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文档简介

通过样品台的移动，实现白光干涉中的机械相移原理在白光干涉测量技术中，通过样品台的移动来实现机械相移原理是一种常用的且高精度的方法。这种方法基于光的波动性和相干性，通过改变样品台的位置，即改变待测光线与参考光线之间的光程差，来实现相位调制，从而获取待测物体的精确信息。一、基本原理在白光干涉仪中，光源发出的光经过扩束准直后，通过分光棱镜被分成两束相干光：一束作为参考光，经过固定的光路到达干涉仪的接收屏；另一束作为待测光，经过样品台后被反射或透射，再与参考光相遇产生干涉现象。干涉条纹的形成取决于两束光的相位差，而相位差则与它们经过的光程差有关。当样品台移动时，待测光线经过的路径长度会发生变化，导致光程差和相位差也随之变化。这种相位调制会导致干涉条纹的移动或变化，通过测量干涉条纹的变化量，可以计算出相位差，进而得到待测物体的相关信息。二、实现方式样品台设计：样品台通常具有高精度的平移功能，以确保能够精确地改变待测光线的路径长度。样品台的材料和制造工艺需要考虑到热膨胀、机械变形等因素对测量精度的影响。移动控制：样品台的移动通常通过步进电机、压电陶瓷等高精度驱动装置实现。驱动装置需要具有低噪音、快速响应和高精度的特点，以确保能够准确地控制样品台的移动。干涉条纹监测：在移动样品台的过程中，需要实时监测干涉条纹的变化。这通常通过高分辨率的相机或光电探测器实现，它们能够捕捉到干涉条纹的微小移动或变化。三、技术特点与优势高精度：通过高精度的样品台移动和驱动装置，可以实现纳米级别的测量精度。非接触式测量：白光干涉测量是一种非接触式的测量方法，不会对被测物体造成损伤。广泛应用：这种方法可用于测量物体的表面形貌、厚度、折射率等参数，具有广泛的应用前景。四、应用实例表面形貌测量：通过移动样品台，可以测量物体表面的微小起伏和缺陷，为材料科学研究提供重要信息。薄膜厚度测量：在薄膜材料的研究中，通过白光干涉测量可以精确测量薄膜的厚度和均匀性。光学元件检测：白光干涉测量技术还可用于检测光学元件的缺陷、应力分布等，为光学元件的制造和质量控制提供重要支持。综上所述，通过样品台的移动实现白光干涉中的机械相移原理是一种高精度、非接触式的测量方法，具有广泛的应用前景和重要的研究价值。随着技术的不断发展，这种方法将在更多领域得到应用和推广。TopMapMicroView白光干涉3D轮廓仪一款可以“实时”动态/静态微纳级3D轮廓测量的白光干涉仪1)一改传统白光干涉操作复杂的问题，实现一键智能聚焦扫描，亚纳米精度下实现卓越的重复性表现。2)系统集成CST连续扫描技术，Z向测量范围高达100mm，不受物镜放大倍率的影响的高精度垂直分辨率，为复杂形貌测量提供全面解决方案。3）可搭载多普勒激光测振系统，实现实现“动态”3D轮廓测量。实际案例1，优于1nm分辨率，轻松测量硅片表面粗糙度测量，Ra

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