及消防和厂内管网敷设等方面的各建筑物之间的间距均符合消防防火规范要求。建筑四周均有加宽环该建筑为单晶硅预处理车间，单层。该建筑生产类别为丙类，耐第七章项目建设方案酸性排风系统由酸性气体洗涤塔、排风机、喷淋装置、碱液供给装置和排风管等组成，该系统主要用于工艺设备的酸性废气、化学品第七章项目建设方案喷淋吸收处理后，达到国家排放标准，再排入大气中，排风管为玻璃粉尘废气排风系统主要用于设备产生的少量粉尘废气，排风量为一般废气（热废气）排风系统主要用于排除工艺设备散发的一般废气和热废气，不含有其他有毒或腐蚀性物质，故直接排入大气中，主厂房拉单晶生产区、切片、清洗等为有工艺要求温湿度的空调房间；其余生产房间为舒适性空调区域。有工艺要求温湿度的房间采主厂房内有工艺要求温湿度房间气流组织采用上送下回。空调系第七章项目建设方案统送风经初、中效两级过滤，旋流风口送风，百叶回风。小循环机组放置在厂房上部，接管至风口送风回风。其余房间采用散流器送风，办公区采用新风+风机盘管空调系统，非净化车间舒适性空调系为满足车间温度、湿度要求设置组合式空调系统。新风与回风混合，经处理后，由风机送到末端散流器送入生产区；回风经回风管回气体动力名称气体动力名称露点-40℃,终点第七章项目建设方案空压站设在动力生产区，除满足厂房内工艺生产用气外，还向纯≤-40℃,以满足工艺用气的要求。第七章项目建设方案循环冷却水系统包括工艺设备用低温冷却水系统和动力设备用常工艺设备用循环冷却水用量480m3/h，供水温度24～29℃,回水温差5℃,水压0.56Mpa。冷却水系统经板式换热器降温后由循环冷却动力设备用常温冷却水采用自来水，供水温度32～37℃,回水温差5℃,水压0.35Mpa。常温冷却水系统为开式循环系统，自来水经冷却塔降温后由循环冷却水泵加压供给动力设备，回水再流入冷却塔作本项目主要消防设施有：室外消火栓给水设施、室内消火栓给水室外消火栓给水系统与室外生产生活给水管道系统合用，在厂区在厂区内各主要建筑均设有室内消火栓消防系统。在动力厂房的消防泵房内设有消火栓加压泵，消防泵从生产消防联合水池吸水，加第七章项目建设方案为扑灭初期火灾，各建筑内配置手提式二氧化碳灭火器，防于灭生活污水中的含油污水先经隔油池除油后，排入室外生活污水管网，与粪便污水和一般盥洗污水一起进入生活污水处理装置，处理达根据生产废水的性质分类如下：酸碱废水类：生产厂房工艺酸碱含硅粉废水主要是切片过程中产生的冲洗废水，废水成分是硅粉第七章项目建设方案生产厂房内设置保护接地、抗电磁干扰接地、防静电接地、共用第七章项目建设方案生产厂房、动力厂房设置火灾报警、联动控制系统。报警监控中离子感烟探测器及相应的模块等设备，适当的地方设置手动报警按钮及声光报警器。配套消防联动控制系统在火灾时自动（或手动）启动广播系统由普通广播及应急广播两部分组成。普通广播设备设在广播站，应急广播设备设在消防值班室内，平时进行普通广播，火灾在办公、生产及其它一些重要部门、重要房间的入口处设置门禁在主厂房及其它一些重要部门设置安全监控电视系统，控制中心第八章组织机构、劳动定员和人员培训第八章组织机构、劳动定员和人员培训总经理第八章组织机构、劳动定员和人员培训用四班三运转制。人员严格遵守工厂的文件规范纪律，以减少操作上项目所需管理和技术骨干主要由投资人派遣，其余大部分由招聘XXXX硅能科技有限公司长期注重企业自身的技术发展，公司内部成立有专门的研发部门和技术中心，定期对人员进行培训。生产一线工人从大专、技校或职高毕业生中择优录取，要求通过培训，熟悉第九章项目实施进度计划第九章项目实施进度计划本项目建设包括工程前期、工程设计、引进设备考查、签约、国内设备采购、设备安装、设备调试、试生产等过程。从工程设计到工力，组建生产线，尽快产生经济效益，本项目先期实施与生产有直接关系的厂房，将科研办公楼置于建设的后期实施。其中工程设计和厂项目进度计划根据总建设工期编制，影响本项目进度计划的主要因素是引进设备的落实。XXXX硅能科技有限公司抓紧设备的考察、进度计划实施，缩短建设周期，尽早发挥项目效益。详细实施计划见第九章项目实施进度计划第十章投资估算与资金筹措第十章项目投资估算与资金筹措本项目建设投资估算范围包括工艺设备仪器购置安装费、动力设备、废水设备）根据动力配置，按现行市场价格计算，并同时计47半导体、太阳能级单晶硅第十章投资估算与资金筹措可研报告编制费、环境评价费、勘探设计费、工程监理费、安全评价费、征地费、培训费、城市配套费、试车费、办公及生48半导体、太阳能级单晶硅第十章投资估算与资金筹措49半导体、太阳能级单晶硅第十一章经济分析1资及附加平均水平，适当考虑未来工资的增涨，达产年生产人员工资50半导体、太第十一章经济分析房产税、车船使用牌照税、招待费、顾问费、管理费、管理人员的工本项目销售价格是综合预测今后市场的发展趋势确定的，产品售51半导体、太第十一章经济分析1234552半导体、太第十一章经济分析6年%%%%（含建设期）可收回全部投资，不盈不亏时的最低产53半导体、太第十二章风险分析与对策第十二章风险分析与对策半导体集成电路及太阳能光伏电池产业是市场前景广阔合国家高科技及能源发展战略外，其产业的关联度非常大，辐射带动作用强，市场应用广泛，作为国家级的发展经济建设的巨大切入点，将促进整体产业升级。