T-FJAS 006-2024 湿电子化学品 再生光阻剥离液

CCSZ00T/FJASwetchemicalsregenerationphotoresiststrippingsolutiIT/FJAS006—2024前言 2规范性引用文件 3术语和定义 4技术要求 5试验方法 6检验规则 7标志、包装、运输、贮存 T/FJAS006—2024本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由福建中融科技有限公司提出。本文件由福建省标准化协会归口。本文件起草单位：福建中融科技有限公司、福建钰融科技有限公司、福建省化工建设工程质量技术服务中心、福建省石油和化工行业协会。本文件主要起草人：林秋玉、崔文涛、陈金亮、郭行然、沈军、赵俊飞、史郭涛、韩永霖、何碧芳、唐宪春、王慧芳、郭伟。1T/FJAS006—2024湿电子化学品再生光阻剥离液本文件规定了再生光阻剥离液的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于以湿电子化学品行业含光阻剥离液回收液为原料，经过提纯的光阻剥离液再生产品(以下简称产品），主要用于显示面板制造行业等。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB190危险货物包装标志GB/T601化学试剂标准滴定溶液配制GB/T602化学试剂杂质测定用标准溶液的制备GB/T603化学试剂试验方法中所使用制剂及制品的制备GB/T3143液体化学产品颜色测定法(Hazen单位-铂-钴色号)GB/T6283化工产品中水分含量的测定卡尔.费休法（通用方法）GB/T6324.2有机化工产品试验方法第2部分：挥发性有机液体水浴上蒸发后干残渣的测定GB/T6678化工产品采样总则GB/T6680液体化工产品采样通则GB/T6682实验室用水规格和试验方法GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定GB/T9722化学试剂气相色谱法通则GB/T11446电子级水中的微粒仪器检测方法GB15603危险化学品仓库储存通则SJ/T11637电子化学品电感耦合等离子体质谱法通则3术语和定义下列术语和定义适用于本文件。3.1湿电子化学品wetchemicals湿电子化学品又称超净高纯电子化学品，是微电子、光电子湿法工艺（主要包括湿法刻蚀、清洗、显影、剥离等环节）中使用的各种液体化工材料。3.2光阻剥离液2T/FJAS006—2024一种有机混合物，主要用于面板制造行业的光阻剥离，主要成分为乙醇胺(MEA)和二甲基亚砜3.3回收液liquidrecycling主要成分乙醇胺(MEA)、二甲基亚砜(DMSO)、废光刻胶、水分、金属杂质等。4技术要求产品的质量技术指标应符合表1的要求。表1技术指标色度Hazen5试验方法警示----试验方法规定的一些试验过程可能导致危险情况，操作者应采取适当的安全和防护措施。5.1一般规定本试验方法中除另有规定外，标准滴定溶液、杂质测定用标准溶液和所用制剂及制品均按GB/T601、GB/T602、GB/T603之规定制备；除特殊要求外，实验室用水应符合GB/T6682中三级水规格，实验用试剂均为分析纯。3T/FJAS006—20245.2外观取适量实验室样品于比色管中，在自然光下目视观察。5.3纯度5.3.1方法提要采用毛细管柱气相色谱法，在选定的色谱操作条件下，使样品汽化后经色谱柱分离，用氢火焰离子检测器（FID）检测，采用外标法定量。5.3.2仪器气相色谱仪：配有氢火焰离子检测器（FID），整机灵敏度、稳定性符合GB/T9722的规定，线性范围满足分析要求。采用气相色谱法：在选定的色谱条件下，试样经汽化通过毛细管色谱柱，使其中各组分分离，用氢火焰离子化检测器（FID）检测，外标法定量。5.3.3气相色谱条件5.3.3.1氮气：纯度≥99.999%。5.3.3.2空气：空气压缩泵。5.3.3.3氢气：纯度≥99.999%。5.3.3.4试剂：乙醇胺、二甲基亚砜，色谱纯。5.3.3.5进样器：10μL微量进样器。5.3.4色谱分析条件本文件推荐的色谱柱和色谱操作条件见表2，其他能达到同等分离程度的色谱柱及色谱操作条件也可以使用。表2推荐的色谱柱和色谱操作条件5.3.5分析步骤5.3.5.1建立标准曲线5.3.5.1.1校准用标准溶液的配制4T/FJAS006—2024用称量法配制产品不同质量分数梯度的标准溶液。各组份的称量精确至0.0001g。所配制的校准用标准溶液中杂质含量应与待测试样相近。5.3.5.1.2标准溶液的配制用称量法分别配制产品不同质量分数梯度的标准溶液。各组份的称量精确至0.0001g。所配制的标准溶液中含量应与待测试样相近。5.3.5.1.3标准曲线的建立调用方法使色谱条件达到表2所示，将配制好的产品各梯度标准溶液依次注入气相色谱仪，根据所得的峰面积及标准溶液中各物质的含量，在气相色谱工作站中分别建立产品的标准曲线。5.3.5.1.4试样的测定根据表2所示的仪器操作条件测定样品，将得到各组分的峰面积对应各组分的标准曲线求得各组分含量。5.4水分的测定按GB/T6283的规定进行测定。5.5蒸发残渣按GB/T6324.2的规定进行测定。5.5色度的测定按GB/T3143的规定进行测定。5.6金属元素的测定按SJ/T11637的规定进行测定。6检验规则6.1产品应由生产厂的质量检验部门进行检验，第4章规定的项目均为出厂检验项目。6.2以同等质量的均匀产品为一批。桶装产品以不大于100t为一批，或以一贮槽、一槽罐的产品量为一批。6.3采样方法按GB/T6680的规定执行，采样单元数应符合GB/T6678的规定。采样量不少于1000mL，混合均匀后，等量分装入两个清洁干燥、密封良好的细口瓶中，瓶上标签应注明产品名称、批号或生产日期、取样地点、取样人姓名、留样日期。一份供检验使用，另一份留样备查。6.4检验结果的判定按照GB/T8170中规定的修约值比较法进行。检验结果中如有一项指标不符合本文件要求时，应重新自两倍数量的包装单元中采样进行复验，重新检验的结果有一项指标不符合文件要求时，则整批产品应做不合格处理。7标志、包装、运输、贮存5T/FJAS006—20247.1标志产品包装容器上应有牢固的标志，标明产品名称、生产厂名称、厂址、生产批号、生产日期、净含量、本标准编号以及GB190中规定的“易燃液体”和“方向标记”标志。7.2包装产品所用包装容器应满足