湿法工艺及可靠性测试系统需求说明

湿法工艺及可靠性测试系统需求说明1、货物需求明细序号货物名称（标的名称）数量单位1全自动去胶剥离机1台2全自动刻蚀机1台3高压加速老化试验箱1台4冷热冲击试验箱1台5高性能温湿度变化试验箱1台2、技术要求序号货物名称技术要求1全自动去胶剥离机1.1至少含≥2个片盒站，适配6英寸、8英寸晶圆。6寸英寸:φ150±0.1mm；翘曲≤100um；基片种类：Si、蓝宝石、键合片；厚度300um~1000um；带notch或flat；8英寸:φ200±0.1mm；翘曲≤100um；基片种类：Si、蓝宝石、键合片；1.2晶圆的对中精度：其复定位精度≤±0.05mm；1.3机器人采用6轴机器人（分别为R1轴、R2轴、R3轴、R4轴、Z轴、T轴）；R1轴臂展：≥460mm；R2轴臂展：≥460mm；R3轴臂展：≥460mm；R4轴臂展：≥460mm；Z轴臂展：≥1300mm；T轴旋转角度:≥330°；1.4机器人重复对位精度≤±0.1mm；漏扫及错扫率≤1/10000；1.5设备配备灭火器（需满足国际FM认证），灭火器探头需有温感以及火焰监控功能；1.6机台配备视频监控系统能满足每个腔体的监控功能，视频保存时间≥30天；1.7去胶单元要求：电机额定转速：≥1000rpm；最大转速：≤2000rpm；在50～2000rpm转速下，转速控制精度：≤±1rpm；最大加速度：≥1000rpm/s；具备正反转功能，可通过软件设定；1.8高压NMP臂要求：高压泵出口压力最高压力满足≤23MPa可调；柱状喷嘴直径：0.2mm；扇状喷嘴角度：25°；喷嘴形式：柱状或扇状可选；喷嘴角度、高度可调节；1.9高压NMP臂药液温控范围：25℃～85℃，精度≤±2℃，温度软件可设置、可监控；1.10常压NMP臂要求：喷管口径：1/8；喷管压力：0~0.2MPa；喷管流量：≥1L/min；1.11常压NMP臂药液温控范围：25℃～85℃，精度≤±2℃，温度软件可监控、设置；1.12药液循环过滤使用，≥7级过滤，其中一级过滤精度≤0.1um；1.13清洗单元：电机额定转速：≥1000rmp；最大转速上限≥2000rmp；在50～2000rmp转速下，转速控制精度：≤±1rmp，最大加速度：≥1000rmp/s，具备正反转功能，可通过软件设定；1.14具备2个（IPA和DIW）清洗臂；喷嘴直径：⅛管径；喷嘴流量：≥1L/min；1.15具备1个N2吹干臂；喷管口径：⅛管径；喷管压力：0~0.3MPa；喷管流量：≥10L/min；温控范围：等于25℃~120℃；N2过滤直径：≤0.003μm；1.16浸泡槽体：兼容6英寸和8英寸片盒，最大放置片数Max≤12pcs；1.17浸泡槽温控范围：25℃~85℃；温控精度≤±2℃；1.18浸泡方式：Cassette（晶圆载具）倾斜放置上下抖动，抖动频率可设置（20~60次/分），振幅30~60mm，每片浸泡时间软件独立可控；1.19药液寿命卡控方式：支持时间卡控和片数卡控；1.20浸泡槽需要具备超声功能；超声频率：≥40KHZ；功率:≥950W；1.21浸泡卡塞倾斜角度可软件进行设定，倾斜角度0°~90°；1.22设备配备≥15寸触摸屏，操作系统win10及以上，通讯方式EtherCAT，并且带双硬盘一备一用；1.23设备有条形码（barcode）扫描功能，作业数据可以有（可绘制流量、压力、转速、温度等工艺曲线）；1.24设备稳定性：MTBF：≥500Hours；MTTR：≤4Hours；Waferbreakage：≤1per10,000；Uptime：≥95%；1.25去胶完成后样品可达指标：用100倍显微镜检查无任何金属屑残留；用100倍显微镜检查无任何PR残留；用100倍显微镜检查无任何WaterMark残留；用100倍显微镜检查无任何图形形貌缺损；1.26具有片盒放片及滑出检测功能；1.27设备框架：双镜面不锈钢板；2全自动刻蚀机2.1具备2个片盒站，适用晶圆尺寸：6英寸和8英寸；6英寸：φ150±0.1mm；翘曲度≤100um；基片种类：Si、蓝宝石、键合片；适配材料厚度：300um~1000um；带notch或flat；8寸：φ200±0.1mm；翘曲度≤100um；基片种类：Si、蓝宝石、键合片；适配材料厚度：300um~1000um；带notch；2.2晶圆的对中精度：复定位精度≤±0.05mm；2.3机器人采用5轴（分别为R1轴、R2轴、Z轴、T轴、X轴），重复定位精度≤±0.05mm；2.4主轴电机：主轴转速工作转速范围：0～3000rpm（空载）；转速精度：≤±1rpm（50~3000rpm）；最小调整量：≤1rpm；2.5夹晶圆固定方式：真空吸附；2.6腔体扫描臂结构：伺服电机线型模组结构；喷嘴出液控制：高精气控回吸阀；喷嘴形状：柱状；喷嘴直径：¼管径；2.7刻蚀液温度控制：在25℃～40℃温度范围内，刻蚀液温度控制精度：≤±0.5℃；在40℃～80℃温度范围内，刻蚀液温度控制精度：≤±1℃；2.8刻蚀液喷头流量标准：刻蚀液：500~1500mL/min；DIW：500~1500mL/min；N2：0~50L/min；2.9设备每个腔体带FFU要求≥99.9995%@