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文档简介

金相分析基础扫描电子显微镜——成像原理和主要结构扫描电子显微镜——成像原理和主要结构试样制备简单、成本低光学显微镜放大倍数低扫描电子显微镜——成像原理和主要结构2.操作复杂1.价格昂贵透射电子显微镜3.对样品要求苛刻

4.样品空间狭小5.破坏式分析难以宏观观察6.扫描电子显微镜——成像原理和主要结构1.

试样制备简单2.

景深大；扫描电子显微镜3.

分辨能力较高4.

放大倍数连续可调5.

形貌观察、成分及晶体结构分析。一、扫描电子显微镜成像原理入射电子金属薄膜样品电子枪物镜聚光镜焦平面衍射谱扫描线圈物镜信号放大器像平面样品像信号探测器样品台透射电镜扫描电镜一、扫描电子显微镜成像原理入射电子二次电子特征X射线背散射电子俄歇电子样品(薄)吸收电子透射电子一、透射电镜的样品要求1.背散射电子：被试样反射回来的一部分入射电子。背散射电子信号强度取决于材料的平均原子序数。试样图像轻

重元

元素

素背散射电子背散射电子成像用途：显示样品表面形貌和平均原子序数。一、透射电镜的样品要求2.二次电子：入射电子与核外电子发生非弹性散射，核外电子从入射电子处获得能量脱离原子的电子称为二次电子

。接收器图像亮度+二次电子用途：显示试样表面微观形貌。二次电子成像一、透射电镜的样品要求3.吸收电子：入射电子与样品内原子核和核外电子发生多次非弹性散射，不断损失能量，最后被样品吸收，称为吸收电子。用途：显示试样表面形貌或表面元素分布。一、透射电镜的样品要求4.透射电子：样品足够薄时，将有一部分入射电子经散射后透过样品射出。入射电子二次电子特征X射线背散射电子俄歇电子样品(薄)吸收电子用途：形貌观察。透射电子一、透射电镜的样品要求俄歇电子5.特征X射线和俄歇电子：X射线用途：表面成分分析。用途：元素的定性和定量分析。二、扫描电子显微镜的主要结构电子光学系统信号收集和图像显示记录系统SEM结构真空系统二、扫描电子显微镜的主要结构电子枪➢

电子枪与透射电镜基本相同，加速电压最高为30kV。➢

电磁透镜：不斑的尺寸。有规则的电磁透镜➢

扫描线圈：使扫描线圈物镜扫描。样品室二、扫描电子显微镜的主要结构电子枪电磁透镜扫描线圈物镜样品室⚫

样品室：放置样品和各种信号探测器。二、扫描电子显微镜的主要结构⚫

检测放大系统扫描放大器扫描线圈样品台⚫

扫描发生控制系统⚫

图像显示记录系统信号放大器信号探测器二、扫描电子显微镜的主要结构⚫

镜筒内真空度：1.33×10-2

~

1.33×10-3Pa，可防止电子枪极间放电和样品污染。⚫

扫描电镜通常用到机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三类真空设备。三、小结利用高能聚焦电子束在试样表面扫描时激发产生的某些物理信号，经接收、调制成像。成像原理电子与物质相互作用：背散射电子、二次电子、吸收电子、透射电子、特征X射线、俄歇电子扫描电镜电子光学系统：电子枪、电磁透镜、扫描线圈、样品室信号收集和图像显示记录系统：接收、放大、调制成像。真空系统：镜筒主要结构三、小结中科科仪生产的国产场发射扫描电镜及所测试的样品效果

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