大力发展半导体集成电路及太阳能光伏电池产业既是高新技术市场的需要，也是国家能源战略安全的需要，半导体集成电路及太阳能产业技术发展，是对实现经济可持续发展目标的强个世代，生产企业的规模小，一般在世界规模的1/30左右。所以半导我国有着丰富的太阳能资源，太阳能年辐照总量每平方米超过的三分之二以上；若将全国太阳能年辐照总量的百分之一转化为可利用能源，就能满足我国全部的能源需求。近两年，全国光伏产业以年54半导体、太第十二章风险分析与对策发展迅速，涌现出了无锡尚德、南京中电光伏、宁波太阳能等多家具由于光伏产业是非资源限制产业，故太阳能电池行业的前景看好，市在整个半导体及光伏产业链中，硅料是进入壁垒最高的环节，目颈。受制于硅料瓶颈，未来几年，半导体、太阳能电池组件厂商的开但在硅片生产方面，国内拉单晶的技术比较成熟，在生产装备上已经完全实现国产化。同时本项目主要原材料基本上从佳华香港有限公司拥有的购销网络采购。因此，原材料的供货及库存周期较短、运此外，产品技术质量也是本项目所存在的主要经营风险之一。55半导体、太第十二章风险分析与对策导致流动频繁。人才的流失是企业必须面临的问题。大多数企业本身并没有自己的研究团队，基本上通过与相关研究所与研究机构进行技术上的合作，有较强研发力量的半导体拉单晶硅、多晶硅企，如中美XXXX硅能科技有限公司必须加大技术投入，加快技术进步，不断推出符合市场需求的新产品，适应市场对高质量的要求。同时加快技改步伐，加快建设速度，扩大生产规模，降低生产成本，迅速占领XXXX硅能科技有限公司的管理体系除沿用佳华香港有限公司已公司已经建立起了一整套法人运行机制，但随着企业规模的不断面对日益严峻的竞争形势，公司在企业机制和运作模式上进行了改革，并建立了符合产业化生产的内部控制制度、内部稽核与管理制度、会计制度。通过经营管理制度创新以及组织化运作，强化了各部门的执行功能与作业效率，降低人为的失误和错误，以增强公司对市场变化的快速反应能力。随着公司生产规模的不断扩大，其原材料等56半导体、太第十二章风险分析与对策供给必须采取多家、多国供货渠道进行全球采购，以避免因政治、经济、外交及市场波动等因素带来的影响，这样不仅保证了公司产品质在用人方面应贯彻以人为本的理念。生产能力的发展决定着经济的发展，而人又是生产力中最活跃的因素。人有感情、有创新、有激情、有积极性，也有惰性，可塑性强。因此本”的管理思想，坚持尊重人，理解人，关心人的原则，强调管人、管事、管思想相结合。以做好员工思想政治工作为手段，通过多种形式的活动为载体，做好人的工作。并为各种层次的人才搭建施展才能的平台，从而充分调动广大员工的积极性和创造性，不断增强公司的内本项目设备、仪器大部分为国内购买，部分为进口，设备、仪器管理创新、技术创新的最佳效果，形成最佳的资源组合优势，充分利用我国丰富而又有竞争力的劳动力优势，以降低产品成本，规避汇率57半导体、太第十三章环境保护、职业安全卫生、消防、节约能源第十三章环境保护、职业卫生安全、消防、节约能源本项目位于江苏XX经济开发区内，江苏XX经济开发区以高58半导体、太第十三章环境保护、职业安全卫生、消防、节约能源起点、高效益、高新技术、无污染或少污染物排放作为项目进驻前提，目前进驻企业均为高新技术产业，且各企业均按照环境保护要求，认真贯彻落实环境保护“三同时”方针。因此，本项目建设地周边地区基本上无严重污染企业，周围环境条件较好，不会单晶硅及硅片的生产，工艺复杂，同时使用多种化学试剂和特殊单晶硅棒主要生产工艺：原料→碎料→腐蚀、清洗→干燥加料→熔化→缩颈生长→放肩生长→等径生长→尾部生长→切断→送检→切片主要生产工艺：单晶硅棒→切断→外径滚磨→平边或V型槽1吨2升3吨4只5吨6吨59半导体、太第十三章环境保护、职业安全卫生、消防、节约能源77吨8吨9只轴片636360半导体、第十三章环境保护、职业安全卫生、消防、节约能源酸碱废水类：包括生产厂房工艺酸碱废水，酸碱废水排放量约5含硅粉废水主要是切片过程中产生的冲洗废水，废水成分是硅粉生活污水是工作人员在工作时间使用卫生间排出的粪便污水及盥61半导体、第十三章环境保护、职业安全卫生、消防、节约能源工艺生产设备产生的含酸碱性废气，由排风管道排至废气洗涤塔工厂噪声主要是动力设备运行的噪声，动力设备包括空压机、空动力区的降声措施是：选择低噪声动力设备，降低噪声源；对振动大的设备设有减振台座，减少噪声的产生及传递；对噪声较高的设备，对其所在厂房或工作间的墙、门窗采取隔音措施，以减少噪声外62半导体、第十三章环境保护、职业安全卫生、消防、节约能源质量也起着十分重要的作用。绿化设计