0.12um，腔体上方吹入；2.10静电消除器要求：在≤3秒时间内，可实现控制静电从±1000V消除至100V；2.11设备需配备手动水枪和气枪，用于设备清洁和紧急处理；2.12设备需要配备化学品柜材质，不锈钢框架，PP材料包覆；原液桶配备液位检测；2.13过滤器等级要求:DIW过滤器：≤0.1um；刻蚀液过滤器：≤0.1um；N2过滤器：≤0.003um；2.14刻蚀腔要求：具备2个刻蚀腔；1号刻蚀腔要求：可刻蚀Cu；Arm1：KS6205-Y（40度、回收循环）；Arm2：N2+DIW（直排）；FIXArm（固定臂）：DIW；背喷：DIW+N2；2号刻蚀腔要求：可刻蚀Ti；Arm1：KS6506A/B（40度、回收循环、在线配比）；Arm2：N2+DIW（直排）；FIXArm（固定臂）：DIW；背喷：DIW+N2；2.15设备配备≥15寸触摸屏，操作系统win10及以上，通讯方式EtherCAT，并且带双硬盘一备一用；2.16设备自带视频监控功能，视频可保存≥30天，UPS电源≥20min紧急断电后，可供工控机数据保存，防止数据丢失；2.17，设备有条形码（barcode）扫描功能，作业数据可以有（可绘制流量、压力、转速、温度等工艺曲线）；2.18设备稳定性要求：MTBF：≥400Hours；MTTR：≤4Hours；Waferbreakage：≤1per10000；Uptime：≥95%；2.19刻蚀一致性要求：≤5%(片间&片内）；顶部和底部尺寸差值：≤0.7um；2.20设备支持log（日志）导出功能，包含（流量、压力、转速、温度等核心参数），且参数可以以工艺曲线方式呈现。2.21生成、工艺、设备权限密码管理，模块功能，可由设备最高权限分配。3高压加速老化试验箱3.1内容积：≥21L，方式：一箱型；工作模式包含：不饱和模式、润湿饱和模式和干湿球温度控制模式；3.2可在0～40℃温度范围内正常工作，可在最高湿度为75%的环境中正常工作，工作噪音≤50dB；3.3不饱和模式：温度控制范围：105.0～162.2℃；湿度控制范围：75～100%rh；压力控制范围：0.02～0.392Mpa；温度波动度：≤±0.3℃；温度梯度：≤3℃，温度偏差：≤±3℃；湿度波动：≤±2.5%rh；加压速度：0到0.392MPa，时间≤45min；3.4润湿饱和模式：温度控制范围：105.0～151.1℃；压力范围：等于0.02～0.392Mpa；温度波动度：≤±0.3℃；温度梯度：≤3℃，温度偏差：≤±3℃；加压速度：0到0.392MPa，时间≤60min；3.5干湿球温度控制：温度控制范围：105.6～162.2℃；湿度控制范围：75～95%rh；压力范围：0.02～0.392Mpa；温度波动度：≤±0.3℃；温度梯度：≤3℃，温度偏差：≤±3℃；湿度波动：≤±2.5%rh；加压速度：0到0.392MPa，时间≤75min；3.6需有触摸式显示控制屏，配备外部存储接口。触摸式显示控制屏尺寸不低于5.7英寸，为彩色背光LED显示屏，设计寿命不低于40000小时；3.7操作界面适应科研用户对“不饱和控制、润湿饱和控制、干湿球控制”一键模式切换，并且具备不低于10组定值设定和程序设定，每组程序不低于30个步骤，试验时间0.1～999.9小时、以0.1小时为单位；4冷热冲击试验箱4.1箱体内容积≥10.9L；试验区承重≥8Kg；4.2高温曝露和低温暴露温度要求：高温曝露温度范围：包含60℃～200℃；预热上限：≥＋205℃；低温曝露温度范围：包含-65℃～0℃；预冷下限：≤-82℃；温度波动度≤±0.5℃；温度偏差≤±2.0℃；4.3升温降温能力：在≤30min时间内从室温升温到+200℃，在≤90min时间内从室温温降温到-80℃；4.4采用两温区结构，以4kg试样（含塑料封装IC2kg）为例：将样品从高温150℃环境下曝露30分钟，10S内移到低温-65℃环境下曝露30分钟，腔体内的温度恢复时间≤5min；4.5设备工作环境：可在0～40℃温度范围内工作；可在最高湿度为75%rh的环境中正常运行；工作噪音不高于65dB；4.6箱体外壳为表面涂装的经防锈处理的冷轧钢板，试验箱体为经过抛光处理的18-8Cr-Ni不锈钢，其采用的隔热材料须为环保无害的高效隔热阻燃材料；4.7试验箱的门需配备观察窗，具备灯光照明，需有触摸式显示控制屏，配备外部存储接口。触摸式显示控制屏尺寸不低于9英寸，为彩色背光LED显示屏，设计寿命不低于80000小时，需带有显示屏的灯光开关；4.8操作界面语言包含：中文（简体）、中文（繁体）、日文、英文、韩文（无须再启动即可更换画面设定）等；5高性能温湿度变化试验箱5.1可设温度范围：－75℃～＋180℃；5.2温度控制波动范围：≤±0.3℃；5.3温度梯度：≤3.0℃；5.4空间温度偏差：≤3.0℃；5.5温度变化速率：在-49.5℃～+154.5℃的温度范围内：温度上升速度（平均）：6.0℃/min；温度下降速度（平均）4.9℃/min；5.6温度极值达到时间：温度上升时间：在≤35min的时间内，可使材料温度从＋20℃上升至＋180℃；温度下降时间：在≤45min的时间内，可使材料温度从＋20℃下降至—75℃；5.