电子级四氯化钛 编制说明

1《电子级四氯化钛》编制说明（征求意见稿）电子级四氯化钛是集成电路存储器制造领域的重要原材料之一，也是电子级二氧化钛、钛酸钡、特种高纯合成石英的原材料，还可用于生产高纯钛、海绵钛等，目前国内已有少量产业化，并开始供应给国内存储器制造厂商，逐步在替代进口；在特种电子级四氯化钛在国际和国内都还没有明确的标准可以参考，现行的行业标准氯化钛中不仅仅只有上述五种杂质，故而其测试所得纯度并不准确；另外，上述五种杂质含量在几个至几十ppm级别，完全无法满足集成电路等行业对金属离子ppb级甚《国家标准化发展纲要》中指出要推动标准化与科技创新互动发展，加强关键技术领域标准研究，在两化融合、新一代信息技术、大数据、区块链、卫生健康、新能源、新材料等应用前景广阔的技术领域，同步部署技术研发、标准研制与产业推广，富标准的供给渠道，并在重点支持的领域中强调要研制关键基础标准。研制电子级四氯化钛标准正是对国家标准化发展战略的积极响应，对国家2023年12月国家标准化管理委员下达了《电子级N-甲基-划号：20232463-T-469）国家标准计划，由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)归口管理，由武汉新硅科技潜江有限公司牵头起草，项目周期18个月，22023年在全国半导体设备和材料标准化技术委员会的组织下，成科技潜江有限公司牵头的标准编制小组，小组成员优负责电检测的相关技术人员组成，有着丰富的生产及分析检测经验有比较清晰的认识，标准编制小组充分开展了调研工作，调项目计划下达后，标准编制小组根据电子级四氯化钛的生产与使用经验，并与行业内相关单位的技术人员进行了充分的沟通和交流，通过查阅大量的文献，比较了国内外电子级四氯化钛的品质情况，调研和调查了相关客户的质量要求，几十召开现场工作会议讨论标准内容，按照国家标准编制原则、框架要求和国家的法律法规，编制组及时修改标准文本，形成了《电子级四氯化钛》标《电子级四氯化钛》国家标准启动会，与会专家对《电子级四氯化钛》标准文本进行了详细地讨论并提出了修改意见，会后，编制小组根据专家组意见对标准文本进行了修改和完善，形成了国家标准《电子级四氯化钛》工作会议期间，专家组对《电子级四氯化钛》征求意见稿进行了详细的讨论和评审，并提出了多条修改意见，如①对“表1技术指标”增加备注说明、②“5.1含量检测”文件正文中、④增加“检测结果评价”章节、⑤部分序号或文字错误等。以上修改意前驱体、化合物半导体等，在光纤、光伏、半导体、合成石英等领域有广泛的应用。南大光电半导体材料有限公司参与了复验工作，并在标准研制过程中给予了积极的反3本文件主要起草人李楷东统筹了标准的申报工作，作为标准编制主要负责人主持了标准文本和编制说明的编写，跟进标准修订进度，推进标准稳步完善。何寿林负责标准中产品指标及安全相关事项的编写，王丽、关彩凤负责标准中分析测试部分内容好彼此之间的关系，追求技术的先进性、指标的武汉新硅科技潜江有限公司设有市级电子半导体材料分析检测中心，具备千级/百备上，设定不同的升温程序和参数，以验证检测结经过几十批次的验证，确定标准文件中所列测试方法，可以有效检